распылением, свойства реактивным распылением

Реактивное ионное распыление. При реактивном ионном распылении протекают реакции с осаждаемым веществом. В вакуумную камеру вводят дозированное количество реактивного газа (О2, N2, СО, СН4) для того, чтобы он в зависимости от концентрации вступил в химическое соединение с распыляемым веществом или образовал с ним твердый раствор. Твердые растворы реактивных газов в металле пленки могут достигать более высоких концентраций, чем в массивных образцах, что позволяет получать пленки с необычными и полезными свойствами. Легирование тантала малым количеством азота (до 5%) является средством изменения микроструктуры пленок. [c.152]

Техника приготовления монокристаллов и тонких пленок из тугоплавких соединений только начинает развиваться. Для изучения механических характеристик, а также диффузионных, электрических и магнитных свойств необходимы высокочистые монокристаллы заданных составов. Весьма перспективными материалами представляются нам высокочистые тонкие пленки (которые, вероятно, лучше всего получать реактивным распылением), характеристики и физические свойства таких пленок должны быть тщательно исследованы. [c.250]

Помимо кислорода наиболее часто в качестве активного газа при реактивном распылении используется азот. Так, например, широко исследовалась система тантал — азот из-за ценных свойств пленок тантала, легированных азотом [106, 1071. Представляют интерес как растворенный в тантале азот, так и нитриды тантала. Обычный метод измерения процентного содер кания азота в пленках системы тантал — азот заключается в установлении определенной концентрации азота в рабочей атмосфере. Подобным же образом, хотя и в меньшей степени, исследовалось соединение титана [108]. [c.441]

Исследовалось также применение в качестве реактивного газа при получении пленок нитрида кремния вместо азота аммиака [114]. В этом случае, в отличие от распыления в азоте, оказалось возможным добавлять в распылительную атмосферу относительно большие количества аргона, не изменяя стехиометрии получаемых пленок. Так, например, в атмосфере аргона, содержащей всего 2% аммиака, получались пленки, состоящие в основном из нитрида кремния, а для получения чистых пленок нитрида кремния в распылительной атмосфере было достаточно 5% аммиака. В противоположность этому пленки, полученные распылением мишени из кремния в атмосфере, состоящей из 5% азота и 95% аргона, были по существу из чистого кремния. Эта повышенная активность аммиака объясняется большей концентрацией ионов N при разряде в присутствии аммиака. Основной недостаток пленок нитрида кремния, полученных реактивным распылением в аммиаке, заключается в том, что они содержат примесь водорода, которая может влиять на некоторые диэлектрические свойства этих пленок. [c.442]

Стабильность и склонность к образованию отложений. Эти свойства зависят от содержания в газотурбинных топливах продуктов вторичных процессов и концентрации в них смол, олефинов е низкой химической стабильностью. Содержание олефинов нормируется величиной не более 45 г йода/100 г топлива (для сравнения в дизельном топливе - не более 6, в реактивном - ие более 0,5-3,5 г йода/100 г топлива). Повышенное содержание олефинов приводит к тому, что при длительном хранении при температуре 25-40 С в топливе образуются твердые осадки и смолы, загрязняющие топливные фильтры и частично закупоривающие отверстия топливных форсунок, что приводит к ухудшению процесса распыления и неполному сгоранию топлива. Эффективным методом стабилизации газотурбинного топлива может быть гидроочистка компонентов топлива. Известные антиокислительные присадки типа ионола слабо влияют на окисляемость топлива, содержащего продукты вторичных процессов и смолистые вещества. [c.175]

При распылении тантала небольшая добавка азота к аргону приводит к образованию в пленке между узлами кристаллической решетки азота. При увеличении примеси азота образуются нитриды тантала. Добавление к основному газу небольшой порции реактивного газа (азота, кислорода, окиси углерода или метана) резко меняет электрические свойства напыляемых пленок. На рис. 1-6 показаны зависимости удельного сопротивления пленок, полученных катодным распылением тантала в атмосфере аргона (давление 1,5 мм рт. ст.) в зависимости от парциального давления реактивного газа. [c.21]

Свойства иленок, образующихся в результате катодного распыления, также в значительной степени зависят от чистоты рабочего газа, которым чаще всего является аргон. Добавка к аргону небольшой порции реактивного газа резко меняет электрические свойства напыляемых пленок (удельное сопротивление и его температурный коэффициент). [c.83]

Первые работы по изучению прозрачных проводящих пленок, изготовленных с помощью реактивного распыления, были проведены Престоном (1950 г.). Он довольно детально исследовал оптические свойства пленок окиси кадмия (Сс10). Оказалось, что эти пленки, обладающие высокой прозрачностью, являются хорошими электродами для селеновых фотоэлементов. Мирославский Ранюк (1961 г.) сообщили об измерении оптических констант в области 1,5—7 мкм для пленок СёО, полученных катодным распылением. Ьни показали, что поглощение в этой области зависит от концентрации электронов и их подвижности. [c.502]

Запуск современных реактивных двигателей во многом зависит от испаряемости топлив. Чем легче фракционный состав к выше давление насыщенных паров, тем лучше пусковые свойства реактивных топлив. Топлива с хорошими пусковыми свойствами обеспечивают запуск реактивных двигателей на более бедных смесях, чем топлива с низкой испаряемостью. Так, топливо Т-2 обеспечивает запуск двигателя при а = 5,8, в то время как топливо типа Т-5 при а = 2,8. Улучшение испаряемости топлив повышает скорость испарения распыленной струи топлива и способствует расширению нижнего предела воспламеняемости топли-во-воздушной смеси [691. [c.25]

Наибольшую часть соединений, получаемых реактивным распылением, несомненно, составляют окислы. Это обусловлено как полезными свойствами окислов многих мегаллов, так и легкостью, с которой можно проводить реактивное распыление в кислороде. Введение в распылительную камеру кислорода оказывает заметное влияние на вид тлеющего разряда в аргоне. В частности, добавление даже небольших количеств кислорода влияет на разряд так же, как значительное повышение давления в камере сокращается темное пространство и уменьшается импеданс разряда. Этот эффект объясняется тем, что дрейфовая скорость электронов, движущихся в темном пространстве, уменьшается в присутствии атомов кислорода, которые временно связывают электроны и превращаются в отрицательные ионы. В результате эффективноегь образования положительных ионов прн соударениях электронов с атомами газа возрастает (см. рис. 1). Другим следствием присутствия в зоне разряда отрицательных ионов является то, что вокруг анода может образоваться область скопления отрицательных ионов, аналогичная оболочке из положительных ионов на катоде. [c.439]

TOB. Для оверхзвуковых самолетов это будет проявляться при взлете и наборе скорости в зимнее время, а для дозвуковых самолетов— и в условиях полета, когда топливо будет значительно охлаждаться [11]. В связи с изложенным вязкость реактивных топлив типа ТС-1 при —40 °С не должна превышать 8 мм /с, вязкость топлива типа Т-1 — 16 мм /с, а топлива РТ—60 мм /с. От вязкости в значительной мере зависят также нротивоизносные свойства топлив [И]. При установлении верхнего и нижнего предела вязкости низкокипящих топлив, применяемых в быстроходных безкомпрес-сорных дизелях, руководствуются следующими соображениями. В этих двигателях топливо подается к форсункам плунжерными насосами под давлением 40—60 МПа. Зазоры между плунжером и стенками цилиндра насоса рассчитаны на минимальную вязкость топлива, обеспечивающую такую плотность зазоров, при которой топливо не вытекает через них и давление распыления не снижается. Верхний предел вязкости устанавливают с целью обес печения достаточного притока из питательного бака и тонкости распыливания этого топлива в форсунках. Поэтому вязкость, например, дизельных топлив, применяемых для автомобильных и тракторных двигателей, должна быть не ниже 0,5 и не выше 6 мм /с при 20 °С для зимних и 3,5 и 8 мм с соответственно для летних условий работы [20]. [c.35]

Автодесорбция газовых примесей. При ионном распылении есть опасность, что благодаря ионизации атомы примесных фоновых газов будут интенсивно проникать в пленку вещества и адсорбироваться в ней, чему способствуют геттерные свойства свежераспыленной пленки. Поэтому важно рассмотреть условия, позволяющие удалять в процессе конденсации примеси реактивных газов— азота, кислорода. Влияние аргона на пленку незначительно. [c.149]

Нитрид алюминия, принадлежащий к полупроводниковым соединениям А В группы, обладает теми физико-химическими свойствами, которые обусловливают перспективы применения его в технологии полупроводникового приборостроения, в создании высокотемпературных защитных покрытий и, наконец, в ряде оптоэлектронных и пьезоэлектрических устройств. Известные методы получения нитрида алюминия, такие, как реактивное и высокочастотное распыление [1—4], разложение фосфида алюминия в аммиаке [5], парофазное разложение хлорида и моноаммиаката алюминия [6, 7], не позволяют получать достаточно чистый продукт с необходимыми физико-химическими характеристиками, Определенные преимущества имеет метод разложения триметил-алюминия (ТМА) в потоке газа-носителя, позволивший авторам [8] создать качественные эпрггаксиальные слои AIN на сапфире и шпинели. [c.82]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология