Рассеяние резерфордовское

Спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния (POP) [c.348]

В зависимости от энергии первичных ионов различают спектроскопию рассеяния медленных ионов ( = 10 - 10 Дж) и спектроскопию рассеяния быстрых ионов ( = 10 - 10 Дж), наз также спектроскопией резерфордовского или обратного ядерного рас сеяния [c.258]

RBS спектрометр резерфордовского рассеяния [c.22]

Если мишень бомбардируют частицами с низкой массой (например, Не +, М = 4), преобладают упругие кулоновские взаимодействия между ядрами, приводящие к упругому рассеянию первичных ионов под большими углами. Измерение спектров потерь энергии отраженных первичных ионов является основой методов спектроскопии рассеяния. Взаимодействия между ядрами наиболее ярко выражены при высоких энергиях первичных ионов (1-3 Мэв). В этой области работает спектрометрия резерфордовского обратного рассе- [c.345]

Ионно-зондовые методы имеют чрезвычайно большое значение для анализа поверхности. К наиболее важным методам относятся спектрометрия резерфордовского обратного рассеяния и масс-спектрометрия вторичных ионов. В следующих разделах мы более подробно остановимся на этих методах. [c.348]

Схематичное изображение экспериментальной установки для резерфордовского обратного рассеяния представлено на рис. 10.3-1. Коллимированный пучок ионов гелия (Не +) с энергиями 1-3 МэВ, сфокусированный до диаметра в несколько нанометров, попадает на плоский образец. Спектр обратнорассеянных ионов гелия регистрируется при помощи энергодисперсионного поверхностно-барьерного детектора. Обычно подобные установки оснащены кремниевыми твердотельными детекторами с тонкой пленкой золота. Налетающий ион гелия генерирует в полупроводнике множество электронно-дырочных пар, количество которых пропорционально его кинетической знергии. Таким образом регистрируется спектр обратно-рассеянных ионов в энергодисперсионном режиме с разрешением 10-20 кэВ (см. также описание энергодисперсионного 81(Ь1)-детектора рентгеновского излучения, работающего по тому же принципу). [c.348]

Разрешение по глубине спектрометрии резерфордовского обратного рассеяния составляет 20-50 нм. [c.352]

Для исследования подобного рода обычно выбирают спектрометрию резерфордовского обратного рассеяния не только потому, что он является недеструктивным (число атомов, удаляемых с поверхности в результате упругого рассеяния, практически незначимо), но и благодаря экспрессности и точности. Необходимо отметить, что преимущества метода POP особенно четко проявляются при анализе тяжелых атомов на легких подложках. Только в этом случае аналитические пики отделены от сигнала подложки. В случае пленок, состоящих из легких элементов на тяжелой матрице, аналитические сигналы располагаются на фоне значительного фонового сигнала подложки, что существенно затрудняет расчеты и делает их менее точными. Чувствительность метода по отношению к легким элементам также гораздо хуже, поскольку сечение а пропорционально Z . Другое ограничение при анализе тонких пленок заключается в толщине пленок. Толщина пленок не должна превышать 0,5- [c.354]

Более корректным и точным методом изучения состава приповерхностных слоев сплавов, несомненно, является послойное травление поверхности пучком ионов инертных газов с регистр ацией Оже-электронного спектра [55, 57—59] или спектра обратного резерфордовского рассеяния ионов металла [60, 61], [c.45]

Поскольку при резерфордовском рассеянии эффективное сечение столкновения атома отдачи с атомами среды гораздо меньше геометрического сечения последних, свободный пробег атома отдачи между столкновениями (при которых теряется по [c.321]

Замедление атомов отдачи происходит по механизму кулоновского отталкивания, идет так называемое резерфордовское рассеяние, которое осуществляется без образования химических соединений. Затем начинаются столкновения по типу жестких сфер. Энергия Е (в эе) начала столкновений по типу жестких сфер может [c.152]

Быстрые и медленные нейтроны, у-лучи, р-частицы, протоны и даже продукты деления вносят вклад в пузырьковое кипение перегретой жидкости, а хорошо известная пузырьковая камера Глезера [25, 26] для обнаружения ядерных частиц основана на этом процессе. В соответствии с моделью, предложенной Зейтцем [27], большая часть зародышей пузырьков, возникающих в пузырьковой камере, образуется в том случае, когда проходящие частицы (например, протоны или п-мезоны) передают энергию резерфордовского рассеяния электронам в перегретой жидкости. Электроны быстро расходуют эту кинетическую энергию (порядка нескольких киловольт) на соударения с молекулами, и она выделяется в виде тепла. [c.162]

Очевидно, если опыты по рассеянию согласуются с формулой Резерфорда, радиусы ядер В) не могут превышать вычисленные значения 0 (i малых расстояниях не существовало бы кулоновского взаимодействия и наблюдалось бы не резерфордовское, а аномальное рассеяние. Действительно, при рассеянии а-частиц из природных источников на тяжелых элементах (Си, Ag, Аи) имеет место полное-согласие опытных данных с уравнением (1), но при рассеянии на А1 и других легких элементах наблюдаются отклонения от закона, предсказываемого формулой Резерфорда. Расстояние, на котором силы отталкивания делаются слабее, чем должно быть по закону Кулона (для А1 7-10" см), отождествляют с радиусом ядра. [c.30]

Л. а. субмикронных и поверхностных слоев проводят методами рентгеноспектрального анализа (см. Электронно-зондовые методы), катодолюминесцентного микроанализа, спектроскопии рассеяния быстрых ионов (резерфордовского рассеяния), масс-спектрометрии вторичных ионов в динамич. режиме, оже-спектроскопии и др. При послойном анализе субмикронных слоев без разрушения образец бомбардируют заряженными частицами (электронами, ионами). В зависимости от их энергии меняется глубина, на к-рой происходят процессы, приводящие к появлению аналит. сигнала - рентгеновского излучения, резонансных ядериых р-ций, резерфордовского рассеяния и др. Послойный анализ можно также проводить, варьируя угол отбора, т.е. угол, под к-рым к исследуемой пов-сти располагается приемник аналит. сигнала. [c.610]

Рас. 61. Угловое распределение протонов с Е = 22 Мэв, упруго рассеянных никелем. По ординате отложено отношение наблюдаемой величины сечения (сг) к сечению (Ор), вычисленному в предположении чисто кулоновского взаимодействия (резерфордовское рассеяние), а по абсциссе — угол рассеяния в системе центра масс [3]. [c.301]

Упругое рассеяние заряженных частиц с энергиями ниже кулоновского барьера ядра-мишени представляет собой описанное в гл. II резерфордовское рассеяние. По мере возрастания энергии бомбардирующей частицы последняя может преодолевать кулоновский барьер, достигая поверхности ядра, и, таким образом, в упругое рассеяние будут давать вклад и ядерные силы. У нейтронов, естественно, упругое рассеяние обусловлено ядерными силами при всех энергиях. [c.305]

К методам электронной спектроскопии относятся методы, в которых эмитируемыми частицами являются электроны, а зондирующими - электроны, фотоны и ионы. К методам ионной спектроскопии относятся методы, в которых вторичными частицами являются ионы. К наиболее распространенным методам электронной спектроскопии относятся Оже-электронная спектроскопия, рентгеновская и УФ-фотоэлектронная спектроскопия, спектроскопия энергетических потерь электронов, к методам ионной спектроскопии - вторичная ионная масс-спектрометрия, спектроскопия ионного рассеяния, спектроскопия резерфордовского обратного рассеяния. [c.78]

Соличеств интерпретация данных о рассеянии быстрых ионов проще, чем в случае медленных ионов, и проводится с применением резерфордовского закона рассеяния, когда эффектом экранирования ядер электронами можно пренебречь Частица, отраженная от пов-сти твердого тела, обладает большей энергией, чем частица, отраженная от внутр слоев мишени Потери энерги . связаны с электронным и ядерным торможением внутри твердого тела Т к сечение рассеяния невелико, часть ионов, проникнувших в глубь мишени, двигается по прямой испытывая в осн электронное торможение После соударения с атомом, в результате к-рого направление движущегося иона меняется на угол > 90° (обратное рассеяние), он под действием электронного торможения опять по прямой направляется к пов-сти материала Т обр, фиксируя спектры энергетич потерь обратнорассеянных ионов, можно без разрушения образца получить информацию о распределении определяемого элемента по глубине Напр, используя рассеяние а-частиц с энергией 10 Дж, можно исследовать слои тотщиной в доти мкм с разрешением по глубине 20 нм без послойного травления, к-рое необходимо в случае использования медленных ионов Разрешение по глубине зависит от массы и энергии первичных ионов, массы атомов материала и энергетич разрешения регистрирующей аппаратуры По величине потерь энергии можно определять также толщину пленок иа подложках [c.258]

Резерфордовское обратное рассеяние (POP) Рассеяние ионов средних энергий (MEIS) Рассеяние медленных ионов (РМИ) [c.347]

Кинетика -гзаимного проникновения серебра и золота из пленок, напыл нных послойно друг на друга, изучена методами Оже-спектроскопии, обратного резерфордовского рассеяния ионов и электронной микроскопии [61]. Как при повышенной (388 К), так и при комнатной темцературе (298 К) установлена аномально высокая скорость взаимодиффузии, что связано с определенным вкладом массопереноса по границам зерен. Роль структурного фактора в диффузионном процессе подтверждена экспериментами с мОнб- и поликристаллическими пленками серебра и золота. [c.45]

Атомы отдачи, двигаясь в твердом веществе, сначала затрачивают свою энергию на ионизацию атомов среды. Затем происходят неупругие атом-атомные столкновения — так называемое резерфордовское рассеяние, при котором атом отдачи проходит в среде путь, равный 100—1000 А. Далее начинаются соударения по типу жестких сфер. В этой области пробег атомов отдачи порядка 10 А. По теории Зейтца и Келлера, в области резерфордовского рассеяния и жесткосферных соударений атом отдачи затрачивает свою энергию на создание каскадов смещенных атомов и нагре- [c.178]

Физический аспект заключался в изучении свойств а-, Р- и Т-излучений, в частности в исследовании процессов их прохождения через различные вещества. Именно на этом пути в результате изучения рассеяния а-частиц возникла в 1910—1911 гг. резерфордовская ядерная модель атома. Ее основные принципы [c.239]