Вакуумные уплотнения для вводов движения

Рис. 7.19. Принципиальные схемы вакуумных вводов движения а —для передачи вращательного движения / — с шарниром и сильфоном 2 —с постоянным магнитом 3 с коническим уплотнением 4 — с уплотнением Вильсона 5 — с промежуточным звеном, совершающим плоскопараллельное движение в с кольцами Зиммера 7 —с качающейся шестерней б — для передачи возвратно-поступательного движения / — с сальниковым уплотнением, уплотнением Нильсона и кольцами Зиммера 2 —с резиновой диафрагмой 3 — с сильфоном 4— с промежуточной откачкой 5 — с использованием магнита в —для передачи качательного движения / — с резиновой диафрагмой 2 —с сильфоном З — с электромагнитным приводом

Вводы для передачи движения. Для правильного функционирования внутренних элементов вакуумной системы, таких как затворы, модуляторы света, держатели сменных масок и подложек и т. д. необходима передача внутрь вакуумной камеры поступательного, вращательного или колебательного движения. К настоящему моменту уже разработан много вариантов вводов этого типа и непрерывно продолжается разработка модификаций [248]. Наибольшее применение для передачи движения нашли вводы с прокладками из эластомеров, с металлическими сильфонами или с магнитным приводом. Несколько вариантов вводов с уплотнителями на валу из эластомеров показаны на рис. 79. В варианте а используется двойное уплотнение кольцевыми прокладками, допускающее как возвратнопоступательное, так и вращательное движение, см. разд. 4 Б, 2). Обычно вал центрируется самими прокладками, однако иногда для обеспечения более высокой точности центровки применяются внешние шарикоподшипники. Для уменьшения трения используются силиконовые масла, имеющие низкое давление паров. Это особенно существенно для вводов с возвратно-поступательными перемещениями. Для вводов вращения можно использовать специфические антифрикционные свойства тефлоновых прокладок (или резиновых прокладок, покрытых тефлоновыми оболочками). Пространство между валом и отверстием можно либо откачивать для обеспечения охранного вакуума, либо заполнять маслом или специальной антифрикционной смазкой. Последний вариант характерен для высоковакуумных вентилей с линейным перемещением штока. Такие вводы серийно выпускаются с диаметрами вала от 6 до 50 мм, линейным перемещением до 10 см и скоростью вращения до 500 об/мин. Некоторые типы вводов вращения с антифрикционной смазкой позволяют увеличить скорость вращения более чем до 1000 об/мин, при скорости натекания не выше 10 мм рт. ст. л с 1. Применение вводов с уплотнителями на валу для вакуумных систем с давлением ниже 10 мм рт. ст. проблематично, особенно если требуется обеспечить возвратно-поступательное движение. Последние часто являются причиной резких изменений уровня вакуума вплоть до двух порядков величины, в зависимости от амплитуды перемещений, скорости вращения и типа антифрикционной смазки, На рис. 79, б [c.281]

I — вращательный форвакуумный насос 2 — ловушка для улавливания конденсируемых паров со смотровым окном 3 — вентиль для напуска воздуха 4 — дросселирующий затвор . 5— трубопровод форвакуумной откачки 5 затвор байпасной линии откачки 7 — байпасная линия откачки 8 — манометр Пирани 9—затвор форвакуум-ной линии откачки — диффузионный насос II — затвор с ловушкой 12 — вакуумная камера /< —электрический токопровод 14 — стержневое уплотнение ввода движения 15 — датчик магниторазрядного манометра [c.6]

Непременным условием проведения всех вакуумных процессов, включая осаждение тонких пленок, является передача в объем вакуумной камеры механического движения и электрического тока. Такая передача облегчается при использовании специальных вакуумных узлов, называемых вводами. Они монтируются на стенке вакуумного колпака, на базовой плите или съемном фланце соответствующих размеров. Для уплотнения фланцев с вводами часто используются прокладки из эластомеров. Такие вводы при необходимости могут быть легко демонтированы. Следует иметь в виду, что они часто становятся источниками натекания газа. Поэтому выбор типа ввода и метода его установки должен определяться спецификой поставленной задачи. В запасном комплекте к вакуумному оборудованию обычно имеются наборы вводов различного назначения, в том числе и на основе металлостеклянных или металлокерамических спаев. Некоторые типы вводов для передачи движения выполнены на основе металлических сильфонных узлов, сборка которых в условиях неспециализированной мастерской вряд ли возможна. Таким образом, для правильного выбора подходящего ввода необходимо иметь некоторые представления о типах соответствующих устройств и их специфических характеристик. [c.277]

Для разобщения различных частей вакуумной системы и- отделения ее от окружающей атмосферы применяются вакуумные вентили. В зависимости от назначения для регулировки потока газа через указанное устройство используются различные механизмы. В общем случае такие приборы должны обладать минимальным газовыделением и натеканием, а также максимальной пропускной способностью в открытом состоянии. Адекватная пропускная способность требуется в том случае, если площади поперечных сечений открытого затвора (или вентиля) и впускного отверстия системы сравнимы. Скорость обезгаживания можно сделать достаточно малой, применяя при конструировании таких устройств, главным образом, металлы и по возможности избегая экспозиции внутренних поверхностей на воздухе. Вентили, в которых для уплотнения ввода передачи движения используются прокладки из эластомеров, часто условно называются кранами. Используемая в них для снижения трения смазка имеет обычно сравнительно высокое давление паров. Поэтому употребление ее не должно быть чрезмерным. Еще одним источником выделения газа являются сами прокладки из эластомеров. Натекание газа чаще всего происходит через уплотнение вала (штока) ввода для передачи движения. Поэтому тип используемого в данном устройстве уплотнения вала является одной из его важных характеристик. Те устройства, в которых перемещения производятся посредством сильфонов или магнитного привода, принято называть просто вентилями. (Вентили большого проходного сечения часто называют затворами.) Натекание газа в хорошо сконструированных кранах не превышает 10 6 мм рт. ст. л с 1, тогда как в вентилях оно бывает обычно на два порядка величины меньше 1248]. Поэтому в системах сверхвысокого вакуума применяются именно вентили. Они же часто используются и в обычных системах для уменьшения натекания. Более специфической по сравнению со способом уплотнения вала (штока) [c.285]

Для передачи движения в вакуумные камеры с давлением до 5 Ю мм рт. ст. особое место занимают вводы с уплотнением на валу, отличающиеся сравнительной простотой в изготовлении и надежностью в работе. [c.101]

Ввод вращающихся валов. Передача вращательного движения в вакуум может осуществляться с помощью сильфонного уплотнения, однако чаще для этой цели применяются сальниковые уплотнения с резиновыми и металлическими шайбами, смазываемыми высококачественным вакуумным маслом. Сильфонное уплотнение с качающимся [c.387]

Уплотнение скользящих и вращающихся вводов. Одним из важнейших вопросов вакуумной техники является надежность уплотнений движущихся частей, вводимых в вакуумную систему. Во многих работах существует возможность производить необходимое перемещение внутри вакуумной камеры при помощи магнитов. Для этого постоянный магнит или электромагнит помещается снаружи, но по возмон ности ближе к ферромагнитной детали, которая должна перемещаться внутри камеры. Движение внутри камеры в этом случае осуществляется передвижением постоянного магнита или пропусканием тока через электромагнит. Ясно, что часть вакуумной установки, в том месте, где производится такое перемещение, должна изготавливаться из немагнитного материала. Этот метод особенно удобен тогда, когда заданное перемещение точно фиксировано внутри вакуумной системы. Неудобство способа заключается в том, что он пе обеспечивает тонкую регулировку и необходимую гибкость в работе. Устройства такого вида широко используются в стеклянных вакуумных установках для вскрытия баллонов и управления затворами. Подобные устройства могут использоваться и в металлических системах, сделанных из немагнитного металла. [c.174]

Для ввода в вакуумную систему штоков и валов, передающих вращательное или возвратно-поступательное движение, часто пользуются другим резиновым уплотнением, так называемым уплотнением Вильсона (фиг. 132). В гнездо уплотнения вставляются две прокладки из твердой резины 3 с шайбой 4 между ними. Верхнюю прокладку смазывают вакуумной смазкой, накладывают на нее вторую шайбу 5 и затягивают зажимной гайкой 2. Отверстия в резиновых прокладках должны иметь диаметр, равный 2/3 диаметра вала. [c.312]

По способу уплотнения вакуумные вводы двил<ения разделяют на вводы с неметаллическими уплотнениями, в которых движение передается с помощью неразрывного вала и имеет место трение меладу валом и уплотнением, и на вводы цельнометаллические через герметичную стенку, причем герметичная стенка может быть деформируемой (сильфонные, мембранные вводы и волновые передачи) и недеформируемой (магнитные и электромагнитные вводы). [c.427]

Широкое распространение в настоящее время получили уплотнения Вильсона (см. рис. 7.20, б, в, г), используемые в вакуумных системах с давлением выще 5- 10 тор. Вводы с таким уплотнением обеспечивают передачу по валу вращательного и поступательного движения. [c.429]

Расчет и конструирование вакуумных вводов движения. В вакуумных вводах с уплотнением Вильсона или кольцом Зиммера для обеспечения длительной работоспособности уплотнительного узла максимальная окружная скорость вала (скорость скольжения) не должна превышать 5 м сек. [c.436]

Хардин и Вестал [32] использовали систему с движущимся транспортером для непрерывного ввода образца в масс спектро метр с лазерной десорбционной ионизацией Транспортер в виде ленты из нержавеющей стали длиной 150 см шириной 0,1 см и толщиной О 005 см приводится в движение двигателем постоянного тока и вводится в вакуумную систему через уплотнения с прокладками Скорость ленты 10—30 см/мин соответствует 50—150 лазерным импульсам на 1 см ленты при частоте [c.42]

Закалка деталей также может производиться в вакууме. На фиг. 196 показана печь для термообработки в вакууме, в которой заготовка после нагрева может сбрасываться в закалочную ванну. При исследовании структуры металлов и сплавов часто возникает необходимость производить термообработку в вакууме. В статье [276] приводится описание двух типов печей, в которых может производиться нагрев образцов с последующей закалкой в ртути или в вакуумном масле. В печи (фиг. 196) образец 1 вместе с прикрепленным к нему держателем 2, изготовленным из проволоки, висит на крючке, который приводится в движение стержнем. Образец сбрасывается при повороте крючка (до 100 град) через резиновое уплотнение 3 в крышке печи. При этом образец попадает в стакан 4 с ртутью (или вакуумным маслом). Крышка имеет еще два отверстия, сквозь которые выводятся уплотненные резиной и изолированные слюдой контакты 5, к которым присоединяется платино-платинородиешая термопара 6, нижним концом упирающаяся в образец. Между выводами расположено смотровое окно 7. Корпус печи сделан из трубы диаметром 80 мм. К верхнему ее концу припаян конический шлиф с притертой к нему крышкой. К нижнему концу припаян фланец. К венчикам конуса фланца припаян кожух для охлаждения корпуса печи крышка с выводами для термопары также охлаждается водой. К фланцу крепится охлаждаемый водой цилиндр, 8 с двумя коническими выточ -ками. К нижней выточке притирается стакан с ртутью, в верхнюю вводится графитовый токопровод. Нагреватель 9 представляет собой графитовую спираль, выточенную из ниппеля графитового электрода 344 [c.344]

На рис. 7.26,6 представлен электромагнитный ввод поступательного движения. С внешней стороны тонкостенного немагнитного цилиндрического стакана расположен электромагнит 1. Внутри стакана магнитной связью перемещается якорь, замыкающий магнитную цепь, от которого усилие передается к рабочему механизму в вакуумной камере 2. Мощность электромагнита выбирается в зависимости от усилия, создаваемого на штоке 3 толкателя. Пазы на штоке и отверстия в направляющих втулках служат для откачки воздуха из полости цилиндра. Такой ввод с металлическим уплотнением используется в камерах с давлег Н-ем не ниже 1 10 тор. [c.436]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология