Разряд сверхвысокочастотный

Неравновесные плазмохимические процессы протекают в газоразрядной стационарной плазме пониженного давления. Для проведения этих процессов используют тлеющий разряд на постоянном и переменном токе промышленной частоты, тихий и коронный разряды, высокочастотный и сверхвысокочастотный электродный и безэлектродный разряды, плазму, образованную быстрым адиабатическим сжатием и лазерным излучением [6, 7]. [c.174]

СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ МИКРОВОЛНОВОЙ РАЗРЯД [c.74]

В практике атомно-эмиссионного спектрального анализа в качестве источников возбуждения спектров применяют пламя, электрические дуги постоянного и переменного тока, низко- и высоковольтную конденсированную искру, низковольтный импульсный разряд, различные формы тлеющего газового разряда и др. За последние 10-15 лет широкое распространение получили различные виды высокочастотных разрядов высокочастотная индуктивно-связанная плазма (ИСП) в атмосфере инертных газов при атмосферном давлении, сверхвысокочастотный (микроволновый) разряд и др. [c.363]

В настоящее время сверхвысокочастотный (СВЧ) разряд, полученный при избыточном атмосферном давлении, является малоисследованной областью физики плазмы. Также мало изучен и вопрос применения СВЧ-разряда в промышленности и научных исследованиях. [c.233]

При к 1 возбуждается низкочастотный разряд, при к > 1 высокочастотный разряд, при к 1 имеют место ультравысокочастотные (УВЧ) и сверхвысокочастотные (СВЧ) разряды при А < 1 возникает пространственный СВЧ-разряд, а при к 1 — оптический разряд. [c.92]

Сверхвысокочастотные (микроволновые) разряды [c.96]

Сверхвысокочастотные микроволновые) разряды 97 [c.97]

Микроволновый плазменный детектор (МПД) основан на измерении интенсивности эмиссионных линий элемента, возбужденных сверхвысокочастотным (—2500 Мгц) разрядом. Разряд происходит в кварцевой трубке диаметром 1—2 мм, через которую проходит [c.39]

Рис. 3.36. Схема сверхвысокочастотного источника света 1 — продольное щелевое окно для регистрации излучения 2 — факел разряда 3 — алюминиевый охлаждающий. электрод 4 — теф-лоновы11 цилин,п,р 5 — пыпод промывающего раствора 6 — коак сиальиьп волновод

В настоящее время начинает входить в обиход спектрального анализа сверхвысокочастотный (СВЧ) плазмотрон, который от ВЧ-плазмотрона отличается более высокой частотой возбуждающего электромагнитного поля (до 3000 МГц). По спектральным характеристикам СВЧ-плазмотрон несколько уступает ВЧ-плазмо-трону. Однако при пониженном давлении СВЧ-разряд позволяет добиваться очень низкого предела обнаружения — ниже, чем во всех остальных источниках света. [c.94]

Различают нетермическую и термическую плазму. В нетермической плазме температура свободных электронов гораздо выше средней температуры газа. Нетермическая плазма образуется, например, в электрических разрядах, возникающих в условиях низкого давления. Термическая же плазма характеризуется равенством температур всех ее частиц. Получение термической плазмы с температурой до 50 000° С возможно в электрической дуге, нетермической — в высокочастотных и сверхвысокочастотных разрядах. [c.7]

Для возбуждения разряда сверхвысокой частоты трубку (чаще всего кварцевую) помещают в волновод, вдоль которого распространяются электромагнитные волны от сверхвысокочастотного генератора (рис. 81,г). [c.372]

Стационарная газоразрядная плазма при пониженных давлениях и импульсная при нормальных часто существенно неравновесны. Такая ситуация наблюдается, например, в высокочастотном и сверхвысокочастотном разрядах. После наложения электрического поля энергия электронов достигает значений 1—5 эВ, в то время как энергия тяжелых частиц составляет всего 0,025—0,1 эВ. Такая система называется системой с отрывом температуры она содержит две подсистемы с существенно различными температурами, так как обмен энергиями между электронами и тяжелыми частицами затруднен. Естественно, что такая сложная система ведет себя иначе, чем система, характеризующаяся только одной температурой. Кроме того, неравновесность может быть следствием отрыва поступательной (300 К) температуры от колебательной (тысячи К) [4, 5]. [c.47]

Для получения чистых и сверхчистых веществ применяют так называемые безэлектродные плазмотроны, к которым принадлежат высокочастотные и сверхвысокочастотные генераторы низкотемпературной плазмы. Устройства, основанные на применении тлеющего, коронного, импульсного и других видов электрического разряда, в промышленной плазмохимии используют пока менее широко. Однако есть основания полагать, что именно эти устройства позволят осуществлять целый ряд уникальных плазмохимических синтезов. [c.50]

Наилучшим средством создания плазмы для химических целей являются высокочастотные и сверхвысокочастотные разряды и электрическая дуга. Эти средства дают устойчивое и продолжительное плазменное состояние — так называемую низкотемпературную плазму. [c.49]

Основой для создания низкотемпературной плазмы является газоразрядная техника, в частности, плазмотроны или плазменные генераторы. Вид их зависит от того, какой тип разряда в них используется. Практическое применение находят устройства, использующие дуговой, высокочастотный, сверхвысокочастотный и, в некоторых случаях, оптический разряды. В настоящее время наибольшее распространение получили электродуговые и высокочастотные плазмотроны. [c.442]

Если Х/-2 1, то разряд называют сверхвысокочастотным или СВЧ-разрядом. Зажигается он в волноводах или объемных резонаторах, т. е. элементах с распределенными параметрами, причем в зависимости от типа используемой волны может являться Е- или Я-разрядом. [c.212]

Известно использование сверхвысокочастотного микроволнового разряда в качестве источника света для спектрального анализа. В отличие от иысокочасготцого разряда сверхвысокочастотная [c.74]

Плазмотроны с осевой стабилизацией дуги а — со штыревым катодом и дугой, замыкающейся на солло б — то же. с вынесенной дугой в — однокамерный г — двухкамерный (с двусторонним истечением плазмы) плазмотроны с газовым потоком, пересекающим дугу д — с коаксиальными электродами е — Е ысокочастотный ж — сверхвысокочастотный I — дуга 2 — электроды 3 — поток газа 4 — факел плазмы 5 — изоляционная вставка 6 — катушка дли создания магнитного поля 7— индуктор — ВЧ или СВЧ-разряд 5 —корпус /О — волновод кварцевая трубка [c.331]

При анализе жидких проб (р-ров) наилучшие результаты получаются при использовании высокочастотных (ВЧ) и сверхвысокочастотных (СВЧ) плазматронов, работающих в инертной атмосфере, а также при пламенно-фотометрич. анализе (см. Фотометрия пламени эмиссионная). Для ста-билизащ1и т-ры плазмы разряда на оптимальном уровне вводят добавки легкоионизируемых в-в, напр, щелочных металлов. Особенно успешно применяют ВЧ разряд с индуктивной связью тороидальной конфигурации (рис. 1). В нем разделены зоны поглощения ВЧ энергин и возбуждения спектров, что позволяет резко повысить эффективность возбуждения и отношение полезного аналит. сигнала к шуму и, т. обр., достичь очень низких пределов обнаружения широкого круга элементов. В зону возбуждения пробы вводят с помощью пневматических или (реже) ультразвуковых расш>1лителей. При анализе с применением ВЧ и СВЧ плазматронов и фотометрии пламени относит. стандартное отклонение составляет 0,01-0,03, что в ряде случаев позволяет применять АЭСА вместо точных, но более трудоемких и длительных хим. методов анализа. [c.393]

При плазменном анодировании основные электроды газоразрядного промежутка (катод и анод) служат только для поддержания разряда. Диэлектрическую подложку с окисляемой пленкой погружают в кислородную плазму и подают смещение, независимое от основного разряда. Для протекания постоянного тока в цепи анодиру--емой пленки применяют контрэлектрод, погруженный в плазму. Возможно использование любого разряда низкого давления тлеющего, дугового, высокочастотного и сверхвысокочастотного. Важно, чтобы разряд мог образовывать плазму с необходимыми параметрами в больщих объемах и не вызывал распыления электродов, так как продукты распыления будут загрязнять растущий окисел и станут источниками дефектов. Дуговой разряд отвечает этим требованиям, однако он малопригоден для промышленного использования из-за быстрого разрушения термокатода в активной кислородной среде. Применение безэлектродных ВЧ и СВЧ разрядов позволяет полностью исключить распыление основных электродов, но остается возможным распыление контрэлектрода и диэлектрических стенок вакуумной камеры. [c.155]

Массон-Женон и Дешамп [ 4] определили содержание паров воды в трубках, применяемых в радарных установках во время их работы. Регистрировалось изменение интенсивности полосы ОНЯ3064 А. Разряд возбуждался импульсным сверхвысокочастотным генератором при общем давлении в трубке 1—20 мм рт.ст. Наполняющая смесь состояла из углекислоты (основной компонент смеси), водорода и паров воды. Градуировочная кривая строилась до работы трубки по известным концентрациям паров воды (давление паров воды изменялось от 0,5 до 16 мм рт.ст.) по ней можно было проследить за изменением концентрации паров воды во время работы трубок. Предлагаемый авторами метод не безупречен, так как полоса ОН может появиться в разряде не только от паров воды. [c.226]

Наряду с рассмотренными вч-радиоволновыми источниками (с частотой / от нескольких до десятков Мегагерц) для оптического эмиссионного анализа растворов применяют в последнее время также сверхвысокочастотные (сеч) микроволновые источники (/ — тысячи Мегагерц, — сотни ватт) при атмосферном давлении [1261, 1489, 1120, 1290]. Свч-плазма генерируется с помощью магнетрона внутри или на торце коаксиального волновода. При введении в волновод заостренного алюминиевого стержня на острие образуется факельный свч-разряд (рис. 75). Факел очень стабилен (флуктуации излучения фона характеризуются относительной стандартной ошибкой 0,5%) [1290]. Свч-плазма термодинамически неравновесна. Температура газа в центральной зоне разряда не зависит от состава анализируе- [c.218]

Для получения плазмы используются специальные устройства — плазмотроны. Плазмотроны делятся по способу зажигания разряда в газовой среде на дуговые (работают на постоянном токе или токе промышленной частоты) и безэлектродные — высокочастотные [1, 2]. Электродуговые плазмотроны имеют мощность от 25 кВт до 10 МВт и выпускаются как серийно, так и в виде образцов, спроектированных специально для конкретного плазмохимическшх) реактора. Дуговые плазмотроны работают обычно при давлениях 0,1-5 МПа, материалом катода в них служит либо вольфрам, либо графит (материал катода определяет атмосферу в реакторе и возможные загрязнения продукта). Высокочастотные (ВЧ) плазмотроны в свою очередь делятся на индукционные (ВЧИ), емкостные (ВЧЕ) и сверхвысокочастотные (СВЧ). ВЧ-плазмотропы работают в диапазоне частот 0,2-40 МГц, мощности разряда 0,2 кВт-3 МВт, расходе плазмообразующеи) хаза до 0,3 кг/с. Главная особенность ВЧ-плазмотрона — отсутствие [c.666]

Рис. 2.38. Распределение разрядов по частотным диапазонам и характерные уровни мощности для разрядов различных типов 1 — трансформаторный 2 — высокочастный индукционный 3 — высокочастный емкостной 4 — ультракоротковолновый 5— сверхвысокочастотный 6— пространственный СВЧ-разряд 7 — лазерный разряд [14]

Кроме плазмохпмпческого процесса в стационарной плазменной струе при постоянном давлении в лаборатории профессора Л. С. Полака исследуют и процесс окисления азота воздуха в импульсном сверхвысокочастотном (илп микроволновом) разряде. В таких разрядах образуется особая плазма — из электронов и тяжелых частиц, нагретых но одинаково. [c.114]

Следует отметить, что реакция совместного термораспада специально подобранных МОС и гидрида интересующих элементов лежит в основе одного из современных методов получения сложных полупроводниковых материалов химическим осаждением из паровой фазы [67—69]. Имеются также сведения о том, что металлоорганические соединения являются наиболее перспективным сырьем для плазмохимического синтеза веществ особой чистоты, осуществляемого в безэлектродной плазме при высокочастотном (ВЧ) или сверхвысокочастотном (СВЧ) разряде 70]. ЧисхС а продукта, [c.17]

Создание мощных генераторов сверхвысоких частот позволило использовать сверхвысокочастотный (СВЧ) разряд для диссоциации газов. Одной из первых работ в этом направлении, очевидно, является работа Нэйгла и др. [179], использовавших СВЧ разряд для получения атомарного водорода. Позже этот метод использовался также для диссоциации азота [180], кислорода, паров воды, метана [181]. [c.121]

Состояние газа в электрическом разряде носит название плазмы. Плазма электропроводна благодаря тому, что газ в ней ионизирован, но в целом она элек-тронейтральна — количество положительных и отрицательных зарядов одинаково. Газ переходит в плазменное состояние при высокой температуре. При этом степень ионизации газа и разрушения молекул будет тем больше, чем выше температура. В газовых разрядах и в электрической дуге температура достигает 5000 °К- Высокочастотные и сверхвысокочастотные разряды позволяют достичь температуры от 3000 до 20 000°К. Существует ряд способов кратковременного создания более высоких температур самая высокая температура плазмы (10 —10 °К) достигается при атомных или термоядерных взрывах. [c.49]

Высокочастотные плазмотроны могут быть как электродными, использующими коронный, факельный разряды, так и безэлек-тродными - высокочастотные индукционные (ВЧИ), емкостные (ВЧЕ), сверхвысокочастотные (СВЧ). Основные преимущества безэлек-тродных плазмотронов перед электродными (в том числе электродуговыми) заключаются в высоком ресурсе работы (несколько тысяч часов) в отсутствии загрязнения получаемых в плазмохимическом реакторе материалов продуктами эрозии электродов в возможности работы на чистом кислороде или на других агрессивных плазмообразующих газах. [c.444]

Книга посвящена физике и химии процессов и принципам моделирования газовых разрядов различного типа, а также методам расчета устойчивых и оптимизированных генератор эв низкотемпературной плазмы (постоянного тока, высокочастотных и сверхвысокочастотных). Рассмотрены методы расчета стабилизированных электрических дуг с учетом переноса излучения и разрыва температур компонент плазмы, влияние нелинейных свойств плазмы на параметры стол5а дуги, турбулентная модель дуги постоянного тока, а также вопросы обобщения характеристик электрических дуг. Специальные разделы посвящены контрагированному индукционному разряду и СВЧ-генераторам плазмы. [c.2]

Сверхвысокочастотные разряды открывают еще одну возможность, важную для их практического использования,— в них можно получать неравновесную плазму даже при сравнительно высоких давлениях [77, 79]. Так, в импульсном режиме заметное различие между температурами ионов и электронов может быть достигнуто при давлениях, близких к атмосферному. Это объясняется высокими напряженностями электрических полей, создаваемых в резонаторах. Получение неравновесной плазмы имеет важное значение, например, для плазмох 1мии. Химические превращения происходят в данном случае не при термодинамическом равновесии, а в неравновесных условиях, при этом определяющую роль играет возбуждение молекул электронами с энергией 1—10 эв при одновременном воздействии СВЧ-излучения. Вообще в высокочастотных разрядах создаются благоприятные условия для протекания различных химических реакций. Чистые условия, характерные для этих разрядов, большой срок службы плазмотронов, созданных иа их основе, и ряд других свойств, о которых говорилось выше, дают основания считать их перспективными в химии, порошковой мета.тлургии, технологии металлов, материаловедческих исследованиях и др., [81—88]. [c.228]

Количественная оценка показывает, что при ионизации газа в диапазоне давления 0,1 — 1 атм нагрев газа не будет превосходить нескольких сот градусов, если напряженность электрического поля такова, что достаточно длительность ионизирующего импульса ие более десятых долей мксек. Такая длительность импульсов переменного электромагнитного иоля может быть достигнута только в сверхвысокочастотном диапазоне (длительность импульса не может быть равна или меньше периода колебаний поля). Следовательно, только в СВЧ диапазопе электромапттных волн возможно иолучеш е разряда практически без иагрева газа. [c.268]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология