Теплоэлектрические манометры

Путем увеличения тока накала нити и дополнительными устройствами пределы измерения теплоэлектрическими манометрами могут быть расширены в область давлений, превышающих 1 мм рт. ст., и по некоторым данным доведены до давлений 50—60 мм рт. ст. [367]. Нижний предел измеряемого давления составляет 1 10"3 мм рт. ст., при более низких давлениях теплопроводность газа очень мала и преобладающую роль начинает оказывать передача тепла излучением от нити к стенкам баллона. [c.517]

При необходимости измерять давление в диапазоне от 30 до 1 10 мм рт. ст. может применяться теплоэлектрический манометр сопротивления типа МТ-6. Нить начала этого манометра включена в одно из плеч моста сопротивлений. В одну из диагоналей моста включен генератор переменного тока с частотой 3,4 кгц, в другую диагональ — усилитель, который при разбалансе моста в результате изменения давления управляет выходным напряжением генератора таким образом, что мост снова приходит в равновесие. Датчик работает в режиме постоянства температуры нити, которая равна 220° С. При изменении давления от 30 до 1 10-2 рт ст. ток накала нити датчика меняется от 4 до 52 ма. а напряжение — от 0,5 до 6 в. Погрешность измерения давления доходит до 40%. [c.138]

В технике напыления тонких пленок теплоэлектрические манометры применяются в основном для измерения предварительного разрежения, создаваемого механическими насосам . Для этой цели обычно нет необходимости добиваться высокой точности измерений и вполне достаточна та невысокая точность, которую могут обеспечить термопарные манометры ЛТ-2 и ЛТ-4 в диапазоне давлений 10 2—10 мм рт. ст. Однако требования к точности измерения давления существенно возрастают в том случае, если, нацример, необходимо получить воспроизводимые параметры танталовых пленок, изготовляемых путем катодного распыления в среде инертного газа. Еще большие требования к точности измерения давлений предъявляются при катодном распылении тугоплавких металлов при получении пассивных микроэлементов, когда к основному инертному газу добавляется тот или иной реактивный газ (кислород, азот, метан И др.), подачу которого необходимо точно дозировать. [c.148]

На только что описанном принципе основано применение теплоэлектрического манометра Пирани для определения давле- [c.18]

Механические насосы испытывают, измеряя предельный вакуум, достигаемый насосом без нагрузки. Для такого измерения пригодны компрессионные манометры Мак Леода или теплоэлектрические манометры (например, манометр Пирани). Предельный вакуум несколько изменяется от образца к образцу и от марки к марке. Промышленные насосы, работающие на легких погонах автомобильного масла, например масле 8АЕ-20, обычно имеют предельный вакуум от 5 до 20 [i.Hg. Резкое ухудшение предельного вакуума но сравнению с приведенными данными может быть связано со следующими причинами [c.74]

Теплоэлектрические манометры. На принципе изменения теплопроводности разреженного газа с изменением давления основано действие двух известных и имеющих широкое применение манометров манометра сопротивления и термопарного манометра. [c.119]

Сущность способа заключается в следующем вакуумная установка или часть ее изолируется от насоса соответствующим клапаном, задвижкой или крапом, и при помощи какого-либо манометра измеряется быстрота возрастания давления в изолированной части. Понятно, что при этом предпочтительнее пользоваться манометром непрерывного действия, например ионизационным манометром, нежели манометром разового действия, вроде манометра Мак Леода. Тип измерительного прибора определяется областью давлений, в которой производят измерения. Так, например, если давление в установке не опускается ниже 100 [х Hg и включать пароструйный насос нельзя, то измерять возрастание давления можно теплоэлектрическим манометром Пирани, термопарным манометром или компрессионным манометром соответствующего типа. Прежде всего следует отключить вакуумную установку от насоса и измерить быстроту возрастания давлепия. Если полученная величина мало отличается от нормы для вакуумно-плотной системы (предполагается, что эта норма известна) или достаточно мала, чтобы обеспечить в данной установке при данном насосе нужное давление, то это указывает не на течь в установке, а на плохую работу пасоса или на наличие в нем течи. Предположим, что быстрота возрастания давления указывает на наличие течи в самой вакуумной установке. Тогда можно определить приблизительную величину натекания с.ледующим образом пусть вакуумная установка имеет объем 1000 л и скорость возрастания давления равна 5 [Л Hg за 10 сек при начальном давлении 100 [л Hg. Тогда общее натекание равно около 500 микрон-л/сек. Это, конечно, значительно превышает нормальное натекание вакуумно-плотной системы. Знание общего натекания установки позволяет при испытании отмечать главные течи. [c.208]

При г=0 = iQ+q)S2 = Р2)о- Предположим теперь, что индикатор, например теплоэлектрический манометр, расположен между пароструйным и механическим насосами, как показано пунктиром на фиг. 102. Тогда относительное изменение показаний манометра при попадании пробного газа будет [c.252]

На зависимости теплопроводности газа от давления основана работа теплоэлектрических манометров, измеряющих давление разреженного газа в диапазоне от нескольких миллиметров до тысячных долей миллиметра ртутного столба. [c.8]

Измерение давлений ниже 1 мм рт. ст. чаще всего производится с помощью теплоэлектрических манометров. К числу теп-44 [c.44]

Наиболее распространенным в эксплуатации относительным манометром, предварительно проградуированным по компрессионному манометру, является теплоэлектрический манометр, основанный на изменении теплопроводности газа в зависимости от давления. Стандартные приборы, имеющиеся в продаже, имеют пределы измерения от 10 до 1 мм рт. ст., причем в крайних точках диапазона точность измерений весьма невелика. При помощи специальных устройств верхний предел измерений может быть доведен до 50— 60 мм рт. ст. [42]. Заводами радиотехнической промышленности выпускаются вакуумметры ВТ-2 и ВИТ-1, которые включают в себя датчик — измеритель давлений — манометрическую лампу ЛТ-2 в стеклянном баллоне или ЛТ-4М в металлическом баллоне и электрическую схему питания и измерения, соединенную проводами с измерительной частью. Измеритель давлений непосредственно присоединяется к вакуумному аппарату в месте измерения давления. Внутри измерительного баллона расположена нить накала, к которой подводится электрический ток с постоянной мощностью таким образом, количество тепла, выделяемое нитью накала в единицу времени, является постоянной величиной. К нити накала присоединена термопара для измерения ее температуры. Если давление внутри баллона понижается, то теплопроводность газа, которая зависит от давления в области весьма низких давлений, также уменьшается и температура нити накала оказывается более высокой. Это изменение температуры фиксируется термопарой и может быть измерено вакуумметром ВТ-2 или ВИТ-1, соединенным с манометрической лампой. [c.324]

Теплоэлектрические приборы. Принцип действия теплоэлектрических манометров основан на изменении теплопроводности газа в зависимости от давления в области весьма низких давлений. Мерой давления является изменение температуры нити накала, на которую подается постоянная электрическая мощность. Нить помещена в специальный баллон, соединенный с вакуумной системой. Тепло от нагретой нити передается к стенкам баллона теплопроводностью, причем скорость отвода тепла от нити при давлениях меньше 1 мм рт. ст. зависит от давления внутри баллона. При постоянной подводимой электрической мощности температура нити будет тем выше, чем меньше теплопроводность среды, т. е. чем меньше давление в баллоне. Изменение температуры регистрируется термопарой или термометром сопротивления. Полученные электрические величины можно непосредственно измерить. Их также можно использовать для автоматического управления, для дистанционного измерения и для непрерывной записи значений давления самопишущим прибором. [c.525]

Увеличением тока накала нити й применением дополнительных устройств пределы измерения теплоэлектрическими манометрами могут быть расши- [c.525]

Способы обнаружения мест натекания с помощью манометров. Если, например, обдувать вакуумную систему струей водорода, то при наличии течи давление в системе резко повысится, так как водород проникает в систему значительно быстрее воздуха. При измерении давления теплоэлектрическим манометром для обдувания системы следует выбирать газ или пар, имеющий по сравнению с воздухом значительно большую или значительно меньшую теплопроводность. В этом отношении водород имеет преимущество, так как его теплопроводность значительна и при попадании его в манометрическую лампу температура нити понижается. С помощью теплоэлектрического манометра можно обнаружить натекание до 1 10 л-мкм рт. ст/с. [c.562]

В качестве течеискателей применяют трансформаторы Тесла, ионизационные манометры, масспектрографы и теплоэлектрические манометры. Для обнаружения течи в закрытых объемах можно использовать также метод меченых атомов. [c.181]

Теплоэлектрические манометры. Работа этих манометров основана на зависимости теплопроводности разреженного газа от его плотности, т. е. от количества молекул в единице объема, способных при своем движении переносить тепло. Теплоэлектрические манометры делятся на две группы термопарные манометры и манометры сопротивления. Б термопарном манометре термопара своим спаем припаяна к подогревателю. При неизменном токе накала подогревателя в результате изменения давления мёняется температура спая, а следовательно, и термоэлектродвижущая I сила, по величине которой судят о давлении. [c.136]

Теплоэлектрически манометр сопротивления или термопарный манометр хорошего качества как необходимое дополнение к манометру Мак Леода, позволяющее производить непрерывны отсчет давления. [c.101]

Совершенно ясно, что ряд перечисленных способов определения течей требует применения соответствующих приборов. Большинство таких приборов было рассчитано на показание изменения давления, вызванного проникновением газа или конденсирующихся наров в вакуумную камеру. Такими приборами являются теплоэлектрический манометр Пирани, рт тный или масляный, термопарный и ионизационный манометры, манометр Кнудсена и магнитный электроразрядный манометр. Эти приборы используют [c.205]

При описываемом ниже способе употребляется неконденси-рующийся газ, нанример гелий. Выбор легкого газа определяется необходимостью увеличить скорость диффузии газа через течь. Действие этого газа на прибор, контролирующий изменение давления, зависит от типа этого прибора. Так, например, замена воздуха гелием будет уменьшать показания ионизационного манометра благодаря малой массе молекул и высокому потенциалу ионизации гелия однако гелий будет повышать показания теплоэлектрических манометров вследствие более высокой подвижности молекул гелия, которые будут более эффективно, чем молекулы воздуха, отводить тепло. [c.216]

Чувствительность этого способа определения течи непосредственно зависит от типа устройства, применяемого для обнаружения пробного газа внутри установки. Если для этой цели применяется манометр, то тип его будет определяться областью давлений, в которой ведется течеискание. Так, например, когда течи таковы, что делают невозможной работу пароструйного насоса, следует применять теплоэлектрические манометры. Купер [8] описал схему манометра Пирани, в которой индикатором течи служит звук громкоговорителя, что облегчает процедуру течеискания. Очевидно, такое устройство можно применять с равным успехом при работе и с временными уплотнителями и с неконденсирующимися газами. При давлениях порядка 10" мм Нд можно применять манометры Кнудсена или ионизационные. [c.216]

Предположим, что вакуумная система откачивается после того, как в ней было атмосферное давление, или после какой-либо аварии. Если соединенный с системой манометр, способный измерять давления порядка миллиметров ртутного столба, показывает давление выше ЮТ [I. Hg, ясно, что диффузионный насос еш,е не может быть включен. Пзрвый шаг должен быть предпринят в направлении приблизительного определения места возможной течи. Это лучше всего сделать, перекрывая вентилями определенные части системы, соединенные с насосом предварительного разрежения, и измеряя быстроту натекания газа в систему. Сначала должна быть отсоединена от насоса предварительного разрежения основная часть системы, включающая пароструйный насос. Если в основной части системы течи нет, необходимо проверить масло механического насоса, так как его может быть мало или оно может быть грязное. Если установлено, что течь находится в основной части системы, то прежде всего необходимо проверить наиболее вероятные места течи, например фланцевые уплотнения. Если в этих местах течи нет, то в зависимости от давления в системе надо воспользоваться одним из описанных ранее способов определения течи. Ясно, что пользоваться в этом случае ионизационным манометром или мано-мет )Ом Кнудсена для определения давления невозможно. При обдувании такими газами, как метан, пропан или гелий, можно использовать теплоэлектрический манометр. Система также может быть проверена различными вариантами метода давления. Как только давление по компрессионному манометру или манометру сопротивления снизится до 100 [лНд, можно включать пароструйный пасос. [c.243]