Вакуумные агрегаты

Обычно колпак вакуумной камеры промышленной установки имеет значительный объем, например диаметр около 0,5 м и высоту 0,75 м. Для технологических целей с многократным вскрытием камеры за смену важно иметь вакуумный агрегат с высокой быстротой откачки, например за 10 мин от атмосферного давления до 10 Па. [c.136]

Рис. 10.6. Схема вакуумного агрегата для испытания сварных швов на

Схема вакуумного агрегата для испытания сварных швов на плотность представлена на рис. 10.6, а, б. [c.305]

Но одно было полезно — коллектив конструкторов и технологов, извлекая уроки, уже набрался опыта в конструировании высокотемпературных вакуумных агрегатов. Так, в те же годы была создана полунепрерывная вакуумная печь для покрытия пироуглеродом ткани. [c.112]

Установка для травления полимеров (рис. 7.8) состоит из генератора высокочастотных колебаний, вакуумного агрегата и разрядной камеры. В качестве энергетического блока, питающего высокочастотный разряд, может быть использован любой генератор высокочастотных колебаний от 1 МГц и выше и выходной мощностью 30—200 Вт. Желательно, чтобы связь генератора с разрядной [c.112]

Рис. 2-52. Электрическая схема вакуумного агрегата установки напыления.

Настоящая монография посвящена проблемам тепло-и массообмена при выращивании монокристаллов методом Чохральского. Авторы не ставили своей целью обобщение имеющегося материала. Монография составлена на основе теоретических и экспериментальных исследований, проводимых в лаборатории тепловых режимов вакуумных агрегатов Московского института инженеров транспорта, которая последние десять лет была занята изучением тепло- и массообмена процессов при выращивании монокристаллов германия. [c.5]

В последней, VI главе, описаны опыты по выращиванию монокристаллов германия с равномерным распределением удельного сопротивления по сечению слитка, бездислокационных и с малой плотностью дислокаций монокристаллов. Экспериментальный материал получен на лабораторных и промышленных установках. Шестая глава написана на основе отчетов лаборатории тепловых режимов вакуумных агрегатов. [c.6]

Прибор состоит из испарителя 1, холодильника 2, двух сосудов для сбора остатка после перегонки н дистиллата 3 и 4, перекачивающего насоса с магнитным управлением 5 и подогревателя 6. Температура перегоняемого образца контролируется термометром 7. Для измерения температуры остатка, стекающего после перегонки, служит термометр 8, а для охлаждения стекающей жидкости — маленький водяной холодильник 3. Отбор дистиллата регулируется краном 10, который позволяет также объединять дистиллат с остатком после перегонки. Для измерения вакуума служит вакуумметр Пирани 11. Вся аппаратура через вымораживающий карман 12 соединена с вакуумным агрегатом, который состоит нз форвакуумного масляного насоса н нз диффузионного насоса. [c.276]

Для получения среднего и высокого вакуума в системах, требующих большой скорости откачки, применяют вакуумный агрегат, состоящий из механического и диффузионного насосов. При работе с несжимаемыми газами для их перемещения используют насос Теплера. Подробное описание [c.666]

Для получения высокого технологического вакуума два-три насоса с различными характеристиками объединяют для совместной работы в вакуумном агрегате, в состав которого входят вакуумная камера, коммутирующие вентили, предохранительные ловушки, цепи автоматики и средства измерения вакуума, скорости испарения и т. д. [c.136]

На основе первых трех насосов промышленность выпускает вакуумные агрегаты, в которых двухроторные насосы скомпонованы с насосами предварительного разрежения. Обычно быстрота действия насосов предварительного разрежения составляет не менее 1/15 быстроты действия двухроторных насосов. Вакуумные агрегаты АВМ-5—2, АВМ-50—1 и АВМ-150—1 имеют примерно в три раза меньший расход энергии и занимают в два-три раза меньшую производственную площадь, чем механические вакуумные насосы с масляным уплотнением той же быстроты действия в области давлений от 100 до 5 Па. Важным положительным моментом является также то обстоятельство, что роторный механизм не требует смазки и поэтому источниками загрязнения откачиваемого объекта парами масла могут быть только вспомогательный форвакуумный насос либо сальники роторных валов. [c.20]

Большая ловушка с магнитными пробками Огра была построена в Институте атомной энергии в 1958 г. Вакуумная камера изготовлена. из нержавеющей стали. Длина камеры 19 м, внутренний диаметр 1,4 м. К концам камеры присоединены вакуумные агрегаты, включающие ртутные диффузионные и сорбционно-ионные насосы. Внутри камеры расположены титановые распылители. Средний диаметр обмотки, создающей магнитное поле, 1,8 м. Для получения интенсивного пучка молекулярных ионов водорода используется дуговой источник с поперечным магнитным полем. Давление в камере при введенном пучке поддерживается на уровне 10 мм рт. ст. В отсутствие пучка поддерживается давление 10" мм рт. ат. Молекулярный ион, инжектированный в ловушку, проходит длинный путь, многократно отражаясь от пробок, и в конце концов ударяется об инжектор. [c.363]

Для управления агрегатами и устройствами установки вакуумного напыления служит схема управления И блокировки, часть которой представлена на рис. 2-56. Исполнительными устройствами схемы являются реле, которые своими контактами включают и отключают элементы описанных выше схем. На схеме рис. 2-56 приведены только те цепи управления и блокировки, которые относятся к вакуумному агрегату, к испарителям и к очистке в газовом разряде. [c.201]

Сепарационная камера и магнит. Источники и приёмники ионов обычно называют сменным оборудованием сепаратора. Их устройство меняют применительно к свойствам разделяемого элемента, числу изотопов и т. д. Источник и приёмник ионов устанавливают в сепарационную камеру, полностью или частично находящуюся между полюсами магнита. Камера откачивается вакуумными агрегатами до оптимального давления. Как будет пояснено ниже, оно лежит в пределах (2+ 10) 10 мм рт. ст. Магнит должен обеспечить в довольно большом объёме поле Я с заданным пространственным распределением и стабильностью во времени не хуже (2 + 5) 10 %. Величина Я довольно значительна если С/ = 30 кВ, М = 150 а.е.м. и Д = 70 см, то Я 0,4т. Схема траекторий ионных пучков в установке с квазиоднородным (см. п. 7.1.6) магнитным полем показана на рис. 7.1.1. [c.294]

Для получения и поддержания вакуума в рабочей камере установки служит вакуумный агрегат, электрическая схема которого представлена на рис. 2-52. Электродвигатель М) привода механического насоса соединен с электросетью переменного 220/380 В через плавкие [c.190]

Вместе тем механический насос вакуумного агрегата является равномерной, мало меняющейся нагрузкой, поэтому вероятность длительной перегрузки электродвигателя мала и тепловая защита (от перегрева) не применяется. Практика эксплуатации вакуумных агрегатов показала достаточность защиты электродвигателя привода механического насоса только от случайных коротких замыканий с помощью плавких предохранителей. [c.191]

Вакуумный агрегат и источник питания расположены вне камеры. Вакуумный агрегат может обеспечивать вакуум до 10 лгл рт. ст. Имеется приспособление для впуска аргона непосредственно в трубку и поддержания в процессе травления непрерывного потока аргона при низких давлениях порядка 10 —10" лш рт. ст. Источник питания может давать напряжение до 5000 в при токе 30 ма. [c.163]

I — поддон 2 — водоохлаждаемый кожух 3 — крышка 4 — графитовый электрод 5 — электродержатель 6 — уплотнение 7 — подающий механизм 8 — соленоид 9 — бункер для титановой губки 10 — бункер для легирующих материалов И — дозатор 12 — патрубок для присоединения установки к вакуумному агрегату 13 — токоподводящие шины [c.419]

I — корпус аппарата 2 — крышка 3 — нагреваемая электрическим током титановая нить 4 — токовводы 5 — молиб-деновые кассеты с губкой 6 — термостат с ампулой иода 7 — патрубок для присоединения аппарата к вакуумному агрегату 8 — вакуумная задвижка [c.422]

Установка [221], представленная на рис. 7, состоит из ускорителя электронов, вакуумного агрегата, системы охлаждения выпускного окна ускорителя и образцов во время облучения, протяжного устройства со специальным технологическим оборудованием, системы вентиляции и пульта управления. Установка размещена в кабине размером 4 X 2,24 X 3,90 (Н) м, кирпичные стены которой имеют толщину 0,38 м. В кабине есть место для разме- [c.30]

Переделка РУП-400—5 в ускоритель электронов заключается в замене у трубки 1,5 БПВ-400 непроницаемого для электронов антикатода выпускным окном, перекрытым алюминиевой фольгой толщиной 20—30 мк, и в создании системы постоянной откачки, обеспечивающей в трубке вакуум 10 —10 мм рт. ст. Система откачки состоит из насоса предварительного разряжения ВН-461 и вакуумного агрегата ВА-05—4, позволяющего легко использовать ускоритель как в вертикальном, так и гори [c.31]

Вакуумные агрегаты с паромасляными насосами [c.97]

Высоковакуумные паромасляные насосы обычно присоединяются к откачиваемому объему через короткий трубопровод, снабженный вакуумным затвором. Для расширения возможностей применения высоковакуумных паромасляных насосов отечественная промышленность выпускает вакуумные агрегаты. Агрегат, как правило, состоит из паромасляного насоса, снабженного вакуумным затвором, маслоотражателем, азотной ловушкой и рядом других вспомогательных деталей, смонтированных на одной раме. Затвор, входящий в агрегат, имеет заслонку откидывающегося типа, смонтированную на отдельном фланце. В качестве уплотнителя используется вакуумная резина. Перемещение и поджатие заслонки производится при помощи рычажно-эксцентрикового механизма, который через герметично уплотненный вал соединяется с маховиком или электромотором. Для удобства работы переходной патрубок имеет два фланца один из них расположен вверху патрубка, другой—сбоку. В соответствии с конструкцией откачной системы агрегат может быть пристыкован к пей либо боковым, либо верхним фланцем. В результате сопротивления, создаваемого потоку газа затвором, переходным патрубком и азотной ловушкой, эффективная быстрота действия вакуумного агрегата примерно в 4 раза меньше, чем расчетная быстрота действия установленного на агрегате паромасляного насоса. [c.97]

Основные данные цеолитовых вакуумных агрегатов (при откачке воздуха) приведены в табл. 2-4. [c.120]

Установка включает двухкаскадный дегазатор, верхний каскад 1 которого связан с вакуумным насосом 2, обеспечивающим остаточное давление 0.10-0.25 кПа в вакуумном агрегате через наполненный цеолитами патрон 3. Последний снаб жен охладителем 4 и нагревателем 5, размещенным внутри цеоЛЙтового патрона (рис. 6.7). [c.206]

Авторы монографии выражают благодарность сотрудникам лаборатории тепловых режимов вакуумных агрегатов МИИТ Ремизову О. А., Алексееву Ю. Л., Розанову Н. А., принявшим активное участие в проведении опытов. Авторы также благодарны сотрудникам опытнопроизводственного участка тт. Левинзону Д. И., Смирнову Ю. М., Бессоновой Н. В., принявшим активное участие в обсуждении результатов экспериментов. [c.6]

Как уже отаечалось выше, для обеспечения достаточной средней длины свободного пробега молекул перегоняемого веш,ества необходим глубокий вакуум. Поэтому при молекулярной перегонке применяют диффузионные насосы (ртутные или с органической жидкостью) в комбинации с другими насосами для создания форвакуума. Сборка вакуумных агрегатов, позволяющих добиться вакуума порядка 0,01—0,0001 мм рт. ст., и обращение с ними описаны в гл. VI. [c.278]

В та бл. 90, приведены характеристики вакуумных агрегатов на базе паромасляных насосов, в табл. 91 на базе парортутных насосов при охлаждении ловушек жидким азотом Зддз—скорость откачки воздуха вод—скорость откачки водорода. [c.483]

Таромасляный насос вакуумного агрегата содержит нагреватель сопротивления (Рю — Р12), который подключен к электросети контактами пускателя Рз. Предохранители Пр7 — Ярэ защищают нагреватели от коротких замыканий, а сигнальные лампы Jli — Ле сигнализируют о наличии тока в каждой фазе нагревателя. [c.191]

Схема Ингрэма с соосным расположением молекулярного и ионного пучков использована в ряде масс-спектрометров, приспособленных в различных лабораториях для высокотемпературных исследований. Описаны [29, 91, 1581 несколько вариантов ионных источников, в которых смонтированы испарители с одиночной и двойной эффузионными камерами. Эти узлы были сконструированы в габаритах источников промышленных масс-спектрометров типа МИ и МХ и не требовали переделок вакуумной части приборов. Б некоторых других разработках созданы более сложные узлы, уже требовавшие некоторых переделок вакуумной системы и введения дополнительного вакуумного агрегата для откачки области испарителя. На рис. 111.2 изображен источник-приставка к масс-спектрометру МИ-1305, сконструированный Ратьковским и др. [159]. Близкие к этой конструкции описаны рядом авторов [8, 160]. [c.62]

Для этой реакции получают СеНз, пропуская ток водорода над металлическим церием при температуре, немного превышающей комнатную. Для синтеза моносульфида был использован сложный высокотемпературный вакуумный агрегат, в который помещали молибденовый контейнер со смесью порошков СсаЗзИ СеНз. [c.69]

Для осушки внутренних полостей химической аппаратуры больших объемов со сложными внутренними устройствами применяют вакуумирование герметизированного объема до остаточного давления 130—260 Па. При таком остаточном давлениц резко увеличивается интенсивность испарения влаги как находящейся в свободном состоянии, так и адсорбционно связанной в различных неметаллических материалах, например в прокладках. Для осушки вакуумированием объемов до 150 м и более могут быть использованы вакуумные агрегаты, состоящие из [c.195]

Вакуумированне производят с помощью вакуумного агрегата до давления 53—67 Па. [c.108]

За последние годы в Советском Союзе разработана серия цеоли-товых вакуумных агрегатов непрерывного действия. [c.120]

Заслуживает обсуждения вопрос о размеш епии ловушек в установке. При конструировании промышленных вакуумных агрегатов соображения экономии охладителя иногда вынуждают принять некоторое половинчатое решение. Вообш,е говоря, наиболее эффективное расположение ловушки — как можно ближе к источникам наров воды. Однако эти пары обычно выделяются поверхностями, нагретыми до высоких температур. Тепловая экранировка вблизи ловушки понижает ее быстроту откачки. Значит, нужно находить какое-то оптимальное решение. [c.107]

Комплект поставки резервуар в сборе шкаф КИП в сборе трубопроводы обвязки резервуара с арматурой испаритель наддува (для систем исполнения 1) комплект нриогенных магистральных трубопроводов комплект ЗИП комплект вопомогательиого оборудования (вакуумный агрегат и система отогрева) комшлект документации. [c.75]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология