Диэлектрические свойства подложек

Некоторые синтетические полимеры получили название синтетических смол из-за внешнего сходства с природными смолами и общности области их применения, например для изготовления лаков, красок, клеев и проч. Многие физические признаки синтетических полимеров и природных смол одинаковы как те, так и другие плавятся при нагревании в некотором интервале температур, имеют высокие диэлектрические свойства, растворяются в соответствующих растворителях, образуют при высыхании растворителя тонкие пленки с хорошей адгезией к подложке и т. п. Но синтетические полимеры, с одной стороны, и природные смолы, с другой, не имеют ничего общего в химическом отношении. Следует указать, что природные смолы представляют собой органические вещества с относительно небольшим молекуляр- [c.14]

Наибольший интерес представляют лакокрасочные материалы на основе сополимеров винилхлорида с винилацетатом. Они совмещают в себе стойкость к атмосферным воздействиям, маслам и химическим реагентам с хорошими механическими и диэлектрическими свойствами и высокой эластичностью. Для повышения совместимости с другими смолами сополимер частично омыляют образующиеся при этом гидроксильные группы, кроме того, позволяют получать покрытия сетчатой структуры с хорошей адгезией к подложке. [c.184]

Неметаллические подложки (стеклянные, керамические, пластмассовые) покрыты только жировой пленкой, которая обычно служит подслоем для пылевых загрязнений. В состав пыли входят мелкие (около 1 мк) металлические частицы и сажа, что на несколько порядков снижает сопротивление изоляции и заметно ухудшает диэлектрические свойства неметаллических подложек и, конечно, [c.12]

Электрические свойства конденсаторной и изоляционной стеклоэмали определяются составом композиции из неплавкого высокодисперсного наполнителя и стекловидной фазы. Прослойка стекловидной фазы необходима для сцепления частиц наполнителя друг с другом и с подложкой. Уменьшение в композиции доли фритты приводит к утонению стекловидных прослоек между частицами наполнителя. При больших значениях диэлектрической проницаемости наполнителя емкость между обкладками определяется суммарной толщиной стекловидных прослоек. [c.63]

Основная задача данной главы заключается в кратком рассмотрении данных о структуре эпоксидных полимеров и об их физических характеристиках, которые определяют работу эпоксидных полимеров в наполненных системах. К таким свойствам можно отнести релаксационные характеристики, усадку, термическое расширение и внутренние напряжения на границе с жесткой подложкой. Механические и диэлектрические характеристики твердых полимеров, в том числе и эпоксидных, более подробно рассмотрены в ряде монографий [1, 28, 33, 34, 47, 59, 73], и поэтому здесь не затрагиваются. [c.54]

Прямые экснериментальные исследования граничных слоев жидкостей на лиофильных подложках обнаружили резкие отклонения от объемных значений следующих структурно-чувствительных свойств вязкости, сдвиговой упругости и прочности, коэффициента диффузии,- теплового расширения, теплопроводности, теплоемкости и энтальпии, диэлектрической проницаемости и оптической анизотропии. [c.32]

Слой адгезива, прилегающий к поверхности субстрата, испытывает действие силового поля поверхности и в ряде случаев отличается по структуре и свойствам от остальной массы. Этот вывод оказывается справедливым как для органических полимеров [14—24], так и для неорганических материалов. Так, структура цементного камня изменяется и на границе с частицами заполнителя, а структура железобетона — и вблизи поверхности стальной арматуры [4, с. 9, 12, 15]. Обнаружено изменение свойств стекла в области, примыкающей к поверхности металла, например в 2—3 раза возрастает электропроводность, повышается диэлектрическая проницаемость и тангенс угла диэлектрических потерь [9]. Структура, прочностные, электрические и магнитные характеристики вакуумных конденсатов различных полупроводниковых материалов зависят от типа подложки [25-27]. [c.11]

