Ионно-плазменные покрытия

На ОГКМ эксплуатируют более 1000 единиц запорно-регулирующей арматуры, из-за коррозионно-эрозионных повреждений ежегодно реставрируют 100. .. 120 шаровых кранов. Одним из путей повышения надежности деталей кранов является нанесение на них ионно-плазменных покрытий. У этих покрытий — незначительная толщина в сочетании с хорошими адгезионными и антикоррозионными свойствами, они не требуют дополнительной механической обработки, их можно наносить на сложные поверхности. Кроме того, данный способ защиты не изменяет исходных механических свойств материалов изделий и является относительно недорогим по сравнению с другими типами покрытий. Поэтому представляется целесообразным оценить защитные свойства ионно-плазменных покрытий в сероводородсодержащих средах. [c.349]

Коррозионные испытания проводили на образцах из стали 45 и стали 20, планируемых для изготовления деталей и узлов оборудования, контактирующего с сероводородсодержащими средами. Ионно-плазменные покрытия на поверхность образцов наносили методом конденсации вещества в вакууме на ионно-плазменной установке "Булат-ЗТ". После достижения вакуума 10 Па проводили ионную бомбардировку (очистку) для активизации поверхностного слоя об- [c.349]

Рис. 152. Влияние ионно-плазменных покрытий на сопротивление стали СР 350

Покрытия ионно-плазменные для режущего инструмента. [c.140]

Проведенные в МЭИ (ТУ) комплексные исследования [1] показали, что для увеличения износостойкости лопаток турбин в зоне фазового перехода наиболее перспективны защитные покрытия, получаемые в вакууме по ионно-плазменной технологии. [c.45]

Хорошими защитными свойствами обладают диффузионные, ионно-плазменные и пиролитические покрытия при определенных режимах их нанесения. Наряду с этим применение соответствующих покрытий и технологий их нанесения для конкретных деталей и оборудования определяется [c.361]

Такая система покрытий обеспечивает защиту стальной основы от водородного охрупчивания и коррозии и изнашивания гидро- или газоабразивным потоком. Двухслойное покрытие с наружным слоем, состоящим в основном из окиси алюминия, можно получать последовательным плазменным напылением с плавным переходом от А1 к А12 О3 или окислением части нанесенного алюминиевого покрытия. При этом окисление можно проводить твердым анодированием, анодным оксидированием, ионной имплантацией, окислением в тлеющем разряде и другими методами. [c.111]

Существует несколько различных способов реализации процесса катодного распыления, включающих распыление ионным пучком, плазменное распыление, радиочастотное распыление, триодное, диодное (при постоянном токе) распыление и диодное распыление с охлаждением. В настоящее время для нанесения покрытия на образцы для РЭМ и рентгеновского микроанализа обычно используются лишь распыление ионным пучком, диодное распыление и диодное распыление с охлаждением. [c.199]

Напыление ведется при помощи специальных плазменных пистолетов-распылителей, в которых создается мощная электрическая дуга в камере между вольфрамовым катодом и медной фоР" сункой-анодом. И анод и катод интенсивно охлаждаются проточной водой. Проходящий через камеру газ подвергается высокой ионизации и переходит в состояние плазмы. Этот процесс протекает с поглощением большого количества тепла. После выхода из форсунки струи плазмы начинается обратное соединение ионов и электронов в атомы, сопровождающееся выделением тепла, повышающего температуру струи. В аргонном пистолете-распылителе можно достигнуть температуры 10 000—20000°С, в азотном — 6000—8000 °С. Распыляемый материал вводится в струю плазмы в виде порошка или прута. Плавящиеся в горячей плазме и переносимые струей с большой скоростью частицы ударяются о соответственно подготовленную поверхность покрываемой детали, деформируются и прилипают к ней, образуя / покрытие. [c.185]

Рассмотрены методы вакуумного нанесения тонких пленок с помощью процессов, происходящих в низкотемпературной газоразрядной плазме осаждение распылением ионной бомбардировкой, активируемое плазмой охлаждение из газовой фазы при пониженном давлении, ионное покрытие, автоэмиссионный метод, кластерный метод, осаждение с помощью сильноточных плазменных устройств. [c.279]

Как видно из рисунка, диффузионный процесс резко интенсифицируется при нанесении припоя методом ионного напыления. Эксперименты показали, что при нанесении припоя в виде фольги, гальваническом покрытии, способе плазменного или ионного напыления активность диффузионных процессов различна. Это связано главным образом с различным искажением в кристаллических решетках поверхностных слоев основного металла и припоя, вносимым в процессе обработки, предшествующей пайке. Время диффузионной пайки может быть также резко сокращено при применении термоциклирования, т. е. периодического чередования нагрева до температуры пайки с кратковременной выдержкой и охлаждения до температуры на 100—200° С ниже температуры пайки. [c.217]

Для определения защитных свойств ионно-плазменных покрытий проводили испытание на СР в среде NA E цилиндрических образцов диаметром 6 мм при скорости деформирования 3,6-10 м/с. Результаты испытаний (рис. 152) свидетельствуют о высоких защитных свойствах покрытия из нитрида титана, повышают сопротивление стали СР покрытия из молибдена, хрома, циркония, алюминия. Однако покрытия из нитридов этих металлов имеют пониженные защитные свойства. Учитывая полученные данные и сведения об устойчивости нитрида титана в растворах кислот [92, [c.350]

Состав недиффузионных покрытий необходимо выбирать таким образом, чтобы обеспечить совместимость материала покрытия и основы при температурах эксплуатации, а также высокую адгезию покрытия с основой. Эти покрытия наносят методами химического осаждения из газовой фазы, а также различными методами напыления (пламенного, плазменного, детонационного). В последние годы развиваются методы электронно-лучевого напыления покрытий в вакууме, а также напыление различных элементов и соединений с использованием электрических и магнитных полей (ионно-плазменное, в том числе магнетрон ное, катодное напыление, нанесение покрытий в тлеющем и высокочастотном разряде и т. д.). При достаточно высокой температуре процесса часть напыленного покрытия может превратиться в диффузионное. [c.432]

Формирование керамики по отработанной нами технологии существенно отличается от известных методов нанесения покрытий (в том числе керамических), к которым относятся плазменный, ионно-плазменный, диффузионный, детонащюнный и др. Недостатком указанных методов является то, что при этом используется, во-первых, дорогое оборудование и высокого класса технические специалисты, а, во-вторых, получаемое покрытие имеет крайне низкое сцепление (адгезию) покрытия с основой. Покрытие, лолучаемое этими методами, удерживается на основе только за счэт механических сил сцепления. [c.67]

Специфические свойства поверхности эффективно используются в тонкопленочной технологии получения, например, фотодиодов, интегральных магнитных элементов вычислительной техники, приемников и ИК-излучения, радиопоглощающих и радиоотражающих покрытий, тензодатчиков, преобразователей солнечной энергии и др. Для нанесения пленок используют следующие процессы диффузионное насыщение, плазменное (или иное) напыление, испарение —конденсация, электрохимическое осаждение, электрофорез, ионную имплантацию, химический транспорт. [c.53]

Высокие скорости травления и селективность по отношению к протравливаемому материалу и покрытию достигаются выбором газа в плазме и энергии ионов. На примере фторированных углеводородов типа F4, СгРе, 4F10 и 2F4 можно продемонстрировать влияние отношения F/ на травление и полимеризацию при плазменном травлении [100]. С увеличением отношения F/ возрастает скорость травления и подавляется полимеризация. Положительную роль здесь играет кислород, в ряде случаев используемый в смеси с фторированными углеводородами. Кислород повышает отношение F/ в результате образования СО и СО2 (рис. 1. 30). Часть реакций, происходяш,их в плазме F4 на поверхности Si, дана на схеме [101] [c.60]

Ионная бомбардировка з процессах ПА ХОГФ всегда способствует уплотнению структуры осаждаемых пленок и развитию в них сжимающих напряжений. В результате свойства пленок, осаждаемых в процессах ПА ХОГФ, зависят не только от стандартных операционных параметров, таких как давление, расходы реагентов и температура осаждения, но и от частоты и мощности плазменного разряда, напряжения автосмещения, межэлектродного расстояния, покрытия и геометрии внутренних поверхностей реактора. Поэтому РЕ VD пленки трудно сравнивать между собой без знания геометрии разрядной системы и условий плазменного разряда. [c.96]