Насосы турбомолекулярные

Рис. 7. Схемы турбомолекулярных насосов а — двухпоточный с горизонтальным валом б — прямоточный с вертикальным валом

Таблица 3. Технические характеристики турбомолекулярных насосов

Насосы турбомолекулярные. Методы измерения основных параметров [c.257]

Рис. 2-9. Схематическое устройство турбомолекулярного насоса.

От этих недостатков полностью свободны турбомолекулярные насосы. Турбомолекулярный насос (рис. 2-9) имеет жестко укрепленные на корпусе статорные диски [c.98]

Турбомолекулярные насосы. Турбомолекулярные насосы с помощью быстровращающихся поверхностей, которые сообщают сталкивающимся с ними молекулам газа тангенциальный импульс, создают поток газа, направленный в сторону насоса предварительной откачки. При давлении, близком к атмосферному, ударяющиеся о вращающуюся поверхность молекулы увеличивают составляющую скорости в направлении вращения. При столкновении с другими частицами газа они передают им свой импульс. Поэтому результирующий газовый поток пропорционален вязкости газа. При низких- давлениях поток газа становится молекулярным и с вращающейся поверхностью сталкиваются практически все молекулы. В результате эффективность откачки возрастает и коэффициент компрессии уже [c.184]

Магнитный электроразрядный насос. Турбомолекулярный насос. Двухроторный механический насос. Механический вакуумный насос [c.280]

Таблица 4. Технические характеристики турбомолекулярных вакуумных насосов

Высокий вакуум в ионной оптике и квадрупольном фильтре масс создают с помощью турбомолекулярных насосов, которые вытеснили масляные диффузионные и криогенные насосы в большинстве производимых систем. Число различных схем ионной оптики, производимых в настоящее время, иллюстрирует трудность создания системы, эффективной во всем диапазоне масс. Более того, процессы в сверхзвуковом потоке и ионной оптике изучены недостаточно, поэтому необходима дальнейшая работа, чтобы достичь понимания того, как функционирует эта часть системы ИСП-МС. В настоящее время эффектив- иость экстракции и прохождения ионов обеспечивает 10 отсчетов в секунду для 1 мкг/мл определяемого элемента в растворе. Следует отметить, что в случае использования секторного МС необходимо ускорять ионы перед входной щелью МС до кинетической энергии в несколько кэВ. Это вьшолняется с помощью более сложной ионной оптики, включающей ускорение к х — у отклонение. Отклонение регулируется квадрупольной системой с одним только постоянным напряжением. [c.136]

МОЛЕКУЛЯРНЫЕ И ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ [c.21]

Компоненты образца, разделенные на капиллярной ГХ-колонке, последовательно поступают в ионный источник масс-спектрометра в виде газа или пара чистого вещества (см. гл. 5.2). Ионный источник, квадрупольный фильтр масс и электронный умножитель находятся при низком давлении, обычно около 10 Па. Для вакуумирования используют турбомолекулярный или диффузионный насосы в сочетании с форвакуумным механическим насосом. При работе следует быть особенно осторожным во избежание нарушения или загрязнения вакуума. [c.260]

Масс спектрометр должен работать в условиях вакуума анализатор — Ю —10 Па, источник ионов при ЭУ ионизации— 10" —Ю Па, при ХИ — 0,1—100 Па Поступление в ионный источник большой массы газа из хроматографической колонки требует дифференциальной откачки источника и анализатора Насос, откачивающий ионный источник, должен обладать высокой производительностью Скорость поступления в ионный источник потока газа (чаще всего гелия) в ГХ — МС равна обычно 0,5—10 мл/мин (при стандартных условиях). Для откачки такого потока используются мощные диффузионные масляные насосы со скоростью откачки 50—1000 л/с или турбомолекулярные насосы Последние обладают тем преимуществом, что не содержат масла, которое может давать вклад в фоновый масс спектр Они не столь чувствительны к разгерметизации вакуумной системы и требуют меньше времени для приведения в рабочее состояние [c.20]

В связи со сказанным, все последние модели отечественных и зарубежных течеискателей базируются на применении турбомолекулярных насосов. [c.552]

Турбомолекулярный насос. Это устройство имеет высокую, постоянную скорость откачки в широком интервале давлений (10 2—Ю" мм рт. ст.) и оказывается особенно пригодным для [c.252]

Турбомолекулярные насосы. Встретив непреодолимые трудности на пути повышения быстроты действия высоковакуумных молекулярных насосов, конструкторы безмасляных средств откачки предприняли попытку более активного воздействия на газ движущейся твердой поверхностью. Так появились турбомолекулярные вакуумные насосы (ТВН), сходные по устройству с многоступенчатыми осевыми компрессорами. [c.23]

Современные турбомолекулярные насосы обладают высокой удельной быстротой действия и способны создавать вакуум 10" —10 Па, а после прогрева откачиваемой системы разрежение достигает 10 —10 Па. Теоретический предел возможного повышения вакуума с помощью ТВН определяется упругостью паров конструкционных материалов и составляет 10 —10 Па. [c.25]

Несмотря на внешнее сходство ТВН с осевым турбокомпрессором, принцип взаимодействия лопаток рабочего колеса с газом у них совершенно различный. Турбомолекулярный насос. обычно работает при столь низких давлениях, что не аэродинамика проточной части, а соударения отдельных молекул газа с подвижными и неподвижными лопатками имеют решающее значение. [c.25]

Развитие турбомолекулярных насосов шло в последние годы по пути оптимизации параметров насоса, позволяющих увеличить скорость вращения ротора. Поэтому сформировались определенные требования к дискам проточной части. Во-первых, расстояние между дисками по всему контуру должно быть 1 мм, что обеспечивает максимум безопасности при повышенных скоростях и умеренные потери, вызванные обратным течением газа. Во-вторых, по всей длине лопаток диски должны быть оптически плотными, в противном случае резко снижается степень сжатия. И, наконец, в-третьих, лопатки должны иметь такую форму, которая обеспечивает минимальное нарастание массы по радиусу, а угол, образуемый лопатками с плоскостью диска, должен убывать в радиальном направлении от центра диска. Такая форма лопаток позволяет увеличить прочность рабочего колеса и скорость его вращения, что, в свою очередь, приводит к росту быстроты действия и степени сжатия насоса. [c.27]

В качестве альтернативы опорам на шариковых подшипниках могут служить воздушные и магнитные опоры. При этом по разным причинам воздушные опоры для турбомолекулярных насосов представляются малопригодными. Так как в нерабочем состоянии воздух из опор будет поступать в проточную часть, то потребуются дополнительные меры по изоляции откачиваемого объекта от насоса. В случае, если сжатый воздух недостаточно очищен, то это автоматически будет вызывать загрязнение углеводородами откачиваемой системы. Воздушные опоры не дадут также желаемого снижения вибрации. Напротив, магнитные опоры обеспечивают полное отсутствие углеводородов и ощутимое снижение вибрации насоса. [c.29]

В СССР разработаны и выпускаются промышленностью ряд турбомолекулярных вакуумных насосов с быстротой действия от 100 до 5000 л/с. Основные технические характеристики этих насосов приведены в табл. 4. Насосы типа ТМН имеют высокочастотные электродвигатели, смонтированные на валу ротора в форвакуумной полости. Питание электродвигателей осуществляется через статический преобразователь частоты, который обеспечивает двухступенчатый запуск ТМН (на частотах 150-и 300 Гц), длительную работу и торможение ротора при остановке. Насосы типа ТВН имеют привод от внешнего электродвигателя через шкив с большим передаточным отношением. Во всех насосах предусмотрено водяное охлаждение подшипников, а также вентили для [c.29]

Эффективная работа турбомолекулярных насосов возможна лишь при молекулярном режиме течения газа в каналах дисковых решеток. Поэтому ТВН требуют пониженного давления на выходе и используются лишь совместно с последовательно присоединенными ротационными насосами с масляным уплотнением или насосами других типов. [c.30]

Часто турбомолекулярный и форвакуумный насосы монтируют на общей раме. Примером такого исполнения может быть 30 [c.30]

Присутствие активных мест неизбежно приводит к нежелательному эффекту необратимой адсорбции большинства интересующих аналитика загрязнителей. Поэтому перед отбором пробы канистры очищают, используя последовательно серию процессов вакуумирования — заполнения с помощью мембраны и турбомолекулярного насоса. Благодаря использованию немасляного насоса и влажного ультрачистого азота происходит насыщение остаточных активных мест, все еще присутствующими на поверхности молекулами воды. Такая пассивация (очистка) позволяет достичь очень низких содержаний (суб-ррЬ) остаточных количеств ЛОС в конце цикла очистки. [c.556]

Вакуумное оборудование установки должно обеспечить давление и состав остаточных газов, не оказывающих заметного влияния на результаты эксперимента. Наиболее подходящим для вакуумных установок, применяемых для термодинамических исследований, следует считать в настоящее время сорбционные охлаждаемые насосы и турбомолекулярные насосы со свободной подвеской ротора. [c.313]

Режим работы МС в системе ГХ—МС обусловливает необходимость дифференциальной откачки анализатора и источника ионов. Особенно жесткие требования предъявляются ко второму насосу, поскольку он должен откачивать газ-носитель, обеспечивая вакуум не хуже 10 Па при скоростях потока гелия в серийных масс-спектрометрах от 0,5 до 5 мл/мин. Для этой цели успешно используются турбомолекулярные насосы с высокой эффективностью откачки, не нуждающиеся в охлаждающих ловушках и системах вакуумных вентилей. [c.111]

Молекулярные и турбомолекулярные насосы [c.97]

На рис. 2-10 показана зависимость предельного вакуума, достигаемого турбомолекулярный насосом, от давления на стороне предварительного разрежения. Чем больше молекулярный вес откачиваемого газа, тем больше коэффициент компрессии, который для водорода составляет 250, для воздуха 5 10 Однако быстрота действия насоса по водороду значительно больше, чем 7 99 [c.99]

Турбомолекулярные насосы могут быть изготовлены на быстроту действия до нескольких тысяч литров в секунду, причем для насосов, рассчитанных на большую производительность и имеющих большие размеры дисков, требуется значительно меньшее число оборотов, так как быстрота действия определяется соответствующей окружной скоростью. Турбомолекулярный насос может включаться одновременно с насосом предварительного разрежения и в отличие от пароструйного насоса не боится прорыва атмосферного воздуха. Кроме того, при использовании турбомолекулярного насоса в откачиваемый объем проникает значительно меньшее количество паров масла, чем при применении пароструйных и механических насосов с масляным уплотнением.. [c.100]

Годы, прошедшие с момента выхода предыдуш,его издания данной монографии (имеется перевод Практическая растровая электронная микроскопия.—М. Мир, 1978), ознаменовались бурным развитием принципов электронно- и ионно-зондовой аппаратуры и методов исследования. В первую очередь сюда следует отнести создание серийных растровых оже-электронных микроанализаторов, таких, как ЛАМР-10 (фирма ЛЕОЬ), установок электронно- и ионно-лучевой литографии, метрологических и технологических растровых электронных микроскопов и т. д. Существенно улучшились параметры приборов. Так, сейчас серийные растровые электронные микроскопы с обычным вольфрамовым термокатодом обладают гарантированным разрешением 50—60 А, модели высшего класса с наиболее высокими характеристиками имеют встроенную мини-ЭВМ, с помощью которой автоматически устанавливается оптимальный режим работы прибора, существенно облегчилось и стало более удобным обращение с прибором. В ряде случаев вместо обычных паромасляных диффузионных насосов для откачки используются турбомолекулярные и ионные насосы, создающие чистый вакуум вблизи образца, за счет чего снижается скорость роста пленки углеводородных загрязнений на объекте. [c.5]

Из скоростных вакуумных насосов безмаслянымн являются турбомолекулярные, а также струйные, в которых в качестве рабочего тела используется вода, газ, пары воды или ртути. Струйные насосы достаточно освещены в литературе, поэтому здесь внимание будет уделено холодным диффузионным насосам. [c.12]

Следующим принципиальным решением для газовой центрифуги для разделения изотопов является идея самооткачки разделённых газовых фракций из центрифуги — за счёт применения различных молекулярных (турбомолекулярных) насосов цилиндрического и торцевого типа, которые закачивают газовые компоненты, попавшие в вакуумную камеру, внутрь ротора. Это обеспечивает поддержание уровня давления Рв в вакуумной камере без внешних вакуумных установок. До использования этого решения, даже в конструкциях газовых центрифуг 60-70-х гг. каждый корпус центрифуги был оснащён специальной вакуумной трассой откачки [10]. [c.157]

В последнее время диффузионные насосы все в большей мере начинают вытесняться турбомолекулярными насосами (рис. XI. 18). Турбомолеку-лярные насосы работают по принципу турбины без использования рабочих [c.278]

Из рассмотрения скоростных характеристик различного типа насосов (рис. 2-26) очевидно, что постоянством скорости откачки в щироком диапазоне давлений обладают насосы четырех типов промасляный, турбомолекулярный, криогенный и азотит. [c.126]

Высокое предельное разрежение (10 —ммрт.ст.), постоянство быстроты действия в очень широком диапазоне давлений (10 —10 мм рт. ст.), сравнительно небольшой пусковой период и отсутствие резко выраженной селективности при откачке газовой смеси показывают перспективность использования турбомолекулярного насоса для откачки напылительных установок. К недостаткам насоса следует отнести его высокую стоимость, большие размеры и вес, наличие быстро вращающегося ротора (около 15000 об1мин), а также возможность выхода из строя в результате заклинивания вращающихся частей. [c.132]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология