Насос криосорбционныЙ

Насосы криосорбционные заливные гелиевые. — Электронная промышленность , 1974, № 9, с. 97—98. Авт. А. С. Грибов, [c.148]

Криосорбционный фильтр-насос для обезвреживания емкостей с парами токсичных компонентов в процессе откачки [c.347]

В работе [39] указано, что скорость откачки насоса, охлаждаемого жидким водородом, резко возрастала с увеличением давления. Авторы работы [69] отмечают, что насос, охлаждаемый жидким гелием и имеющий криосорбционную панель с цеолитом NaX, обладает стабильной во времени скоростью откачки азота, а скорость откачки водорода и, особенно, гелия уменьшается с [c.119]

На рис. 12.3 показано устройство криосорбционного насоса, разработанного Харрингтоном и сотр. (1965) для снижения содержания углеводородов в настоящее время это лучший способ снижения общего фона. Узел откачки состоит нз медной пластинки, покрытой активированным древесным углем и охлаж- [c.384]

Чтобы точно оценить остаточное содержание газа, необходимо иметь образцы, абсолютно его не содержащие. В последние годы проанализировано большое число сверхчистых материалов, однако образцов, не содержащих газов, среди них не оказалось. В табл. 12.4 показан эффект применения криосорбционного насоса (цифры вверху — результаты, полученные независимыми методами). В случае применения криосорбционного насоса наблюдается значительное снижение результатов. Две последние строки показывают, что ни многократная продувка аргоном, ни предварительный отжиг для активации криосорбционного насоса не приводят к уменьшению содержания газа в приборе. Каждая серия данных относится к полному комплекту опе- [c.385]

Выпускаемые промышленностью искровые масс-спектрометры снабжаются криогенными или криосорбционными насосами (или тем и другим вместе), так что можно использовать методы, рассмотренные выше. [c.386]

Криосорбционные насосы представляют собой ловушки, удаление газа которыми осуществляется за счет физической адсорбции на специальных охлаждаемых поверхностях адсорбентов, в качестве которых чаще всего используются цеолиты. Этот процесс предназначен прежде всего для удаления ненасыщенных паров и конденсируемых газов. Когда все свободные состояния заполнены, наступает насыщение поверхности ловушки. Таким образом, криосорбция представляет собой одно из звеньев в цепи операций и требует периодической регенерации сорбирующей поверхности путем термически индуцируемой десорбции. Для увеличения емкостей криосорбционные приборы изготавливаются на основе пористых материалов с большой площадью внутренних поверхностей. Кроме того, необходимо охлаждение адсорбента, поскольку теплоты адсорбции неконденсируемых газов настолько малы, что их десорбция имеет место уже при температурах ниже комнатной. Этот факт иллюстрируется табл. 3, в которой представлены температуры сжижения обычных газов. При этом, как показали Мураками и Окамото [86], одновременно падает и скорость десорбции. Эти авторы адсорбировали газы на искусственном цеолите при 77 К и затем при равномерном подъеме температуры наблюдали их десорбцию. Эти данные по-ки >ывают, что требуемые для десорбции температуры не слишком далеки от температуры сжижения газов. Ые, Н. и Не могут сорбироваться лишь [c.199]

Рнс. 23. Схема вакуумноЯ системы с двухступенным криосорбционным насосом. [c.205]

Рис. 7.45. Схема криосорбционного заливного гелиевого насоса.

Криосорбционные заливные гелиевые насосы с сорбентом — окисной пленкой на алюминии [c.77]

Криогенные насосы, которые осуществляют откачку путем конденсации откачиваемых газов и паров на поверхностях, охлаждаемых до сверхнизких (криогенных) температур. Разновидностями криогенных насосов являются конденсационные и криосорбционные насосы. [c.84]

Основным отличием криосорбционных насосов от конденсационных, описанных выше, является способность путем криосорбции откачивать низкокипящие газы (гелий, водород), обеспечиваемая применением адсорбентов, охлаждаемых.до сверхнизких (криогенных) температур. В качестве адсорбента в криосорбционных насосах могут использоваться цеолиты, активированный древесный уголь, пористый никель, оксидная пленка алюминия и другие материалы. По конструкции криосорбционные насосы мало отличаются от конденсационных. При полном насыщении адсорбента газом криосорбционный насос становится конденсационным, однако при низких давлениях (10- —10 Па) он способен сотни и даже тысячи часов работать без использования вспомогатель- [c.157]

На рис. 7.45 показана схема криосорбционного заливного насоса, состоящего из цилиндрического сосуда 1 с ребрами 2. Цилиндрический сосуд 1 изготовлен из алюминиевого сплава АД1, на поверхности которого анодным окислением создана высокопористая оксидная пленка алюминия толщиной 120—150 мкм, являющаяся сорбентом. Оксидная пленка алюминия обладает большой сорбционной емкостью, имеет большую теплопроводность и высокую механическую прочность. [c.158]

Криосорбционный насос целесообразно устанавливать непосредственно внутри откачиваемого сосуда, для чего предусмотрен фланец 9. Предельное остаточное давление, создаваемое криосорбционным насосом, после предварительного обезгаживания цилиндрического сосуда 1 при температуре 420 К составляет ЫО Па. [c.159]

Несмотря на относительную простоту конструкции, криосорбционные заливные насосы обладают существенными недостатками, состоящими в необходимости периодической заливки жидкого гелия и азота, трудности автоматизации и контроля наличия хладагентов, а также в необходимости транспортировать жидкий гелий и собирать дорогостоящий газ. Для сбора испаряющегося в насосе гелия применяют мягкий газгольдер, откуда компрессором гелий перекачивают в стандартный баллон с давлением 15-10 Па. [c.159]

С этой же целью в ряде конструкций устанавливают в рабочей камере дополнительные титановые испарительные геттерные насосы или криосорбционные насосы, охлаждаемые жидким гелием. Для напуска воздуха или газа в рабочую камеру предусмотрены электромагнитный натекатель 5 и ручной натекатель 3. [c.288]

При конструировании криосорбционных насосов, а также других вакуумных откачивающих устройств, работающих по принципам конденсации и сорбции потоков газа, решающее значение имеет выбор структуры рабочей поверхности. Под структурой в данном случае понимается как макроскопический (жалюзийная, шевронная структуры и др.), так и микроскопический [шероховатость (зернистость)] характеры поверхности. [c.173]

Прогресс в технике низких температур открыл большие перспективы перед использованием криогенных средств создания вакуума и, в частности, криосорбционных и конденсационноадсорбционных насосов, которым посвящена вторая половина данной главы. [c.43]

На базе насосов НМД-0,1-3, НМД-0,25-3 и НМДО-0,25-1 созданы агрегаты ЭРА-100-2, ЭРА-300-2 и ЭРА-250, предназначенные для безмасляной откачки небольших объектов непосредственно от атмосферного давления до сверхвысокого вакуума. В этих агрегатах для откачки от атмосферного давления до 10 —Ю" -- Па применены цеолитовые криосорбционные насосы типа ЦВН-1-2. [c.65]

Жалюзная ловушка шевронного типа была применена [76] для экранирования криосорбционного насоса, охлаждаемого водородом. Поверхности ловушки покрывали графитом для увеличения эффективности защиты и охлаждали жидким азотом. В дальнейшем было обнаружено, что температура ловушки примерно на 100°К превышала температуру жидкого азота, а температура криопанели составляла около 24°К вместо 20,4°К. Недостаточная эффективность охлаждения криопаиелей хорошо объясняет относительно невысокую скорость откачки насоса. [c.136]

Резервуары представляют собой двустенные аппараты сосуд в сосуде межстенное пространство отвакуумировано. Вакуум сохраняется в течение 3— 5 лет с помощью криосорбционных насосов (поглощение газовыделений адсорбентом). Регенерация адсорбента производится без нарушения герметичности межстенного пространства резервуара. [c.70]

При сравнительных исследованиях молекулярных сит Бэннок [90] обнаружил, что цеолит типа 5А превосходит остальные по быстроте откачки и по сорбционной емкости для воздуха. Изотермы адсорбции сит этого типа для обычных газов представлены на рис. 20. Наиболее легко конденсируемые газы насыщают цеолит при адсорбции около 100 л. мм рт. ст. г"1. Это, как полагают, соответствует монослойному покрытию адсорбцией поверхности. Резкий подъем кривой для метана при давлениях около 10 мм рт. ст. свидетельствует о начале многослойной адсорбции, см. разд. ЗА Адсорбционная емкость для Hj, Ne и Не при 77 К значительно меньше, что связано с их более низкими температурами конденсации. В соответствии с тенденцией, наблюдаемой на рис. 20, при давлениях ниже 10 мм рт. ст. адсорбция всех газов быстро падает [96]. Стерн и Ди Паоло [97] установили, что в этом интервале давлений после повторного десорбционно-адсорбционного цикла значительно увеличивается емкость для Nj. Возможность достижения максимальной адсорбционной емкости реализуется лишь при условии отсутствия значительных количеств паров воды. Даже при комнатной температуре цеолит 5 А адсорбирует эти пары в количестве до 18% от собственного веса или приблизительно 20 мм рт. ст. л паров воды на грамм веса сита [94]. И если все другие обычные газы легко десорбируются прн восстановлении температуры криосорбционного насоса до комнатной (см. табл. 3), то регенерация сита, содержащего пары воды, требует нескольких часов прогрева до 350° С. Обычно нагревание выше этой температуры не рекомендуется из-за начинающегося разрушения гранул цеолита, однако некоторые исследователи проводят обезгаживание при температурах до 450° С [98]. Еще одним фактором, который нужно учитывать при использовании криосорбционных насосов, является плохая теплопроводность молекулярных сит. И поскольку их эффективность зависит от охлаждения, то сита закрепляются в корпусе ловушки либо в виде тонких вкладышей, удерживаемых металлическим экраном, либо распределяются в узких каналах. Бэннок [90] использовал трубчатые элементы диаметром 2 см, длиной 60 см. Сэндс и Дик [93] методом плазменного распыления цеолита наносили на металлические трубки прочно сидящие слои адсорбента, чем обеспечили лучший тепловой контакт. Этот метод требует нанесения вторичного потока частичек цеолита, поскольку материал из плазменного потока теряет свои адсорбционные свойства и служит в основном в качестве биндера. При применении этого метода должна быть решена проблема пыли, появляющейся из-за плохой прессовки слоев цеолита, приводящей к загрязнению вакуумной камеры. Бейли [94] наблюдал пылинки диаметром от 3 до 8 мкм от молекулярного сита, которые он был [c.202]

Рис. 24. Кривые откачки после предварительного охлаждения в течение 15 мин одно- и двухступенных криосорбционных насосов (отношение объем воздуха вес неолита обовх случаях баиэок 0,02 л г-<).

Классификация крионасосов. Несмотря на большое многообразие крионасосов, их можно разделить по следующим основным признакам принципу действия, температурному уровню криопанели, быстроте откачки, способу охлаждения криопанели и конструктивной схеме. На рис. 2-2 представлена классификационная схема крионасосов. По принципу действия насосы можно подразделить на криоконденсационные и криосорбционные. В криоконденсационных насосах откачка осуществляется за счет конденсации газов. [c.55]

В криосорбционных насосах молекулы откачиваемого газа оседают в виде мономолекуляряого слоя на поверхности сорбента, которым является микропористый слой предварительно сконденсированного на криопанели лег-коконденсируемого газа. [c.55]

В 1950-51 гг. Б.Г. Лазаревым и Е.С. Боровиком в ХФТИ [3] выполнены первые работы по исследованию процесса криосорбцион-ной откачки и разработан первый заливной криосорбционный гелиевый насос ВК-4. [c.6]

Для откачки водорода наиболее перспективны конденсационные и криосорбционные насосы и нераспыляемые металлические геттеры. Криосорбционная откачка изотопов водорода может осуществляться при температурах 10-3 ОК. В качестве криосорбентов используют микропористые адсорбенты - угли, цеолиты, а также слои отвердевших легкоконденсируемых газов. [c.58]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология