Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Ионные насосы магнитные электроразрядные

    Высоковакуумные насосы работают в области давлений 10 —10 Па, сверхвысоковакуумные—в области давлений ниже 10 Па. К ним относятся молекулярные диффузионные паромасляные, диффузионные парортутные, турбомолекулярные, сорбционные (испарительные геттерные, электродуговые гет-терные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные) и криогенные насосы. Таким образом, для получения высокого и сверхвысокого вакуума могут использоваться насосы одинакового типа. [c.88]


    Электроразрядные насосы. В электроразрядных сорбционно-ионных насосах термическое испарение титана заменено катодным распылением. На фиг, 358 показаны электроразрядные сорбционно-ионные насосы, которые характеризуются тем, что у них ионизатор построен по типу магнитного электроразрядного манометра. Насос, показанный на, фиг 358, а, работал в области давлений 10 —мм рт. ст. Катоды, являющиеся испарителями титана, изготовлены из титановой [c.496]

    Следует отметить, что за последние годы все чаще начинают встречаться описания комбинаций различных откачных средств, целью которых является увеличение скорости откачки, расширение диапазона рабочих давлений и снижение времени, необходимого для получения сверхвысокого вакуума. Так, например, установлено, что быстрота действия геттерно-ионного насоса значительно возрастает, если параллельно к нему подсоединить небольшой магнитно-электроразрядный насос. Интерес представляет также комбинация магнитно-электроразрядного насоса с криогенным насосом, охлаждаемым жидким азотом. При этом в результате интенсивного вымораживания паров воды и углекислого газа время, необходимое для получения давления 1 10 мм рт. ст., сокращается в несколько раз. [c.134]

    Для понимания работы магниторазрядных насосов, помимо различий в механизме поглощения различных газов, необходимо иметь в виду изменение характера газового разряда с изменением давления. При давлениях больше 10 Па ток разряда велик вследствие большой электропроводности разрядного промежутка чтобы разряд при этом не перешел в дуговой, ток разряда специально ограничивается (в малых насосах используется балластное сопротивление Н, показанное на рис. 7.41, в крупных насосах используют более сложные электрические цепи), что приводит к уменьшению падения напряжения на разрядном промежутке. При этом уменьшается энергия ионов и, следовательно, резко снижается скорость распыления материала катодов. Поэтому быстрота действия насоса при высоких давлениях невелика, а относительно большой ток вызывает разогрев электродов и сильное газовыделение, вследствие чего давление в системе повышается. В этих условиях целесообразно продолжать откачку насосом предварительного разрежения до начала периода пуска, когда эффект откачки магнитным электроразрядным насосом становится заметным. [c.150]


    В вакуумной системе, построенной по схеме 2 табл. 14.2, в качестве сверхвысоковакуумного насоса используется ионно-геттерный или магнитный электроразрядный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый кран 2. [c.271]

    Ионное распыление наиболее успешно применяется в электроразрядных насосах, представляющих собой многоячеистые разрядники с разрядом типа Пеннинга с сильным магнитным полем, которое позволяет поддерживать разряд даже при таких низких давлениях, как мм рт. ст. Откачиваемые газы накапливаются в титановых пленках, осаждаемых ионным распылением, особенно в тех областях, где осаждаемая пленка бомбардируется ионами газа. С помощью ионного распыления в абсорбционной или эмиссионной спектроскопии получают атомарные пары, причем для эти.х целей начали широко использовать газоразрядные лампы с полым катодом из различных материалов. Масс-спектрометрия распыленных атомов доведена до такого совершенства, что стало возможны.м обнаружить один атом примеси на 10 атомов основного вещества [3 ]. [c.360]

    В другой вакуумной системе (рис, 7.47, б) в качестве сверх-высоковакуумного насоса используется геттерно-ионный или электроразрядный магнитный насос 1, который производит откачку изделия через цельнометаллический прогреваемый вентиль 3. Для предварительного обезгаживания сверхвысоковакуумного насоса и вакуумной системы, а также для создания предварительного разрежения в изделии предназначен пароструйный диффузионный насос 7 с азотной ловушкой 6. Откачка изделия до давления Ю тор осуществляется механическим вакуумным насосом 9 через холодный пароструйный диффузионный насос 7. Этот насос может быть отделен от вакуумной системы цельнометаллическим прогреваемым вентилем 5. Выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса соединен с механическим вакуумным насосом 9 через вентиль 8. Измерение давления производится манометрическими датчиками 2 и 4. [c.460]

Фиг. 358. Электроразрядные насосы а — сорбционно-ионный насос с титановым испарителем и магнигным электроразрядным ионизатором б — магнитный электроразрядный насос 1 — катоды 2—аноды Я — направление магнитного поля. Фиг. 358. <a href="/info/215395">Электроразрядные насосы</a> а — <a href="/info/1273323">сорбционно-ионный насос</a> с титановым испарителем и магнигным электроразрядным ионизатором б — <a href="/info/986665">магнитный электроразрядный насос</a> 1 — катоды 2—аноды Я — направление магнитного поля.
    Магнитно-электроразрядный насос представляет собой двухэлектродный разрядный прибор с титановым катодом. Анод имеет вид цилиндра, находящегося между двумя пластинками катода. Вся система электродов находится в магнитном поле, параллельном оси анода. Магнитное поле превращает траектории электронов, летящих от катода к аноду, в спирали, что удлиняет путь электрона и, повышает вероятность ионизации молекул откачиваемого газа. При разряде материал катода, подвергающийся ионной бомбардировке, распыляется и титановая пленка служит геттером, связывающим молекулы откачиваемого газа. Электрораз-рядные насосы дают скорость откачки до 10 л1сек при площади титановых электродов 10X10 см. Они развивают предельный вакуум 10- -г-10 мм рт. ст. и используются как сторожа , поддерживающие высокий ва-5—646 65 [c.65]

    Другим недостатком манометра является то, что его прудно хорошо обезгазить. Этим и объясняется то, что с помощью одного только магнитного манометра не удается откачать вакуумную установку до очень высокого вакуума, несмотря на то, что сам манометр одновременно является насосом. Откачивающее действие манометра связано с адсорбцией ионов на постоянно обновляющемся слое металла на стенках манометра, возникающем вследствие распыления электродов. Поэтому магнитный электроразрядный манометр может так же, как и ионизационный манометр с горячим катодом, искажать результаты измерений. Нестабильность разряда вносит неточности в показания магнитного манометра, которые при давлении Ю- —10 мм рт. ст. примерно соответствуют 20%, что существенно больше, чем у ионизационного манометра. [c.147]

    После предварительной откачки установки насосами производится обезгаживание стеклянных деталей путем их длительного прогрева в течение нескольких часов в условиях непрерывной откачки. После этого производится обезгаживание внутренних частей ионизационных манометров путем интенсивной электронной бомбардировки при положительном потенциале коллектора ионов. Затем перекрывают металлический вентиль, отсоединяя тем самым откачиваемый объем от паромасляного насоса, после чего откачка объема производится за счет работы конизационно-го манометра. Помимо ионизационного манометра с горячим катодом для получения сверхвысокого вакуума иногда используют также откачивающее действие магнитного электроразрядного манометра специальной конструкции. [c.51]


    Ионы легких газов (водород, дейтерий, гелий) не вызывают заметного распыления материала катода. Для них более существенным является второй механизм откачки ионы легких газов, имеющие малые размеры, могут внедряться в матерал катода и диффундировать в него. Таким образом, быстрота действия магнитного электроразрядного насоса зависит от рода газа или пара. [c.149]

    Улучшить характеристики насоса в области низких давлений можно путем аргонной обработки. Для этого в работающий магнитный электроразрядный насос через натекатель впускается до давления 5-10- —5 Па аргон, одновременно откачиваемый вспомогательным насосом. Продолжительность аргонной обработки — около 1 ч. Интенсивное ионное распыление при аргонной обработке создает на электродах свеженапыленные слои титана, не содержащие сорбированных газов, одновременно происходит обезгаживание насоса прогревом энергией, выделяющейся на электродах. После аргонной обработки насос быстро достигает низких давлений. Следует иметь в виду, что длительная работа насоса при высоких давлениях (порядка 1 —10- Па) создает условия для попадания проводящего слоя титана на изоляторы и приводит к замыканиям в электродной системе. Запуск магнитного электроразрядного насоса значительно облегчается при понижении начального давления до значений ниже 10- Па. [c.153]

    Интенсивность основных ионных иучков является одним из наиболее чувствительных критериев давления в трубке. Тем не менее удобно, хотя и не всегда обязательно, производить самостоятельные измерения давления. Ионизационный или термоэлектрический манометры (манометр Пирани), присоединяемые к источнику ионов или к насосам, служат для указания того давления в приборе, при котором безопасно включать нить накала катода источника ионов. Применяя соответствующее реле вакуума, можно заставить ток нака.ла автоматически выключаться, как только давление в ионном источнике превысит определенную величину (это случается при авариях в напускном устройстве, когда в ионный источник входит слишком много исследуемого газа) [56]. В ряде случаев вместо ионизационных манометров, требующих при пользовании ими большой аккуратности, применяются магнитные электроразрядные манометры (типа Филипса) [39]. Можно пользоваться также компрессионным манометром Мак-Леода, который обычно располагают между насосом и ло-вушкор . [c.75]


Смотреть страницы где упоминается термин Ионные насосы магнитные электроразрядные: [c.8]    [c.107]    [c.148]   
Вакуумные аппараты и приборы химического машиностроения Издание 2 (1974) -- [ c.423 ]




ПОИСК





Смотрите так же термины и статьи:

Иониты магнитные

Насос магнитный электроразрядный



© 2024 chem21.info Реклама на сайте