Работа Насос электроразрядный магнитный НЭМ

Работа Насос электроразрядный магнитный НЭМ-300 [c.196]

Рис. 100. Вакуумная установка к лабораторной работе Насос электроразрядный магнитный НЭМ-300 .

Характер изменения мощности высоковольтного источника питания магнитно-электроразрядного насоса в зависимости от протекающего через него разрядного тока представлен на рис. 2-18. Начальный (пусковой) период работы насоса соответствует правой ветви кривой изменения мощности. По мере роста сопротивления раз-рядного промежутка разрядной ток умень-щается, а напряжение на электродах насоса возрастает. При разрядном токе, составляющем около 70% от тока короткого замыкания, кривая изменения мощности имеет [c.113]

Электроразрядные насосы. В электроразрядных сорбционно-ионных насосах термическое испарение титана заменено катодным распылением. На фиг, 358 показаны электроразрядные сорбционно-ионные насосы, которые характеризуются тем, что у них ионизатор построен по типу магнитного электроразрядного манометра. Насос, показанный на, фиг 358, а, работал в области давлений 10 —мм рт. ст. Катоды, являющиеся испарителями титана, изготовлены из титановой [c.496]

Насос очень чувствителен к попаданию паров масел, используемых в механических и пароструйных насосах. Поэтому лучше всего для предварительной откачки применять угольные или цеолитовые адсорбционные насосы, охлаждаемые жидким азотом. Наименьшее предельное разрежение получается при последовательном включении двух магнитно-электроразрядных насосов и их длительном прогреве. Существенную роль при этом играет так называемая аргонная обработка , заключающаяся в том, что в предварительно откаченный до 10- мм рт. ст. и нагретый до 200° С насос напускается аргон. Через 24 ч после обработки аргоном давление в насосе снижается до 10- ° мм рт. ст. и продолжает медленно понижаться, достигая через несколько недель своего предельного значения 10- мм рт. ст. Следует иметь в виду, что аргонная обработка полезна также для увеличения быстроты откачки насоса в диапазоне давлений 10 —10- мм рт. ст., который обычно определяет нижний предел работы магнитно-электроразрядных насосов при их промышленном применении. [c.114]

Высоковакуумные насосы работают в области давлений 10 —10 Па, сверхвысоковакуумные—в области давлений ниже 10 Па. К ним относятся молекулярные диффузионные паромасляные, диффузионные парортутные, турбомолекулярные, сорбционные (испарительные геттерные, электродуговые гет-терные, ионно-геттерные, магнитные электроразрядные) и криогенные насосы. Таким образом, для получения высокого и сверхвысокого вакуума могут использоваться насосы одинакового типа. [c.88]

Простота устройства и возможность работы в любом положении также выгодно отличают магнитные электроразрядные насосы от других. [c.150]

Для понимания работы магниторазрядных насосов, помимо различий в механизме поглощения различных газов, необходимо иметь в виду изменение характера газового разряда с изменением давления. При давлениях больше 10 Па ток разряда велик вследствие большой электропроводности разрядного промежутка чтобы разряд при этом не перешел в дуговой, ток разряда специально ограничивается (в малых насосах используется балластное сопротивление Н, показанное на рис. 7.41, в крупных насосах используют более сложные электрические цепи), что приводит к уменьшению падения напряжения на разрядном промежутке. При этом уменьшается энергия ионов и, следовательно, резко снижается скорость распыления материала катодов. Поэтому быстрота действия насоса при высоких давлениях невелика, а относительно большой ток вызывает разогрев электродов и сильное газовыделение, вследствие чего давление в системе повышается. В этих условиях целесообразно продолжать откачку насосом предварительного разрежения до начала периода пуска, когда эффект откачки магнитным электроразрядным насосом становится заметным. [c.150]

Конструкции магниторазрядных насосов довольно разнообразны, что объясняется различиями в условиях их применения. В одних случаях от насоса требуется длительная работа в области предельно низких давлений, в других — насос должен использоваться в циклических производственных процессах с частыми пусками, в ряде случаев от магнитного электроразрядного насоса требуется повышенная эффективность откачки инертного газа и т. п. [c.151]

Как отмечалось, недостатком магниторазрядных насосов является длительный период пуска. Кроме того, неохлаждаемые диодные магнитные электроразрядные насосы не могут длительно работать при давлениях больше 10 Па из-за перегрева электродов. [c.151]

Этот недостаток устранен в диодных магнитных электроразрядных насосах с водяным охлаждением анодов электродного блока, что позволяет успешно запускать эти насосы при давлении меньше 5 Па и длительно работать при давлении 10 Па. [c.151]

Магнитные электроразрядные насосы и агрегаты. Сверхвысоковакуумные магнитные электроразрядные насосы являются эффективным средством создания высокого и сверхвысокого вакуума. Их применяют для безмасляной откачки вакуумных камер. В основе работы магниторазрядного насоса лежит поглощение газов титаном, распыляемым при высоковольтном разряде в магнитном поле. Для зажигания самостоятельного разряда в трубке с холодным катодом при давлении ниже [c.423]

Очевидно, что описанная выше работа масс-спектрометра возможна при условии, если в масс-спектрометрической камере со всеми ее деталями (манометром, катодом, ионизатором, входной и выходной диафрагмами, коллектором) будет поддерживаться достаточно высокий вакуум. С этой целью масс-спектрометрический течеискатель снабжается собственной вакуумной системой (рис. 7-6). Масс-спектро-метрическая камера 1 через металлическую ловушку 2 для вымораживания паров и вентиль 3 присоединяется к металлическому паромасляному насосу 4 и небольшому вращательному масляному насосу 5 для измерения давления используется магнитный электроразрядный манометр, помещенный, как уже указывалось, в масс-спектрометрической камере. [c.265]

Улучшить характеристики насоса в области низких давлений можно путем аргонной обработки. Для этого в работающий магнитный электроразрядный насос через натекатель впускается до давления 5-10- —5 Па аргон, одновременно откачиваемый вспомогательным насосом. Продолжительность аргонной обработки — около 1 ч. Интенсивное ионное распыление при аргонной обработке создает на электродах свеженапыленные слои титана, не содержащие сорбированных газов, одновременно происходит обезгаживание насоса прогревом энергией, выделяющейся на электродах. После аргонной обработки насос быстро достигает низких давлений. Следует иметь в виду, что длительная работа насоса при высоких давлениях (порядка 1 —10- Па) создает условия для попадания проводящего слоя титана на изоляторы и приводит к замыканиям в электродной системе. Запуск магнитного электроразрядного насоса значительно облегчается при понижении начального давления до значений ниже 10- Па. [c.153]

В работе [Л. 86] производилось сопоставление эксплуатационных свойств паромасляного и магнитно-электроразрядного насосов при изменении газовой нагрузки. При этом было установлено, что если после напуска в откачиваемый объем газа до давления 10 мм рт. ст. паромасляный насос очень быстро (в течение нескольких минут) снижает давление до предельного (2-10 мм рт. ст.), то при использовании магнит-но-электрозарядного насоса даже для снижения давления с 3 10 до 3 10 мм рт. ст. требуется значительное время (около получаса). В работе делается вывод, что при больших или сильно меняющихся нагрузках (которые, кстати, обычно имеют место при очередном разогреве напыляемого вещества) следует избегать применения магнитно-электроразрядных насосов в качестве основного откачного средства. Выводы, сделанные в этой работе, могут быть объяснены при сравнении скоростных характеристик различного вида насосов (рис. 2-26). В отличие от паромасляного насоса ((кривая 2), имеющего постоянную быстроту действия вплоть до давления 1 Ю мм рт. ст., магнитный электроразрядный насос (кривая 4) снижает свою быстроту действия уже при давлении (3—5) 10 мм рт. ст. По этой причине при резких газовыделениях магнитно-электроразрядные насосы, не обладающие достаточно большой быстротой действия, могут захлебываться , и потребуется длительное время для восстановления в откачиваемом объеме рабочего вакуума. Резкое снижение быстроты действия при увеличении давления, длительный пусковой период (несколько часов), высокая селективность при откачке газовой смеси, большие габариты, вес и высокая стоимость существенно ограничивают применение магнитно-электроразрядных насосов в напылительных установках промышленного типа. [c.130]

После предварительной откачки установки насосами производится обезгаживание стеклянных деталей путем их длительного прогрева в течение нескольких часов в условиях непрерывной откачки. После этого производится обезгаживание внутренних частей ионизационных манометров путем интенсивной электронной бомбардировки при положительном потенциале коллектора ионов. Затем перекрывают металлический вентиль, отсоединяя тем самым откачиваемый объем от паромасляного насоса, после чего откачка объема производится за счет работы конизационно-го манометра. Помимо ионизационного манометра с горячим катодом для получения сверхвысокого вакуума иногда используют также откачивающее действие магнитного электроразрядного манометра специальной конструкции. [c.51]

В основе работы магнитных электроразрядных насосов лежит спсобность их ячеек откачивать газ при электрическом разряде в них. [c.153]