Травители полирующие

Травление германия. Кислотный травитель СР-4 обладает полирующим действием. В состав его входят азотная, плавиковая, уксусная кислоты и бром. Первые два компонента — окислитель и комплексообразователь. Процесс травления описывается суммарным уравнением [c.104]

Для объяснения полирующего травления необходимо рассмотреть процесс диффузии молекул травителя из глубины раствора к поверхности кристалла. Следует сказать, что диффузионная теория в математическом отношении достаточно громоздка и требует решения некоторых дифференциальных уравнений. Многие важные выводы этой теории могут быть понятны только после такого решения. Что касается этих выводов, то они приведены ниже почти бездоказательно, сама же причина, вызывающая полирование поверхности при травлении, может быть пояснена следующими рассуждениями. [c.107]

Кроме СР-4 при производстве полупроводниковых германиевых приборов часто используют травители, содержащие перекись водорода и плавиковую кислоту (пергидролевый травитель.) Травление происходит за счет образования фторокомплексов германия (Н Ог — окислитель, НР — комплексообразователь). Травитель является полирующим и характеризуется небольшой скоростью травления. Близкими свойствами обладает щелочной пергидролевый травитель. Реакция, описывающая процесс травления, может быть представлена одним из уравнений [c.104]

В селективных травителях концентрации окислителя и комплексо-образователя выше, чем в травителях полирующих. Поэтому для повышения скорости селективного травления часто рекомендуется использовать подогрев. Хотя процессы диффузии также ускоряются нагреванием, но влияние температуры на скорость химических процессов значительно больше и поэтому травитель остается селективным и при более высокой температуре. [c.284]

Размеры, форму и взаимное расположение кристаллов в металлах изучают металлографическими методами. Наиболее полную оценку структуры металла в этом отношении дает микроскопический анализ его шлифа. Из испытуемого металла вырезают образец и его плоскость шлифуют, полируют и протравливают специальным раствором (травителем). В результате травления выявляется структура образца, которую рассматривают или фотографируют с помош,ью металлографического микроскопа. [c.319]

Таким образом, скорость реакции в полирующем травителе не зависит от кристаллической структуры, т. е. от энергии активации — (О. С другой стороны, необходимо выявить причину повышенной скорости травления острых углов и выступов. [c.107]

Таким образом, повышение температуры приводит к увеличению единичной скорости химической реакции и поэтому к усилению полирующих свойств данного травителя. К такому же результату приводит и уменьшение единичной скорости диффузии, происходящее при введении в раствор вязких веществ, например глицерина, гликолей и т. д. Интенсивное перемешивание раствора увеличивает единичную скорость диффузии и усиливает селективное действие травителей. [c.109]

При малой единичной скорости диффузии молекул окислителя или растворителя травитель обладает полирующими свойствами. [c.112]

Травление элементарных полупроводников германия и кремния. Травление германия в кислотном травителе СР-4. Травитель обладает полирующим действием. В состав его входят азотная, плавиковая, уксусная кислоты и бром. Первые два компонента — это окислитель и комплексообразователь. Процесс травления можно выразить суммарным уравнением [c.284]

Таким образом, выявление резких, но малых по размеру неоднородностей происходит в полирующем травителе по такому же механизму, как и в селективном. Поскольку при этом более крупные неоднородности остаются невыявленными, наблюдение микронеоднородностей после полирующего травления является гораздо более легкой задачей, чем после селективного. [c.110]

Следует иметь в виду, что любой полирующий травитель в первый момент является селективным. Данное обстоятельство вызвано тем, что в начале процесса обедненный слой отсутствует [c.109]

Этим металлографическим методом можно определять не только число дислокаций, но и ориентировку поверхностей пластинок, вырезанных из кристалла, а также степень неоднородности кристаллов. Чтобы выявить дислокации на пластине германия, сначала ее шлифуют, затем тщательно очищают, подвергают химической полировке, например смесью концентрированной азотной кислоты (7,5 мл), 48%-НОЙ плавиковой кислоты (5 мл), ледяной уксусной кислоты (10 мл) и дистиллированной воды (1,2 мл). Полируют и травят под тягой с соблюдением правил безопасной работы. После полирования пластину отмывают дистиллированной водой и травят для выявления дислокаций, например, в травителе 00 млН О, 12 г КОН и 8 г КзРе(СК)в. [c.140]

Необходимо также отметить, что при выявлении очень маленьких по геометрическим размерам неоднородностей применение полирующих травителей более эффективно, чем селективных. Для правильного понимания этого явления следует учесть, что при химическом полировании концентрация молекул травителя вблизи поверхности кристалла различна и зависит от энергии активации, т. е. от микроструктуры данного участка поверхности. С другой стороны, концентрация молекул травителя изменяется за счет процессов диффузии относительно плавно и не может скачкообразно принять другое значение. Иными словами, можно утверждать, что в пределах небольшого объема, определяемого так называемой диффузионной длиной, концентрация молекул травителя практически постоянна. Отношение скоростей травления для двух участков поверхности кристалла, находящихся на расстоянии, не превышающем диффузионной длины, определяется поэтому только разницей в энергиях активации, т. е. в микроструктуре рассматриваемых участков [c.110]

Вследствие цепного механизма единичная скорость окисления в азотной кислоте очень велика и может превосходить единичную скорость диффузии молекул растворителя. Единичная скорость взаимодействия окислов германия и кремния с плавиковой кислотой НЕ также достаточно велика, и последние два фактора обеспечивают полирующее действие описываемого травителя. При выбранных концентрациях азотной и плавиковой кислот скорость и характер травления определяются кучностью расположения обрабатываемых кристаллов. [c.114]

В заключение заметим, что существует мало травителей с ярко выраженными полирующими свойствами. Последнее объясняется тем, что ввиду значительных энергий активаций, единичная скорость химических реакций при обычных температурах, как правило, существенно меньше, чем единичная скорость процесса диффузии. Поскольку единичные скорости диффузии в большинстве растворов и для большинства молекул имеют близкие и весьма высокие значения, то можно утверждать, что скорость растворения в полирующих травителях должна быть существенно больше, чем в селективных если для большинства [c.110]

Скорость растворения в полирующих травителях, как правило, выше, чем в селективных. [c.111]

СР-4А 5 ч. НЫОз 3 ч. НР 3 ч. уксусной кислоты 70° С 2—3 мин Полирующий травитель [c.439]

Для определения поверхностных загрязнений пленок арсенида галлия предложен химико-спектральный метод [205], основанный на последовательном снятии полирующим травителем двух тонких слоев одинаковой толщины и использовании внутреннего слоя в качестве холостого опыта к наружному слою. [c.199]

В табл. 1 приведены составы некоторых наиболее употребительных полирующих и селективных травителей для германия. [c.104]

В идеальном случае растворитель должен быть для подложки полирующим травителем. [c.333]

СР-8 HNO, 3 НР 1 Наиболее часто используемый полирующий травитель [c.105]

Полирующие травители предназначаются для удаления материала с микровыступов поверхности, после действия которых получается весьма гладкая поверхность. В некоторых препаратах р- и л-типы полупроводников травятся почти с одинаковой скоростью, но при трав -лении ими р—л-переходов травится почти только одна сторона перехода. [c.252]

Травители с диффузионным контролем называются полирующими. Особенность их действия заключается в сглаживании шероховатостей, нечувствительности к физическим и химическим неоднородностям поверхности. [c.281]

Травление образцов увеличивает контраст между фазами, обнаруживает бловдость в структуре, позволяет охарактеризовать взаимное расположение отдельных зерен. Выбор травителя определяется обычно экспериментально на основе химической природы составляющих фаз. Существует несколько способов нанесения травителя на шлиф. При одном из них полированную поверхность погружают в сосуд с травите-лем. При этом необходимо перемешивание, чтобы травление происходило равномерно и продукты травления не оседали на шлифе. Этот метод требует большого расхода реактивов. При других способах травящие реагенты наносят из капельницы на полированную поверхность или втирают в нее ватой. Время действия травителя определ51Ют опытным путем, просматривая шлиф под микроскопом. Визуально это определить нельзя, так как некоторые сплавы сохраняют блестящую поверхность и в травленном виде. Недотравленные образцы снова полируют в течение 1—3 мин, а затем травят более продолжительное время. Если шлифы были приготовлены заранее, то перед травлением их поверхность активизируют кратковременной полировкой. Приготовление шлифов для изучения микротвердости производится таким же образом. Микротвердость измеряют на травленных образцах, причем выбирают такой травитель, который характеризуется меньшей скоростью взаимодействия с поверхностью образца. [c.51]

Характеристика дефектов структуры в карбидах и нитридах представляет другую сложную проблему. Некоторые типы дефектов (пористость, распределение пор, размеры зерен) можно определить, объединяя методы металлографии и денситометрии. Для каждой карбидной или нитридной системы необходимы специальные металлографические методики. Твердые материалы полируются алмазным порошком или порошком АЬОз (размер частиц 1 мкм) в водном растворе реактива Мураками K3Fe( N)e-b +КОН . Из-за их высокой химической устойчивости применяются очень сильные травители (HF, HNO3 и Н2О2). Кроме того, состав травителя изменяется с изменением относительного содержания неметалла и металла. Наиболее подходящие методики и травители для различных систем еще не собраны, но весьма обширное исследование карбидов, проведенное Руди и сотр. можно рассматривать как подходящую стартовую площадку для их разработки. [c.32]

Первая из указанных смесей используется как травитель для очистки и выявления р—п-переходов. Упоминавшийся в 3 препарат СР-4 — хороший полирующий травитель и используется также для выявления структуры р—п-переходов. В гл. IV, 6 приведен рецепт травителя для выявления дислокационных ямок. Щелочной травитель с Н2О2 удобен для контролируемого удаления материала. [c.252]

Полирующий травитель Уайта содержит 3 части азотной и 1 часть плавиковой кислот. Если же сюда добавить еще 8—12 частей ледяной уксусной кислоты, то получится более мягкий травитель Дэша для выявления дислокаций. Двуокись кремния стравливается с кремния плавиковой кислотой [c.252]

В зависимости от морфологии получаемой пов-сти химическое Т. может быть выравнивающим (полирующим, шлифующим) и избирательным (селективным). При выравнивающем Т. происходит сглаживание рельефа пов-сти, уменьшение ее шероховатости, цри избирательном Т.-увеличение неоднородности пов-сти, выявление дефектов структуры, границ двойников и доменов, растравливание трещин, царапин и т.п. Грани монокристаллов с разл. ориентацией раств. с разной скоростью. Поэтому избирательное Т. монокристаллов связано с образованием фигур (ямок) Т., форма к-рых опреде.чяется структурой кристалла, ориентацией пов-сти, в1щом дефектов и составом травителя, а кол-во-плотностью дефектов. [c.616]

Границы зерен представляют собой участки, где обычно скапливаются примеси, дислокации и деформации. Примеси и деформированные участки влияют на растворимость и, что еще важнее, на скорость растворения, благодаря чему травитель избирательно воздействует на межзеренные границы. Подобным же образом травление протекает интенсивнее на дислокациях, потому что дислокации окружены деформированными областями. Некоторые травите ли характеризуются тем, что их действие на вещество не зависит от присутствия примесей или деформаций. Они называются полирующими травителями. Ими пользуются для равномерного удаления поверхностных слоев перед исследованием свойств материала. Часто перед полирующим травлением приходится тщательно щлифовать или полировать поверхности с помощью набора все более тонких абразивов. В некоторых случаях полировка достигается одновременным травлением и механическим истиранием. Такой способ иногда называют химической шлифовкой. Если полирующее травление не дает достаточно гладкой поверхности, то иногда прибегают к химической щлифовке, используя травитель, который без механического истирания обычно действует на образец избирательно. [c.40]

Слиток разрезался сечениями, перпендикулярными его продольной оси, на алмазном круге непосредственно в стеклянной ампуле (контейнере) на 10—11 образцов длиной 16—18 мм каждый. Полученные образцы осторожно извлекались из стеклянных колец и помещались в матрицу из эпоксидной смолы ЭД-20. Затем они подвергались шлифовке. После шлифовки образцы в течение 5 мин полировались на стекле с одновременным травлением водно-спиртовой (1 2) смесью. Подобранный травитель позволял выявить субструктуру поверхности образцов. Для определения плотности дислокаций использовался другой травитель, представляющий из себя насыщенный раствор NaNOs в этаноле с добавлением одной капли насыщенного раствора 0SO4 в эталоне [6]. После травления образцы сушились на воздухе и рассматривались в микроскоп МИМ-7 (ХЮО). [c.99]

Полирующий травитель 3 ч. НЫ0з+1 ч. НР — длительность травления около 1,5 сек. Медленную полировку производят травителем СР-4А. [c.409]

Процесс анодного растворения германия м-типа зависит от характера обработки его поверхности. Улир обнаружил, что вид поляризационной кривой изменяется при наличии на поверхности электрода царапин или каких-либо других дефектов, связанных с механической обработкой. Особенно сильно отличаются поляризационные кривые, полученные на шлифованном и химически протравленном германии л-типа. Предельный ток насыщения дырок, так ясно выраженный для электрода с химически травленной поверхностью (см. рис. 13), отсутствует на шлифованном германии. Он вновь обнаруживается, если химическим травлением (в травителе СР-4) снять с поверхности германия слой толщиной от 20 до 50 мк. Этот слой материала должен быть удален, если электрод после шлифовки полировался до зеркального блеска. Потенциальный барьер на границе раздела электролит — шлифованный германий восстанавливается при последующем электрохимическом травлении германия. Однако напряжение пробоя в этом случае уменьшается, а поверхность электрода покрывается язвами. [c.42]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология