Получение сверхвысокого вакуума

Для проведения исследований с электронным проектором был построен специальный стенд [2], в котором размещается электронный проектор и вся необходимая аппаратура. Методика получения сверхвысокого вакуума, необходимого для исследования адсорбции на металлических остриях, описана [3, 4]. [c.164]

Синтеза высокочистых и термостойких полифениловых эфиров, предназначенных для смазочных материалов и гидравлических жидкостей в жестких условиях эксплуатации, получения сверхвысокого вакуума в электронной технике. [c.5]

Как и другие детали вакуумных систем, которые подвергаются прогреву (например, с целью получения сверхвысокого вакуума), вводы должны выдерживать нагрев до 450°С. [c.274]

Рис. 5.3. Диффузионный ртутный насос Б. Ф. Рыбалко и др. 1 для получения сверхвысокого вакуума

Следует отметить, что за последние годы все чаще начинают встречаться описания комбинаций различных откачных средств, целью которых является увеличение скорости откачки, расширение диапазона рабочих давлений и снижение времени, необходимого для получения сверхвысокого вакуума. Так, например, установлено, что быстрота действия геттерно-ионного насоса значительно возрастает, если параллельно к нему подсоединить небольшой магнитно-электроразрядный насос. Интерес представляет также комбинация магнитно-электроразрядного насоса с криогенным насосом, охлаждаемым жидким азотом. При этом в результате интенсивного вымораживания паров воды и углекислого газа время, необходимое для получения давления 1 10 мм рт. ст., сокращается в несколько раз. [c.134]

Техника получения вакуума. За последнее время опубликовывается все больше работ, описывающих получение сверхвысокого вакуума с помощью обычных насосов [22]. Достаточно сказать, что вакуум порядка 10 —10 мм рт. ст. может быть свободно получен с помощью масляных либо ртутных диффузионных насосов. Важными условиями для этого являются следующие [c.149]

Для того чтобы правильно интерпретировать показания термоэлектронных манометров, применяемых для измерения давления в различных вакуумных системах, необходимо иметь представление об их откачивающем действии. Это имеет важное значение, так как дает возможность использовать термоэлектронный манометр как насос для получения сверхвысокого вакуума и, кроме того, оценить ошибки измерения давления в зависимости от расположения манометрического преобразователя в вакуумной системе. [c.116]

Электронный проектор был создан Мюллером в 1937 г. и усовершенствован им же в последующие годы [1]. По ряду причин этот прибор не привлек широкого внимания вплоть до конца второй мировой войны в настоящее же время стали очевидны те большие возможности, которые предоставляются им для исследований. В сочетании с разработанными в последнее время методами получения сверхвысокого вакуума электронный и ионный проекторы успешно используются теперь для изучения физических и химических поверхностных явлений. [c.104]

Скелет силикагелей может быть выражен общей формулой (5162),г Н2О. Для получения сверхвысокого вакуума лучшие результаты дает группа тонкопористых однородных силикагелей с размером пор менее 70-10- см. [c.45]

Другим способом получения сверхвысокого вакуума является использование комбинированной откачки. На рис. 3-90 изображена рабочая камера напылительной установки, в которой используется комбинированная откачка с помощью паромасляного диффузионного насоса, а также криогенного насоса 1, охлаждаемого жидким гелием, и азотита 2. В результате комбинации указанных откачных средств в рабочем объеме установки без применения прогрева удается быстро получить сверхвысокий вакуум. [c.288]

Быстрота откачки насоса СИН-5-4 неодинакова для различных газов по водороду 5000 л/сек, по аргону только 35 л/сек. Величина быстроты откачки инертных газов зависит от плотности и равномерности напыления слоя титана, который замуровывает атомы инертных газов. Предельный вакуум, создаваемый насосом СИН-5-4, зависит от предварительной подготовки насоса к работе температуры и времени прогрева всей установки, включая насос. Для получения сверхвысокого вакуума необходим прогрев всей установки до температуры не менее 400° С, поэтому применение резины и других органических уплотнителей в насосе исключено. При прогреве насоса необходимо следить за давлением в системе, которое не должно превышать 5-10 тор. Включать ионизатор можно только при давлении ниже 5-10 тор, в противном случае он выйдет из строя. Для нормального запуска в работу насоса СИН-5-4 необходимо иметь в нем предварительное разрежение порядка 10 тор, которое создается высоковакуумным агрегатом ВА-05-1. Более предпочтительно применять ртутные агрегаты. [c.200]

Для получения сверхвысокого вакуума необходимо эти насосы и откачиваемые объемы прогреть до температуры 400—450° С с одновременной откачкой насосом предварительного разрежения. Во время прогрева необходимо вести контроль за давлением, которое не должно превышать 5-10 2 тор. После прекращения прогрева и достижения разрежения —iQ-з тор подается напряжение на электроды насоса. В первый момент происходит увеличение давления за счет десорбции газа с деталей насоса под действием разряда, и через электроды протекает большой разрядный ток. Если после включения магниторазрядного насоса высокая степень разрежения (10- —10 тор) не достигается, необходимо проверить систему на герметичность и устранить возможное натекание в местах соединений. Вторая причина плохой работы насосов — недостаточное обезгаживание насоса и вакуумной системы. [c.201]

Работа Прогреваемый насос ЭСН-1 и получение сверхвысокого вакуума [c.239]

Цель работы. Ознакомиться с получением сверхвысокого вакуума в прогреваемых объемах с помощью без-масляных средств откачки, получить навыки измерения давлений ниже 10- тор. [c.239]

Рис. 1 4. Вакуумная установка к лабораторной работе Прогреваемый насос ЭСН-1 и получение сверхвысокого вакуума .

Р ы б а л к о В. Ф. и др. Парортутный диффузионный насос малой производительности для получения сверхвысокого вакуума. Приборы и техника эксперимента , № 4, 159 (1968). [c.268]

Установка, предназначенная для получения сверхвысокого вакуума, обычно изготовляется из тугоплавкого стекла, за исключением кранов, в качестве которых используются цельнометаллические вентили, подобно изображенному на рис. 23. Переход от стального корпуса вентиля к стеклу осуществляется за счет использования спаев ковара со стеклом. [c.51]

Явление активного поглощения ионизованного газа использовано в ионизационных манометрах для получения сверхвысокого вакуума (см. 6-7). [c.160]

При исследованиях, связанных с усовершенствованием ионизационного манометра, выяснилось также, что его можно использовать для получения сверхвысокого -вакуума. [c.244]

Выше уже указывалось, что при достаточно, хорошем обезгаживании всех деталей манометрической лампы последняя становится способной поглощать газы, поступающие в манометр. Это свойство, являющееся с точки зрения измерения давления отрицательным, оказалось весьма полезным с точки зрения получения сверхвысокого вакуума. [c.244]

Масс-спектрометр работает в условиях глубокого вакуума (10 — 10 Па и выше), к-рый позволяет свести к минимуму потерю разрешающей способности из-за столкновения ионного пучка с нейтральными молекулами. Ионный источник и масс-анализатор имеют разные системы откачки и соединяются между собой каналом такого размера, к-рый достаточен для прохождения ионного луча. Такая конструкция предохраняет падение вакуума в анализаторе при повышении давления в источнике иоиов. В источнике ионов необходима также высокая скорость откачки для уменьшения эффекта памяти (удаление в-в, адсорбированных на внутр. пов-сти прибора). Обычно вакуум в приборах создают диффузионные насосы. Применяют также турбомолекул ярные насосы, обеспечивающие получение сверхвысокого вакуума (10 —Ю Па) и откачку со скоростью неск. литров в секунду эти насосы не требуют применения охлаждаемых ловушек. [c.662]

Ввиду химического сродства многих газов к поверхностям большинства твердых тел эксперименты нужно проводить в таком вакууме, который обычно называют сверхвысоким, т. е. при давлении менее Ю мм рт. ст. Это требование приводит многих молодых исследователей к неправильному выводу, что для работ такого рода пригодны только те методы получения сверхвысокого вакуума, которые развиты в последнее время, после появления ионных манометров Байара—Альперта. Способы получения давлений меньше Ю мм рт. ст. известны с 1920 года, когда для этого применяли парортутные насосы, геттеры, ловушки с жидким азотом и прокаливание. Сейчас известно, чго хотя имевшиеся тогда манометры не позволяли точно измерять такие давления, однако способы поддержания поверхности в устойчиво чистом состоянии, разработанные в свое время на основании измерения вторичной электронной эмиссии, фотоэлектрических данных, а несколько позднее и данных ДЭНЭ, по существу не отличаются от современных методов получения давлений ниже 10 мм рт. ст. [c.325]

Получение сверхвысокого вакуума. В настоящее время, важной проблемой является получение сверхвысокого вакуума (см. табл. 1). Предел достигаемого давления определяется скоростью миграции молекул газа а стенках вакуумной системы [345]. При сверхвысоком вакууме возрастает температурная десорбция газов и паров с поверхности, в результате чего возникает поверхностная миграция с определенным коэффициентом диффузии и соответствующая этому движенивэ спонтанная десорбция [116]. Сверхвысокий вакуум уже находит применение в крупных установках, таких как термоядерные установки и ускорители, он необходим для получения тонких пленок, применяемых для исследований в ядерной физике, физике твердого состояния и полупроводников. При получении сверхвысокого вакуума необходимо, чтобы не было загрязнений системы углеродосодержащими продуктами, которые могут попадать в систему в виде паров масла из масляных насосов. Чтобы обеспечить такое требование, либо применяются различные ловушки, либо масляные насосы заменяются ртутными, пр1ичем это относится как к высоковакуумным насо сам, так и к насосам, создающим предварительное разрежение. [c.489]

Кривощеков Г. В. О влиянии поверхностей миграции при получении сверхвысокого вакуума. Изв. Сиб. отд. АН СССР , 1960, № 9., [c.551]

Камера с двойными стенками и вопомогате [ьн ой откачкой пространств,а между ними является хорошим средством получения сверхвысокого вакуума (особенно в тех случаях, когда камеру приходится часто вскрывать). [c.214]

Возможность откачки самого уплотнения как для создания охранного вакуума (разд. 3, 8-2), так и для целей течеискания (разд. 1, 3-3) обеспечивается тем, что протачиваются две концентрические канавки (рис . 3-49,6), а пространство между ними соединяется со средством откачки. Подобное же уплотнение с двумя прокладками было использованс в устройстве, в котором по кана [у циркулировала вода, охлаждаюидая прокладки во время прогрева вакуумной системы. Таким способом в камере был получен сверхвысокий вакуум (10 — 10 10 мм рт. ст.) несмотря на нали-226 [c.226]

Для получения сверхвысокого вакуума используют эиектроабсорбционБые насосы, нриицин действия к-рых состоит в создании нри помощи парового диффузионного насоса давления порядка 10 — [c.254]

Ртуть широко применяют в вакуумной технике. Со времени изобретения Геде ртутных диффузионных насосов, усовершенствованных Лэнгмюром, прошло немногим более 50 лет. Эти насосы оказались незаменимыми при получении сверхвысокого вакуума (10 мм рт. ст.) Ртутные диффузионные насосы успешно применяют для создания вакуума в линейных ускорителях элементарных частиц, в устройствах, имитирующих условия космического пространства в установках термоядерного синтеза, для откачки некоторых приборов, использующих фотоэмиссию [c.10]

Такого рода манометр пригоден не только для измерения давле1П1Й до 10 ° мм рт. ст., но его можно использовать также в качестве своеобразного ионного насоса для получения сверхвысокого вакуума. [c.51]

После предварительной откачки установки насосами производится обезгаживание стеклянных деталей путем их длительного прогрева в течение нескольких часов в условиях непрерывной откачки. После этого производится обезгаживание внутренних частей ионизационных манометров путем интенсивной электронной бомбардировки при положительном потенциале коллектора ионов. Затем перекрывают металлический вентиль, отсоединяя тем самым откачиваемый объем от паромасляного насоса, после чего откачка объема производится за счет работы конизационно-го манометра. Помимо ионизационного манометра с горячим катодом для получения сверхвысокого вакуума иногда используют также откачивающее действие магнитного электроразрядного манометра специальной конструкции. [c.51]

Наконец, на диаграмме на рис. 5-1 не указан способ получения сверхвысокого вакуума (выше 10 мм рт. ст.) в небольших вакуумных системах путем использования способности ионизационных манометров поглоп1ать газы до давлений порядка по крайней мере 10" мм рт. ст. этот способ, по-видимому, ограничится применением в лабораторных условиях. [c.58]

Отметим далее, что получение сверхвысокого вакуума за счет одного только откачивающего действия ионизационного манометра (без применения ловушек или поглотителей) возможно лишь в вакуумных системах, изолированных от ИСТОЧ1НИКОВ каких-либо паров, в том числе от диффузионных насосов. В связи с этим для разобщения вакуумной системы от насоса необходимо пользоваться вентилем, не требующим смазки и в то же время достаточно герметичным (см. 8-2). Наконец, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизированного манометра необходимо предварительно устранить малейшие течи в вакуумной системе, а вакуумную систему и манометрическую лампу тщательно обезгазить. Откачанная насосами до возможно более низкого давления и обезгаженная вакуумная система изолируется от насосов (вентилем) если течи нет, то откачка продолжается при помощи ионизационного манометра. [c.245]

Таким образом, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизационного манометра основное время теряется на профилактические операции (обезгаживание, устранение течей), после чего откачка вакуумной системы небольших размеров до давления 10 —мм рт. ст. занимает уйсе время порядка всего лишь нескольких десятков минут. [c.245]

В заключение описания применения ионизационных манометров для измерения и получения сверхвысокого вакуума необходимо указать, что с устранением неблагоприятного эффекта от рентгеновского облу11ения коллектора ионов, с одной стороны, стало возможным нижшй предел применения ионизационного манометра продвинуть на несколько порядков в область сверхвысокого вакуума, с другой — выявился важный фактор, ограничивающий возможности понижения давления в вакуумных системах, в ко- [c.245]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология