Сополимеры с глицидилметакрилатом

При полимеризации кислородсодержащих гетероциклов наиболее часто используются предшественники стабилизаторов, содержащие способные к сополимеризации эпоксидные группы, обычно в виде статистического сополимера глицидилметакрилата с лаурилметакрилатом. Для достижения удовлетворительной устойчивости желательно, чтобы минимальная молекулярная масса такого сополимера была 50 ООО. Ангидридные группы в статистических сополимерах винилацетата и малеинового ангидрида также способны участвовать в сополимеризации. [c.243]

Рис. VII. 22. Зависимость размеров элемен тов микрорельефа от его толщины для негативного электронорезиста на основе сополимера глицидилметакрилата с 3-хлор-

Чувствительность сополимеру глицидилметакрилата с этилакрилатом (70 30 Mw = 160000 Mw/Mn = 2,3), обозначаемого СОР, Dr = 3,2-10- Кл/см , 7= 1,0 [95]. По данным ДТА сополимер при нагревании структурируется, поэтому температура предварительной термообработки рекомендована в интервале 60—75°С, продолжительность термообработки 3—15 мин. При проявлении в метилэтилкетоне наблюдали деструкцию возникших структур из-за набухания сшитого полимера. Эта деструкция была подавлена при проявлении в смеси метилэтилкетона с этанолом (5 2). Температура доотверждения рекомендована в пределах 100—150°С. Испытания показали очень хорошие литографические свойства СОР как при изготовлении хромовых масок, так и в некоторых случаях при прямом экспонировании на кремниевых подложках [96]. Минимальный размер элементов в технологических процессах составляет 1 мкм. Существенным недостатком при использовании этого сополимера для прямого экспонирования на кремниевых подложках является его низкая температура стеклования (Тс 10°С), что на стадиях обработки при повышенной температуре ведет к деструкции образованной структуры. СОР стал первым промышленно производимым электронным резистом, предназначенным для производства хромовых масок. Подобные резисты запатентованы в ФРГ [пат. ФРГ 2543553, 2849996, 2450381]. [c.246]

ЭПБ г — сополимер глицидилметакрилата с этил- С) [c.265]

Сополимер глицидилметакрилата с этилендиметакрилатом Си(П) 1,15 ммоль г [c.137]

Исследована прививочная полимеризация метилметакрилата к различным полиалкилметакрилатам под действием у-излуче-ния (Со °) и прививка бутилметакрилата к сополимерам глицидилметакрилата с тиогликолевой кислотой и сероводородом [c.617]

Рис. 1.9. Изменение вязкости ([т]]) и мутности (гп) водного раствора сополимера глицидилметакрилата при хранении [86]

Сополимеры глицидилметакрилата с дивинилбензолом могут взаимодействовать с гидроксильными группами в лара-положении [c.109]

Рис. VII. 20. Микрофотографии рельефов, полученных на основе сополимера глицидилметакрилата с бутадиеном после проявления в термодинамически хорошем растворителе — бензоле (а) и в смеси термодинамически хорошего и плохого растворителей — бензол гептан = 54 55 (б) ширина линий рельефа 3 мкм.

ТАБЛИЦА VII. 3. Характеристика сополимеров глицидилметакрилата с галогенпроизводными стирола, применяемых в качестве электронорезистов [c.249]

Как видно из данных табл. VII. 3, при близком соотношении компонентов в сополимере, наибольшая чувствительность наблюдается у сополимера с бромпроизводным стирола, однако его контрастность так же, как и стойкость к плазменному травлению, наименьшая. Наиболее подробно изучены литографические свойства сополимера глицидилметакрилата с 3-хлорстиролом. Для улучшения адгезии необходима предварительная термообработка пленки, при которой, однако, всегда происходит структурирование, а структурированный резист нужно после проявления (рис. VII. 21, а) jp удалять из необлученных [c.250]

Рис. 1.10. Изменение содержания карбоксильных (/) и глицидных (2) групп (Л) при хранении водного раствора сополимера глицидилметакрилата [86]

В европ. пат. WO 82/01847 в качестве негативного рентгеноре-зиста с отличной разрешающей способностью описана смесь поли-2,3-дихлор-1-пропилакрилата с сополимером глицидилметакрилата с этилакрилатом. [c.246]

Сополимер глицидилметакрилата или глицидилакрилата с бутадиеном содержит как эпоксигруппу, так и двойные связи. При определении чувствительности к ионизирующему излучению было установлено, что зависимость 0 Х) от состава полимера имеет максимум при содержании в сополимере 25 % (мол.) глицидилметакрилата [75] (рис. VII. 19). Значения изменялись в интервале 0,5-10 —4-10 Кл/см в зависимости от состава и ММ полимера. Ниже приведены свойства двух сополимеров глицидилметакрилата с бутадиеном равного состава [c.247]

Сополимерь глицидилметакрилата с хлоралкилированными стиролами (Ма, = 10 ) показывают чувствительность 10- Кл/см при ускоряющем напряжении 20 кВ. Технология обработки их такая же, как и у резистов на основе сополимера глицидилметакрилата с 3-хлорстиролом [пат. США 4208211]. [c.250]

Продукты взаимодействия с диметиламином и этаноламином после алкилирования образуют сильноосновные ионообменные смолы [55]. При реакции макропористых сополимеров глицидилметакрилата и этилендиметакрилата с производными имидоуксус-ной кислоты (натриевая соль, нитрил, сложный эфир) образуются продукты следующего строения [56] [c.57]

Сополимеры метакриловых эфиров ненасыщенных спиртов могут быть использованы как негативные электроно- или рентгенорезисты с отличной стойкостью к плазменному травлению. Например, сополимер аллилметакрилата с 2-гидроксиэтилметакрилатом (молярное соотношение 75 25) с = 487 10 имеет чувствительность 1,8-10" Кл/см и стойкость к травлению смесью С1 4, О2 и N2 (93 4 3) в 2 раза лучшую, чем сополимер глицидилметакрилата с этилакрилатом (72 28), разрешение также хорошее (до 0,3 мкм) [пат. США 4289842]. [c.258]

Написать реакции образования сополимеров глицидилметакрилата с акриловой кислотой и объяснить, как происходит плеикообразова-ние [c.188]

Более подходят для полимеризации с раскрытием цикла кислоты Льюиса, особенно эфират трехфтористого бора, но можно применять и другие катализаторы, например, триалкилы алюминия. В случае использования в качестве стабилизаторов сополимеров глицидилметакрилата особенно пригодным катализатором оказался эфират трехфтористого бора, так как с ним эти сополимеры легко образуют розовые комплексы, в которых соотношение бор глицидильная группа в несколько раз превышает стехиоме-трическое. Это обстоятельство представляет определенное преимущество, поскольку позволяет получать полностью гомогенную каталитическую систему в алифатических углеводородных растворителях. [c.243]

Много интересных для промышленного применения реакций можно провести на основе глицидиловых эфиров полиметакриловой кислоты. Химические свойства глицидилметакрилата интенсивно исследовали многие авторы. При этом интересовались прежде всего сорбционными свойствами образующихся продуктов и их пригодностью в качестве носителей биологически активных веществ. Взаимодействие сополимеров глицидилметакрилата и эти-лендиметакрилата с аминопиридином исследовано в [50] (речь идет о слабоосновных ионитах). Обзор способов получения, модификации и применения макропористых сшитых материалов на основе сополимеров глицидилметакрилата и этилендиметакрилата дан в [51]. Этими же авторами опубликован ряд работ, посвященных полимераналогичным превращениям этих реакционноспособных полимеров аминолизу [52, гидролизу эпоксидных групп и 66 [c.56]

Интересным сомономером является глицидилметакрилат. На его основе можно синтезировать сополимеры с акриламидом, причем амидные группы способны взаимодействовать с оксирановой группировкой. Швец и Калал получили сополимеры глицидилметакрилата и этилендиметакрилата, которые фиксируют энзимы по оксирановой группе в интервале pH 3—И [63, 64]. Для использования поливинилового спирта в качестве носителя энзимов проводят его взаимодействие с терефталевым альдегидом [65] и 2- м-аминофенил)-1,3-диоксоланом [66]. Интересным носителем является сополимер малеинового ангидрида с N-винилпирролидоном или дивинилбензолом. Можно использовать и сополимеры малеинового ангидрида с этиленом, которые активируют, например, взаимодействием с 1,6-диаминогексаном [67]. Принципиальные возможности связывания энзимов полимерами с функциональными группами представлены ниже (I — бромциановый метод, И — азид-86 [c.86]

Известны полимеры и сополимеры глицидилметакрилата с метилхлоракрилатом, вннилхлоридом и акрилонитрилом . [c.131]

Как УФ-резисты известны полиглицидилметакрилат и сополимеры глицидилметакрилата и этилакрилата, глицидилметакри-лата и метилметакрилата [10,6]. Электронный спектр последнего сополимера в области коротковолнового УФ-света аналогичен спектру ПММА. Одномикронный слой этого сополимера Mw = = 5-10 ) формируют на Si02/Si или фосфоросиликатном стекле из хлорбензольного раствора, сушат при 130°С, экспонируют в атмосфере азота через контактную хромовую маску на кварце светочувствительность его составляет 0,25 Дж/ м . Проявляют рельеф смесью метилизобутилкетона и метилэтилкетона, выдерживают при 170 °С в течение 30 мин в атмосфере азота. При этом, судя по термограммам, идет сшивание цепей полимера за счет эпоксидных групп, что резко улучшает адгезию и термостабильность [c.179]

ТИПОВ сополимеров глицидилметакрилата и глицидилакрилата, ко-торые при сохранении чувствительности 2-10 —6-10 Кл/см при 20 кВ, рассматриваемой как предельно допустимая с точки зрения производительности электронной литографии, имели бы большую Тс и стойкость к плазменному травлению. Первыми были испытаны сополимеры со стиролом глицидилметакрилата (I) и глицидилакрилата (II) [97] [c.248]

ЭПБ 2 сополимер глицидилметакрилата с этил- С) акрилатом 3 — полиглицидилметакрилат-, 4 — поли- . [c.265]

Дж/см и 50 Дж/см2 и создают изображение при малом AR [7]. ПДХПА в смеси с сополимером глицидилметакрилата с этилакрилатом, а также с N-випилкарбазолом и политетрафторпропилмет-акрилатом при толщине слоя 0,2 мкм требует для экспонирования дозу около 10 Дж/см [6], что при использовании МСР обеспечивает достаточное AR. При косом пучке излучения из точечного источника края резиста на границах экспозиционного поля также косые (см. рис. 1.23). Это ухудшает передачу ширины диагональных линий в предельных по разрешению структурах. [c.271]

Одной из важнейших особенностей полимеров, содержащих боковые глицидные группы, является их высокая реакционная способность. Установлено, что при соответствующем расположении а-оксидного кольца и правильно выбранных условиях реакции эти полимеры могут вступать во взаимодействие более чем с 50 различными функциональными группами [85]. Раскрытие оксидного кольца в зависимости от типа реагента может протекать с образованием оксониевого производного и без него. Высокая реакционная способность глицидных групп используется для модификации пленкообразователя и проведения сшивания при формировании покрытия из него. Обрабатывая сополимеры глицидилметакрилата ненасыщенными жирными кислотами (акриловой или метакриловой), получают пленкообразователи, покрытия из которых обладают высокой твердостью, ударной прочностью, атмосферо- и химической стойкостью [69]. [c.54]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология