Ловушки паромасляных насосов

Агрегат (см. рисунок) представляет собой конструкцию, состоящую из диффузионного паромасляного насоса 3, азотной заливной ловушки 2, вакуумного затвора 1 с электромеханическим приводом и рамы 4 (для агрегатов АВП 250-630 и АВП 400-1600) или плиты 4 (для агрегатов АВП 100-100 и АВП 160-250). [c.862]

Массовый анализатор МА время-пролетного типа представляет собой прямую металлическую трубку, из которой откачивается воздух с помощью двухступенчатой системы откачки, состоящей из форвакуумного механического насоса, диффузионного ртутного или паромасляного насоса и вакуумной ловушки. Металлическая трубка, фиксирующая пространство дрейфа, является экраном для внешних электростатических и магнитных полей. На одном конце анализатора находится ионный источник ИИ, на другом — ионный приемник ИП. [c.24]

Откачка рабочего объема производится через отверстие в базовой плите. На входе паромасляного насоса установлен маслоотражатель, ловушка 14 и затвор 15, отделяющий входной патрубок паромасляного насоса от рабочего объема. [c.8]

Высоковакуумные паромасляные насосы обычно присоединяются к откачиваемому объему через короткий трубопровод, снабженный вакуумным затвором. Для расширения возможностей применения высоковакуумных паромасляных насосов отечественная промышленность выпускает вакуумные агрегаты. Агрегат, как правило, состоит из паромасляного насоса, снабженного вакуумным затвором, маслоотражателем, азотной ловушкой и рядом других вспомогательных деталей, смонтированных на одной раме. Затвор, входящий в агрегат, имеет заслонку откидывающегося типа, смонтированную на отдельном фланце. В качестве уплотнителя используется вакуумная резина. Перемещение и поджатие заслонки производится при помощи рычажно-эксцентрикового механизма, который через герметично уплотненный вал соединяется с маховиком или электромотором. Для удобства работы переходной патрубок имеет два фланца один из них расположен вверху патрубка, другой—сбоку. В соответствии с конструкцией откачной системы агрегат может быть пристыкован к пей либо боковым, либо верхним фланцем. В результате сопротивления, создаваемого потоку газа затвором, переходным патрубком и азотной ловушкой, эффективная быстрота действия вакуумного агрегата примерно в 4 раза меньше, чем расчетная быстрота действия установленного на агрегате паромасляного насоса. [c.97]

Прогреваемая цельнометаллическая сверхвысоковакуумная система из нержавеющей стали с металлическими уплотнениями, откачиваемая паромасляным насосом с кремнийорганической жидкостью 704, снабженная двумя азотными ловушками [c.135]

Из рассмотрения приведенных данных видно, что скорости роста органических загрязнений в вакуумных системах, откачиваемых как магнитно-электроразрядны-ми, так и паромасляными насосами, снабженными азотными ловушками, имеют примерно одну и ту же величину. Хорошо сконструированная азотная ловушка при отсутствии резиновых уплотняющих прокладок снижает количество углеводородов в откачиваемом объеме до уровня, который получается при использовании ртутных пароструйных насосов парциальное давление углеводородов при этом становится ниже 1 10 ° мм рт. ст. [c.135]

В последнее время между азотной ловушкой и диффузионным насосом, как правило, устанавливают промежуточную ловушку, охлаждаемую водой. Она служит для возвращения основной части молекул масла, поступающих из паромасляного насоса. Масло, сконденсированное на водяной ловушке в виде капель, стекает обратно в насос. При отсутствии промежуточной водяной [c.200]

Схема подколпачного устройства с тремя автономно вращающимися каруселями, предназначенного для напыления за один технологический цикл откачки большого числа законченных микросхем, представлена на рис. 3-83, а его конструкция — на рис. 3-84. Подколпачное устройство крепится на базовой плите 1 (рис. 3-84) с помощью трех стоек 2 и верхнего опорного диска 3. В центре базовой плиты имеется отверстие, через которое производится откачка рабочего объема с помощью паромасляного насоса. В отверстие вставлена охлаждаемая жидким азотом ловушка 4 в виде конусообразной спирали из медной трубки. Такая форма ловушки позволяет существенно уменьшить миграцию масла из насоса в откачиваемый объем и повысить вакуум в процессе напыления, не снижая при этом существенно быстроту действия насоса. [c.277]

V///— рабочие камеры установки i — цепной конвейер 2 —привод конвейера 5 —магазины — нагреватель 5 — паро-масляныи насос (4 000 л/сек), i —ловушка 7 — вакуум-провод промежуточной откачки [c.298]

Предупреждения. 1. При откачке насоса НЭМ-300 масляными насосами обязательно включение охлаждаемой ловушки. 2. По окончании работы закрыть вентиль паромасляного насоса. [c.197]

Предупреждения. 1. Не включать омегатрон РМ0-4С при давлении выше 10 тор, так как из-за большого рассеяния ионов он не дает показаний. 2. Загрязнение омегатрона маслом ухудшает стабильность его работы, поэтому не допускается эксплуатация омегатрона с паромасляным насосом без азотной ловушки. [c.219]

Механические ловушки. Помимо холодных ловушек, специально для паромасляных насосов разработаны ловушки, работающие не при помощи охлаждающих средств, а путем механического улавливания паров масла, стремящихся диффундировать в вакуумную систему правда, и механические ловушки часто охлаждаются проточной водой. [c.152]

Рис. 7-6. Вакуумная система масс-спектрометра. I — камера масс-спектрометра 2 — ловушка 3 — вентиль 4 — паромасляный насос 5 — вращательный масляный насос 6 — испытываемая на течь аппаратура 7 — вентиль в—баллон с гелием 9 — обдуватель,1 10 — источник ионов 7/—коллектор ионов У2—электрометрическая лампа /3—усилитель /4—выходной измерительный прибор.
Система откачки состоит из форвакуумного насоса, создающего вакуум до 10- мм, и диффузионного паромасляного насоса, создающего вакуум до —10 мм. Между насосами и гелиевой гребенкой находится ловушка для вымораживания летучих веществ, охлаждаемая жидким азотом. Ловушка присоединена на шлифе, что дает возможность снимать ее для очистки, и запирается кранами 12, 13 и 14. Через краны 13 я 17 производят откачку установки диффузионным и форвакуумным насосами, через кран 14 при закрытых кранах 13 я 17 — только форвакуумным насосом. Через трехходовой кран 17 впускают воздух в форвакуумный насос после его остановки. [c.202]

I — колпак 2, 3,4 — ловушки 5 — паромасляный насос 6 — переключатель 7,8 — вентили 1 9 — промежуточный баллон 10 — электромагнитный клапан Л — механический вакуумный насос [c.238]

Опишем некоторые конструкции охлаждаемых ловушек, применяемых в вакуумных насосах для различных давлений. Для предотвращения попадания рабочей жидкости из бустерного насоса в область предварительного разрежения применяют дисковый конденсатор, охлаждаемый водой (рис. 269). Проскок рабочей жидкости через такой конденсатор в рабочем диапазоне давлений насосов БН-2000 и БН-4500 не превышал 0,4 —0,6 см /ч при работе на масле Г [45]. Низкотемпературные ловушки, устанавливаемые после диффузионных насосов, позволяют получать в хорошо обезгаженных системах предельное давление 10 мм рт. ст. для паромасляных насосов и 10" мм рт. ст. для парортутных. На рис. 270 приведена схема типовой ловушки для высоковакуумных агрегатов отечественного производства. Ее применяют, когда диаметр трубопровода, в котором должна быть установлена ловушка, превышает 80 мм. К охлаждаемому стакану, находящемуся вне трубопровода, присоединена медная трубка 3, к которой припаивают наклонные лопатки 2, установленные в трубопроводе в два ряда. Пар конден-3 36 [c.336]

Наряду с тем, что по мере уменьшения давления снижается объемная эффективность (что является свойством, присущим вообще механическим насосам из-за наличия вредного пространства), пары, которые выделяются до перегонки или в процессе ее, загрязняют масло и мешают работе насоса. Любые попытки поддерживать нормальную объемную производительность механических насосов при низком давлении бесполезны, если происходит перегонка органических веществ. Справиться с этой проблемой можно несколькими путями. Один из самых простых методов заключается в том, чтобы менять масло, как только это потребуется. Вакуумный манометр между механическим насосом и паромасляным насосом покажет, когда необходима смена масла. На больших установках с успехом применяются системы непрерывного обновления масла в насосе и очистки масла от загрязнений соответствующим способом. Охлаждаемые ловушки, которые будут рассмотрены ниже, существенно помогают конденсации летучих загрязнений, которые в противном случае могли бы достичь форвакуумного насоса. По другой схеме в вакуумной линии создают горячую зону, температура которой достаточно велика для того, чтобы разложить или крекировать полуконденсирующиеся пары до углеродистого остатка или до неконденсирующихся газов. С этой целью с успехом применяются спирали из проволоки сопротивления, вставленные в вакуумную линию и работающие под напряжением, которое поддерживает нагрев до темнокрасного каления 199]. На больших установках применяются в качестве насосов многоступенчатые водоструйные или пароструйные эжекторы. Пары, так же как и постоянные газы , легко откачиваются эжекторами, избавляя тем самым от необходимости борьбы с загрязнениями. [c.477]

Обратный поток паров масел в современных паромасляных насосах может достигать больших значений (вплоть до 5 мг1ч-см ). Такая скорость загрязнений при проведении процессов напыления в вакууме недопустима. Поэтому необходимо применять надежные средства защиты рабочего объема установки от загрязнения парами рабочей жидкости и продуктами ее разложения Наиболее часто для этих целей используются наиболее простые устройства — охлаждаемые экраны-ловушки, которые в зависимости от требований к чистоте ва-13—261 193 [c.193]

Активные поверхности ловушек располагаются так, чтобы прямолинейно движущиеся молекулы паров масла не могли пройти через них, не столкнувшись с охлажденной поверхностью ( оптически непросма-триваемая конструкция ). Использование охлаждаемых ловушек, помещенных над паромасляным насосом, дает возможность значительно уменьшить пролет паров масел, но полное устранение этого явления невозможно. Защитная способность ловушки характеризуется отношением количества паров рабочей жидкости, проникающей через ловушки в откачиваемый объем, к количеству паров, поступающих на входное отверстие ловушки. [c.194]

Схема вакуумной системы установки УВН-2М представлена на рис. 3-76. В качестве высоковакуумного средства откачки здесь применен паромасляный насос Н-2Т. Паромасляный насос 1 отсекается от рабочего объема высоковакуумным затвором 2. Во входном патрубке откачной системы располагается азотная ловушка 8. Необходимый форвакуум создается вращательным насосом 3 со скоростью откачки 7 л1сек. Управление вакуумной системой осуществляется вручную при [c.269]

На входе паромасляного насоса в уширенной части системы располагаются водяная ловушка и азотит со скоростью откачки 2 000 л сек. [c.289]

Откачка каждой высоковакуумной камеры осуществляется индивидуальной вакуумной системой, состоящей из механического насоса, паромасляного насоса, охлаждаемой фреоном ловушки и высоковакуумного вентиля. Охлаждение всех ловушек осуществляется от одной холодильной машины путем пропускания хрлод- [c.296]

Во всех камерах линии поддерживается рабочий вакуум около Ы0 мм рт. ст. Откачка линии осуществляется четырьмя паромасляными насосами с быстротой действия каждого насоса 4 000 л1сек (один насос на две камеры) и двумя механическими насосами с быстротой действия каждого насоса 3 л/сек, причем один механический насос работает на два паромасляных насоса. Каждый паромасляный насос имеет две ловушки. Нижняя ловушка, распололсенная непосредственно над горловиной насоса, имеет водяное охлаждение, верхняя ловушка охлаждается фреоном. При этом каждая ловушка охлаждается при помощи индивидуальной двухступенчатой холодильной машины (на рисунке не показана). Паромасляные насосы подсоединяются к камере через тарельчатые вентили, имеющие уплотнения из витона. [c.299]

Следующая группа систем, данные о рабочих параметрах которых представлены в табл. 22, сконструированы на основе разборных соединений с металлическими прокладками и откачиваются с помощью диффузионных паромасляных насосов с отражателями и вымораживающими ловушками. В качестве прокладок в них применяются алюминиевая проволока [215], фольга из того же материала [300] и медный лист [58]. В системе Пауэра и др. использовались только прокладки, поскольку насос и отражатель с вымораживателем были выполнены как единый неразборный элемент системы [301]. Вакуумная камера была изготовлена в основном из нержавеющей стали, обезгаживание проводилось при 400° С в течение нескольких часов. [c.300]

Для качественной пайки степень разрежения ь рабочей камере печи должна достигать 5-10 мм рт. ст. Кроме того, должна быть гарантирована полная чистота камерй , а следовательно, и отсутствие в ней паров масла, могущих проникать из вакуумных насосов. Следовательно, необходимо оборудовать диффузионный паромасляный насос охлаждаемым маслоотражателем, а еще лучше и азотной ловушкой (рис. 5-11). Насос предварительного вакуума [c.141]

МХ-1102 имеет высокую чувствительность 5Х ХЮ л-мтор1сек, стабильную во времени и постоянную в широком диапазоне давлений. Течеискатель МХ-1102 оснащен стандартной гелиевой течью и паромасляным насосом НВО-40, который защищен от воздуха быстродействующей блокирующей задвижкой, срабатывающей при давлениях выше (5 8) Ю тор. Камера имеет трехступенчатую защиту от масла ловушками. Сравнение чувствительности для различных масс-спектрометрических течеискателей показано на рис, 63 [113]. Разработан также течеискатель ПТИ-7 [114] с чувствительностью 5-10 л-мтор/сек. [c.138]

Содержание работы. 1. Включить механический насос, открыть высоковакуумный вентиль, включить полупроводниковую ловушку и паромасляный насос. 2. При давлении порядка 10 —10 5 тор произвести тренировку насоса НЭМ-300 последовательными включениями тока разряда и выключениями его для откачки выделяющихся газов. 3. По окончании тренировки и достижении стационарного давления закрыть вентиль паромасляного насоса и отметить понижение давления. 4. Измерить зависимость от времени давления, уменьшающегося до предельного вакуума непрогреваемого насоса НЭМ-300. [c.196]

Изображенный на рис. 25 типичный вакуумный агрегат представляет собой вакуумную установку, состоящую из паромасляного насоса 1, укрепленного на радме 2, вертикального патрубка 3 для присоединения к откачиваемому объему, высоковакуумного затвора 4, щитка электроуправления 5, вакуумной ловушки 6 и сосу да Дьюара 7. [c.41]

При использовании паромасляных насосов существует опасность загрязненности откачиваемого объема парами масла. Паромасляные насосы обычно экранируются азотоохлаждаемыми ловушками [3-7, 3-8]. [c.119]

Вакуумная система (рис. 132, в). Для получения предварительного вакуума используют насос типа ВН-2 с производительностью 420 л1мин. Для получения высокого вакуума применяют паромасляный насос типа Н5-С с производительностью 500 л сек. К насосу ВН-2 крепится патрубок с фланцем, а другой конец патрубка соединен с корпусом клапанной коробки. Клапанная коробка представляет собой куб, с трех сторон которого впаяны патрубки. Второй патрубок соединяет клапанную коробку с фланцем высоковакуумного насоса, третий — с крышкой клапана высоковакуумного насоса. Закрытие и открытие клапанов осуществляется эксцентриковым кулачком, укрепленным на валу редуктора клапанной коробки. Вакуумная система электронографа снабжена металлической ловушкой, охлаждаемой жидким азотом. [c.235]

Откачная вакуумная система состоит из форвакуумного насоса 25, диффузионного паромасляного насоса 26, форбаллона 27, форвакуумной ловушки 28, высоковакуумной ловушки 29, металлических вакуумных вентилей 4 я 30 я стеклянных вакуумных кранов 31—34. Для измерения давления применяются датчики термопарного 12 и ионизационного 35 вакуумметров. [c.254]

Откачная система состоит из форвакуумного насоса, диффузионного паромасляного насоса ДН, форбаллонов ФБ-1, и ФБ-2, ловушки Л-1, /-образного манометра /у и вакуумных кранов 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 14, 15, 21. [c.55]

Библиография для Ловушки паромасляных насосов: [c.310]

Смотреть страницы где упоминается термин Ловушки паромасляных насосов: [c.156] [c.28] [c.8] [c.194] [c.270] [c.285] [c.290] [c.300] [c.105] [c.142] [c.57] [c.80] [c.100] [c.28] [c.29] [c.14] [c.15] [c.391]

Техника физико-химического исследования Издание 3 (1954) -- [ c.120 ]

ПОИСК

Смотрите так же термины и статьи:

Ловушки

Справочник химика 21

Химия и химическая технология