Существует способ получения диэлектрических слоев нанесением на вращающуюся подложку раствора соответствующей соли с последующим высушиванием. Такая технология более проста, но получаются слои со значительно худшими оптическими свойствами, чем при вакуумном испарении. В то же время последние менее прочны. [c.241]

При производстве радиоэлектронной аппаратуры часто возникает необходимость изготовления конструкционных деталей, имеющих такое сочетание свойств, каким органические полимеры не обладают большая механическая жесткость, жаростойкость, полное отсутствие деструкции и газовыделения, влагостойкость, возможность прочной металлизации, малые диэлектрические потери, высокая электрическая прочность, большое сопротивление изоляции. Примерами подобных деталей могут служить микромодульные галеты, подложки пленочных микросхем, каркасы стабильных высокочастотных катушек индуктивности, платы переключателей, проходные и опорные изоляторы и другие установочные детали. [c.108]

Ниобий несколько менее стоек к коррозии, чем тантал, и, подобно последнему, подвержен водородному охрупчиванию, если гальванический контакт или внешняя э. д. с. делают его катодным, а также при экспозиции в горячем водороде. Металл подвергается анодному окислению в кислых электролитах с образованием анодной окисной пленки, характеризующейся большой диэлектрической постоянной и высоким анодным потенциалом пробоя. Последнее свойство в сочетании с хорошей электропроводностью металла позволило использовать ниобий в качестве подложки для платиновых металлов при изготовлении анодов катодной защиты наложенным током, а также при производстве конденсаторов. [c.181]

Исследования физико-химических и структурных свойств пленок показали, что их состав соответствует структуре плавленого кварца с показателем преломления 1,47 и диэлектрической проницаемостью 3,78. Пленки обладали ровным микрорельефом и высотой неровностей менее 100 А. Структура пленок во всех случаях была аморфной. При понижении температуры подложки до 150°С наблюдалось появление микропор, раковин ( пустых мест ), что заметно ухудшало электрические свойства пленок. [c.347]

Поликарбонаты обладают высокими механическими свойствами. Особый интерес представляют пленки из этого материала. Они отличаются большой гибкостью, прочностью на разрыв и стабильностью размеров при действии нагрузок. Они нагревостойки, допускают длительную эксплуатацию при 130° С. Водопоглощение их ничтожно мало. Пленки имеют высокую электрическую прочность (порядка 155 кв мм). Электроизоляционные характеристики мало меняются от частоты. Диэлектрическая проницаемость при 50 гг и 1 мгц соответственно равна 3,1 и 2.9. tg б при таком изменении частоты меняется от 0,0025 до 0,0087. Удельное объемное сопротивление сухих пленок 10 ом-см, после выдержки в воде в течение суток 3 10 ож-ел . Пленки получаются путем шприцевания поликарбоната через щелевидную матрицу с последующей вытяжкой или из растворов путем полива на подложку. Растворим поликарбонат только в хлористом метилене и хлороформе. [c.233]

В 1967 г. было опубликовано сообщение Холта [14, 15], о том, что для образования на поверхности растворов мультимонослоев молекулярных цепей жирных кислот можно использовать эффект Лэнгмюра — Блоджетта ). Некоторые жирные кислоты содержат полярные молекулярные группы, причем один конец цепочки молекул таких кислот является гидрофильным, другой — гидрофобным. Таким образом, эти молекулярные цепи (макромолекулы) плавают по поверхности воды в вертикальном положе-Вии. Если на поверхности раствора имеется достаточно плотный слой таких макромолекул, погружение подложки в раствор приведет к образованию ва ее поверхности монослоя молекул жирной кислоты. Гидрофильные концы иакромолекулярных цепей будут при этом химически связаны с поверхностью. Такой монослой будет иметь толщину около 25 А. Медленное извлечение подложки из раствора сквозь поверхностную пленку приведет к осаждению другого монослоя на поверхность подложки, причем гидрофобные концы иакромолекулярных цепей обоих слоев будут связаны между собой. Правильный подбор режимов погружения и извлечения подложки позволит осуществить последовательное наращивание монослоев на ее поверхности. Приготовленная таким образом пленка имеет толщины от 200 до 20 000 А и обладает хорошими диэлектрическими свойствами (8 = 3), Было установлено, что у пленок толщиной до 5000 А диэлектрическая прочность составляет величину 2,6-10 В/см. Эти пленки обладают высокой стойкостью. [c.480]

Путем многокрс.тного нанесения, высушивания и спекания слоев суспензии на металлической подложке можно изготовить свободную пленку из фторопласта-4Д, механические и диэлектрические свойства которой аналогичны свойствам неориентированной пленки из фторопласта-4, но электрическая прочность ее (при испытании в один слой) значительно выше и достигает 100—180 кв1мм. Пленка, изготовленная из суспензии, не может быть ориентирована прокаткой. [c.149]

Основными преимуществами тонких перекрестных структур СВАМ перед электроизоляционными материалами на основе стеклотканей являются следующие малая толщина и большая механическая прочность, позволяющие применять диэлектрики СВАМ в качестве витковой и пазовой изоляции, что обусловливает значительное уме1гьшение веса и габаритов различных электромашин отсутствие замасливателей, что обеспечивает повышенную водостойкость и прозрачность материалов сравнительно простая технология изготовления электроизоляционного перекрестного материала, как это было показано нами в начале этой главы высокие диэлектрические свойства — диэлектрики СВАМ, пропитанные кремнийорганическими лаками обладают электрической прочностью, равной 60 т. е. не уступают по своим свойствам электроизоляционным материалам из слюды. Применяемый в качестве подложки под слюду электроизоляционный стеклошпон образует тонкий миканит, обладающий при толщине, ночти в три раза меньшей, чем стекломикалента (на основе стеклоткани), значительно более высокими электрическими параметрами. Электроизоляционный стеклошпон применялся на заводе Электросила для витковой изоляции роторов турбогенераторов мощностью 25 ООО и 150 ООО кет-, на заводе Динамо — в моторах для электровозов пригородного сообщения на Харьковском заводе епловозного электрооборудования — для витковой и пазовой изоляции электромашин тепловоза на заводе им. Карла Маркса — для пазовой изоляции врубовых электродвигателей, а также для ряда других специальных машин и радиотехнических изделий. [c.327]

Диметилполисилоксаны по сравнению с силиконовым маслом ДС-704 позволяют добиться более высоких скоростей роста полимерных пленок, так как эти соединения содержат больше метильных групп, образующих поперечные связи 1121]. В работе использованы жидкости со значением и от О до К). Давление паров при комнатной температуре изменялось для различных п от 10 7 до 30 мм рт. ст. Замечено, что полимерные пленки, полученные при облучении подложки электронами с энергией 300—750 эв, имеют плохие диэлектрические свойства, в связи с чем в этой работе использовались в основном электроны с энергией 50—300, >н. При таких энергиях электронов скорость образования плетши на проводящей подложке зависела от подаваемого па подложку потенциала (рис. 8-31) при сохранении всех других параметров осаждения постоянными. Скорость осаждения достигала максимального значения 100 А/мин при потенциале 120 в. Автор объясняет эту зависимость вторичной электронной эмиссией и улавливанием электронов подложкой. Оптимальная скорость роста пленки при 120 а обусловлена оптимальной плотностью тока электронов. [c.355]

Следует, однако, помнить, что и плотность, и диэлектрическая проницаемость являются макрофизическими характеристиками веществ, так что необходима определенная осторожность при их использовании для описания свойств адсорбционных слоев. Дискретность структуры последних, геометрическая неоднородность подложки и ряд других факторов, проанализиро- [c.34]

Воду рассматривают и как аморфный полупроводник, поскольку она является диэлектрической средой, в которой движутся и взаимодействуют заряженные частицы Н3О+ и ОН- по аналогии с электронными полупроводниками. Полупроводниковые свойства воды особенно заметно проявляются в ее тонких слоях, взаимодействующих с сильно ориентированной подложкой, донорные свойства усиливаются в граничных слоях. Показано, что твердение цементной дисперсной системы возможно, если водо-цементное отношение В/Ц меньше некоторого критического значения а (стесненное состояние). Следовательно, граничные слои воды приобретают новые, в том числе и структурно-механические свойства (квазитвердость), если В/Ц оказывается ниже значения, при котором происходит перекрытие граничных слоев. Поэтому стесненное состояние отвечает перекрытию граничных водных слоев, адсорбированных на соседних твердых частицах, и самая ранняя прочность в определенной степени связана со структурно-механическими свойствами водных пленок на поверхности твердой фазы. [c.84]

Одной из возможностей увеличения скорости осаждения является охлаждение подложки. Подробное изучение структуры полимеров, образованных этим способом, показало, что они представляют собой своеобразный класс материалов, отличающихся стехиометрией от полимеров, синтезированных обычными химическими методами. Причем структура и свойства полученного полимера (стабильность, однородность, эластичность и т. д.) зависят от подбора соответствующих мономеров для сополимеризации. Итак, метод тлеющего разряда дает возможность получать очень тонкие, однородные и без пор покрытия [1,3—5,12], обладающие рядом ценных качеств стойкостью по отношению к органическим растворителям [3, 12], повышенной диэлектрической проницаемостью (из аминосиланов) [5], водостойкостью (на основе виниловых, акриловых, аллиловых мономеров) [4] и т. д. Такие пленки могут быть использованы при производстве конденсаторов, для временной защиты стальных изделий от коррозии вмест смазочных материалов, для нанесения защитных покрытий (стирол) на внутренние поверхности консервных банок и упаковочной тары и т. д. В США и Англии покрытия, полученные в поле тлею щего разряда на оцинкованной стали, выполняют роль грунта перед последующей окраской [23]. В США разрабатывается процесс полимеризации в тлеющем разряде для отделки внутренней поверхности емкостей пищевых продуктов. Метод наиболее пригоден для специальных областей, требующих применения тонких равномерных пленок, а также в тех случаях, когда покрытия необходимого качества трудно наносить другими способами (например, фтор-углеродные покрытия) [23]. [c.62]

При реактивном испарении диэлектрических пленок, свойства которых зависят от кристаллической структуры, необходимо поддерживать повышенную температуру подложки, даже если атомы металла при столкновениях не теряют своей кинетической энергии. В этих случаях фактором, который определяет скорость роста пленки, является реакция на поверхности или процесс упорядочивания атомов. Этот процесс является термически активированным в отличие от механизма Риттера для 8120з, где неактивированная хемосорбция определяет степень внедрения кислорода. Крикориан [222] наблюдал осаждение пленок, контролируемое поверхностной реакцией. Он исследовал образование эпитаксиальных окисных пленок на сапфире методом реактивного испарения. Его результаты, приведенные на рис. 38, показывают, что скорость роста кристаллических пленок Та Ов возрастает с температурой. Поскольку частота столкновений атомов металла и молекул кислорода с поверхностью остается постоянной для каждой кривой, то, следовательно, значительная часть их должна отражаться от растущей поверхности. При используемых температурах подложки можно ожидать относительно плохую аккомодацию энергии соударяющихся частиц, о справедливо даже для атомов Та, поскольку из рис. 38 следует уменьшение скорости роста пленок для чистого металла. Кроме того, при этих температурах время пребывания адсорбированных [c.115]

В табл. 13 приведены примеры окислов металлов, которые были получены методом реактивного испарения, и некоторые свойства этих пленок. Почти во всех случаях скорости осаждения были малыми для того, чтобы обеспечить высокое отношение частот столкновения при относительно низком давлении кислорода (меньшем 10 мм рт. ст.). Если основной интерес представлял не просто состав пленки, а ее структура, плотность, твердость, оптическое поглощение или диэлектрические постоянные, то температура подложки выбиралась высокой. Хотя существующие исследования относятся главным образом к окислам, однако реактивное испарение может быть использовано и для других классов соединений. В качестве примера можно привести dS, который при непосредственном испарении дает нестехиометрические, обогащенные кадмием, низкоомные пленки. Для получения стехиометрических пленок с высоким сопротивлением Пиз-зарелло [230] использовал испарение dS в присутствии паров серы. Пленки нитридов титана и циркония получают испарением соответствующих металлов в атмосфере азота [231]. Образование пленок карбидов при испарении металла в присутствии углеводородов не было еще исследовано по той причине, что для этого требуются слишком высокие с практической точки зрения температуры подложки. [c.116]

Теперь, после обсуждения методов изготовления подложек, будут рассмотрены химические, физические и механичеМие свойства материалов различных категорий. Как ранее утверждалось, свойства стекол в зависимости от их химического состава изменяются в Широких пределах. Типовые составы применяемых стекол приведены в табл. 3 и 4. Главным преимуществом стекол является возможность получения гладких поверхностей непосредственно при вытягивании, что дает возможность получить более дешевые подложки. Взятые отдельно, стекла имеют значительный разброс. по величине объемного удельного сопротивления, тангенса угла диэлектрических потерь и температуры размягчения. Их плохая теплопроводность и трудность получения сложных форм, включая отверстия, препятствуют во многих случаях применению стекол в электронике. [c.501]

Следует учитывать не только релаксационный характер деформационно-прочностных свойств полимеров в нагруженных адгезионных соединениях. По мнению Москвитина [21], потери энергии на возбуждение электронов в зоне разрыва также имеют релаксационный механизм. Именно этим можно объяснить увеличивающуюся электризацию и перезарядку поверхностей при ускоренном разрыве. В соответствии с электрорелаксационной теорией адгезионная прочность определяется природой сил взаимодействия между адгезивом и подложкой, числом точек контакта и площадью истинной поверхности контакта, расстоянием между контактирующими точками, диэлектрической проницаемостью среды между контактирующими точками. [c.19]

Эмаль АК-562 — суспензия токопроводящего пигмента в растворе термопластичной акриловой смолы АС. После высыхания образует черное матовое покрытие с хорошими физико-механическими свойствами и высокой адгезией как к металлическим, так и неметаллическим поверхностям при толщине 80—100 мкм. Покрытие выдерживает перепад температур от —60 до +50 С (5 циклов) и обладает хорошими электрическими характеристиками как в исходном состоянии (удельное объемное электрическое сопротивление не более 0,007 Ом-см), так и после воздействия 3%-ного раствора Na l и повышенной влажности (95 2%) при температуре 40 2 °С в течение 96 ч (не более 0,01 Ом-см). Эмали используют для получения токопроводящего слоя на металлических и диэлектрических подложках (стекло, керамика), а также для создания склеивающего и токопроводящего слоя для проводов с полиамидной оболочкой. [c.239]

С помощью контроля операционных параметров можно получать пленки SiOj и USG с различными химическими, механическими и электрическими свойствами, включая плотность и состав пленки, скорость ее травления, конформность покрытия ступенек топологического рельефа, чувствительность к материалу подложки, механическое напряжение и диэлектрическую прочность, которые могут использоваться в качестве [c.120]

Осаждение диэлектрических пленок 5102 на полупроводниковые подложки из растворов гпдролизуюпт,ихся соединений — сравнительно новое технологическое паправлепие [13 -16]. Больптая часть первоначальных работ была посвяп1ена изучению свойств иленкообразующих растворов, механизму реакций гидролиза, поликонденсации и деструкции полимеров [13—14]. Сведения по свойствам растворных пленок также недостаточно полны и требуют дальнейших исследований. [c.40]