Катодное распыление металлов

Катодное распыление металлов (Си, Аи, Ag, Pt, Та) заключается в разрушении катода, изготовленного из напыляемого металла, в вакууме (10" -10" Па) под действием положительно заряженных ионов воздуха. Образовавшиеся металлич. частицы осаждаются на пов-сти полимера. Толщина покрытия 3-5 мкм. [c.40]

Металлические покрытия и пленки самого разнообразного назначения получают в промышленности электрохимическими способами, путем катодного распыления металлов и другими методами. Наконец, для получения металлов особой чистоты наряду с электролитическими способами в последнее время начинают довольно широко применять методы рафинирования путем зонной плавки в вакууме [3]. [c.9]

Вакуумная металлизация — методы нанесения покрытий путем испарения или катодного распыления металлов в вакуумиро-ванных камерах. [c.61]

Существует также способ предварительного опыления тонкого слоя графита серебром или золотом в камере катодного распыления металла. [c.62]

Электронная концентрация в разряде обычно невелика и составляет 10 —10 см . Благодаря высоким скоростям ионов в полом катоде наблюдается достаточно интенсивное катодное распыление металла и даже при низких температурах линии материала катода интенсивно светятся. При определенных условиях их яркость превосходит яркость линий инертного газа, служащего носителем разряда. [c.273]

Катодное распыление металлов в вакууме [остаточное давление воздуха 1,33— [c.95]

Медные пленки получают химическим восстановлением фенилгидра-зином в щелочном растворе. Можно получать пленки термическим разложением карбонила никеля и так называемым вжиганием паст, нанесенных на поверхность формы кистью или печатанием, путем нагрева до 800—850°, а для покрытия пластмасс — всего до 75—175°. Особое развитие для точных работ получило катодное распыление металлов в вакууме так получают пленки алюминия, серебра, золота, цинка и меди. [c.384]

Наиболее распространенны- Рис. 40. Схема прибора для ми способами приготовления катодного распыления металлов, коллоидных растворов являются способы диспергирования, т. е. распыления того вещества, коллоидный раствор которого нужно получить обратный способ получения этих растворов есть процесс конденсации (химический), т. е. переход от атомов или молекул к коллоидальным частицам, и третий способ — поверхностное растворение суспензии. [c.165]

VI. КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ МЕТАЛЛОВ. [c.35]

Выше рассматривались аномальные явления, проявляющиеся в условиях прохождения через металлы анодного тока. Однако известны отклонения от обычных закономерностей в поведении металлов, подвергающихся также и катодной поляризации. Одним из примеров аномального растворения в этих условиях является катодное распыление металлов. [c.35]

А. П. Терентьев и Е. И. Клабуновский в ряде работ подробно изучили асимметрическое разложение над кварцевыми катализаторами бутанола-2 и расширили кварцевый катализ рядом новых асимметрических реакций. Реакции проводились как в паровой, так и в жидкой фазах, при комнатной и при повышенной (550°) температурах. В качестве катализаторов были использованы медь, серебро, никель, платина, палладий, окись алюминия, нанесенные на d- и /-дофинейский или пьезо-кварц. Катализаторы готовились как разложением солей, нанесенных на кварц, так и катодным распылением металла -. [c.140]

Срок службы обычных ламп накаливания ограничивается распылением тела накала, которое обусловлено катодным распылением металла тела накала, отрывом частиц металла с поверхности вследствие выделения газов при нагревании, химическим воздействием среды, окружающей тело накала, с образованием летучих соединений и, наконец, испарением или возгонкой металла под действием высокой температуры. [c.34]

Такой катод изготовляется простыми средствами либо нанесением металлических паст на внутреннюю поверхность стекла, либо катодным распылением металла, либо, наконец, использованием проводящего слоя из коллоидно-графитовой суспензии. Графитовая суспензия обладает хорошей адгезией к поверхности стекла и устойчива в парах щелочных металлов. [c.79]

Рис. 15. Схема простейшей установки для катодного распыления металлов

В качестве катализаторов были использованы медь, серебро, никель, платина, палладий, окись алюминия, нанесенные на (1- и 1 Дофинейский кварц или пьезокварц. Катализаторы готовились как разложением солей, нанесенных на кварц, так и катодным распылением металла. [c.259]

Двухслойные окисные пленки, образуемые катодным распылением металлов, хотя и обладают аналогичными свойствами, но использование их часто ограничивается технологическими трудностями. [c.127]

Эти пленки получают преимущественно гидролизом растворов или пиролизом соответствующих соединений при 300—600° С, а также окислением тонких слоев металлов. В последние годы получает распространение создание окисных пленок катодным распылением металла с последующим окислением последнего [316— 318]. Для изготовления пленок применяют окислы олова, индия, кадмия, титана, молибдена, вольфрама, ванадия, моноокись кремния с примесью золота или серебра. [c.145]

Металлизация в вакууме ТП РП Лакирование, нанесение тонкой металлической пленки методом термического испарения или катодного распыления металла в глубоком вакууме, нанесение поверхностного покрытия [c.47]

Электроды можно получить также путем катодного распыления металлов. Этот способ более пригоден для нанесения слоев из серебра и хрома. Качество распыления зависит также от природы газа, в атмосфере которого оно производится. [c.71]

Электроды можно получить также путем катодного распыления металлов. Качество распыления зависит от природы газа, в атмосфере которого оно производится. Нанесение электрода на пьезокерамику наиболее часто производится методом вжигания. [c.56]

Была рассмотрена структура пленок платины на стекле, полученных при катодном распылении металла. В этих пленках всегда устанавливалась нормальная структура кубической гра-нецентрированной платины. [c.13]

Нанесение металлического покрытия на кварцевый порошок осуществлялось двумя способами —из раствора нитрата меди и катодным распылением металла в вакууме. [c.1522]

Катализаторы, приготовленные катодным распылением металла. [c.1606]

Способ катодного распыления металлов основан на выбивании атомов металла из его кристаллической решетки. Такое выбивание производят ионы газа, обладающие большой кинетической энергией благодаря накладываемому электрическому полю, вызывающему ионизацию газа (воздуха). При этом возникает самоподдержи-вающийся тлеющий разряд, сопровождаемый свечением. [c.69]

Как показали исследования поверхности металла, подвергнутой катодному распылению, при помощи электронного микроскопа под руководством профессора Г. В. Спивака, эти неровности тесно связаны с микроструктурой металла. При катодном распылении металла в атмосфере инертного газа происходит в первую очередь разрушение наименее прочных мест стыков отдельных блоков структуры и эти элементы структуры обпан аются. Таким образом, катодное распыление в соединении с электронным микроскопом представляют собой новый метод исследования структуры металлов. [c.270]

Среди физических газоразрядных методов наибольшую популярность имеет метод катодного распыления металлов. Техника катодного распыления в настоящее время представлена многими конструкциями установок и устройств, центральной частью которых является система катод — анод (рис. 15). Распыляемый металл (мишепь) крепится на катоде, либо сам является катодом, а на аноде помещают детали, подлежащие напылению. Катод распыляется в тлеющем разряде под действием положительных ионов инертных газов, водорода, ртути и иногда других химически ней- [c.40]

Наиболее распространено катодное распыление металлов в вакууме. Так, в атмосфере аргона, получают металлические зеркальные покрытия. В окислительной среде, при возбуждении тлеющего разряда в кислороде, когда разрядное пространство становится высокоактивной средой, поверхность изделий, расположенных на некотором расстоянии от катода, покрывается пленкой окисла. Данный метод известен в литературе как метод получения пленок реактивным распылением. Так могут быть получены пленки окислов алюминия, кремния, тантала, ниобия, вольфрама, циркония, скандия и других металлов [11, 112—114]. Основное преимущество данного метода — возмол<ность получения пленок, состав которых отвечает термически и химически устойчивым соединениям. Кроме того, адгезия пленок из окислов к поверхности стекла и их твердость значительно выше, чем у пленок, состоящих из сульфидов или фторидов, получаемых методом термического испарения. Методом реактивного распыления целесообразно получать тонкие интерференционные светоделительные, просветляющие и защитные пленки на деталях оптических приборов, предназначаемых для работы в условиях повышенной влажности и температуре > 30° С. Однако метод катодного распыления не применим для стекол, содержащих в своем составе большое количество окислов свинца. Например, образование пленок Si02 на поверхности деталей из стекол типа тяжелых флинтов сопровождается отчетливым потемнением стекла [113]. Причинами этого считают электронную и ионную бомбардировку, облучение стекла ультрафиолетовой радиацией, в результате чего окислы свинца восстанавливаются до металлического свинца. При этом замечено большее петемнение стекол при распылении кремния по сравнению с [c.19]

В качестве защитных покрытий, удовлетворяющих этим требованиям, могут быть использованы наиболее инертные окислы металлов, кремнийорганические соединения, фторорганические и некоторые другие органические полимеры. Из окисных пленок наиболее эффективны 5102, ТааОб и ЫЬгОб, получаемые катодным распылением металлов [112—113]. Для этих пленок характерна малая пористость и большая монолитность в тонких слоях. Так, например, при исследовании структуры пленок 5102 сорбционным методом установлено, что диаметр пор их не превышает 3,7—4,0 А [260, 261]. Благодаря этому при толщине пленок БЮг от 0,03 до [c.98]

Пленки ТЮг и 5Юг, получаемые химическим методом из растворов 51(0С2Н5)4 и Т1(ОС2Н5)4, нашли применение в приборостроении для защиты металлических зеркал и повышения их отражательной способности. В различных приборах широко используются металлические зеркала, получаемые электрохимическим способом или путем испарения или катодного распыления металлов в вакууме. Некоторые зеркальные покрытия (например, из алюминия, серебра) отличаются недостаточной химической устойчивостью к водяным парам и другим веществам. Другие зеркальные покрытия (например, из хрома, палладия, родия) хотя и устойчивы, но не обладают достаточно высокой отражательной способностью. [c.143]