Натекание вакуумных систе

Обнаружение натеканий, их устранение и повторная проверка герметичности вакуумной системы связаны обычно с большой трудоемкостью и материальными расходами. Избежать этих расходов можно только лишь путем правильного конструирования деталей и узлов вакуумных систем. Разработано весьма большое количество технических решений задачи создания вакуумных уплотнений, что видно, в частности, из большого числа библиографических ссылок в этой книге. [c.4]

Вводы для передачи движения. Для правильного функционирования внутренних элементов вакуумной системы, таких как затворы, модуляторы света, держатели сменных масок и подложек и т. д. необходима передача внутрь вакуумной камеры поступательного, вращательного или колебательного движения. К настоящему моменту уже разработан много вариантов вводов этого типа и непрерывно продолжается разработка модификаций [248]. Наибольшее применение для передачи движения нашли вводы с прокладками из эластомеров, с металлическими сильфонами или с магнитным приводом. Несколько вариантов вводов с уплотнителями на валу из эластомеров показаны на рис. 79. В варианте а используется двойное уплотнение кольцевыми прокладками, допускающее как возвратнопоступательное, так и вращательное движение, см. разд. 4 Б, 2). Обычно вал центрируется самими прокладками, однако иногда для обеспечения более высокой точности центровки применяются внешние шарикоподшипники. Для уменьшения трения используются силиконовые масла, имеющие низкое давление паров. Это особенно существенно для вводов с возвратно-поступательными перемещениями. Для вводов вращения можно использовать специфические антифрикционные свойства тефлоновых прокладок (или резиновых прокладок, покрытых тефлоновыми оболочками). Пространство между валом и отверстием можно либо откачивать для обеспечения охранного вакуума, либо заполнять маслом или специальной антифрикционной смазкой. Последний вариант характерен для высоковакуумных вентилей с линейным перемещением штока. Такие вводы серийно выпускаются с диаметрами вала от 6 до 50 мм, линейным перемещением до 10 см и скоростью вращения до 500 об/мин. Некоторые типы вводов вращения с антифрикционной смазкой позволяют увеличить скорость вращения более чем до 1000 об/мин, при скорости натекания не выше 10 мм рт. ст. л с 1. Применение вводов с уплотнителями на валу для вакуумных систем с давлением ниже 10 мм рт. ст. проблематично, особенно если требуется обеспечить возвратно-поступательное движение. Последние часто являются причиной резких изменений уровня вакуума вплоть до двух порядков величины, в зависимости от амплитуды перемещений, скорости вращения и типа антифрикционной смазки, На рис. 79, б [c.281]

Тепловым движением частиц воздуха объясняется натекание вакуумных систем, т. е. проникновение атмосферного воздуха внутрь вакуумной системы через неуплотненное ( негерметичное ) место. [c.25]

Величиной характеризующей степень натекания в вакуумную систему, можно в той или нной степени пренебречь только при низком вакууме. При давлениях 1-10 мм рт. ст. и ниже натекание полностью контролирует время откачки. По истечении длительного времени, когда изменение давления становится [c.223]

МЕТОДЫ ОБНАРУЖЕНИЯ МЕСТ НАТЕКАНИЯ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ [c.257]

ГЛАВА СЕДЬМАЯ МЕТОДЫ ОБНАРУЖЕНИЯ МЕСТ НАТЕКАНИЯ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ [c.251]

Ввиду того что за один переплав удается удалить только 50—70% содержащихся в металле газов, приходится иногда прибегать к двойному и даже тройному переплаву. Это обстоятельство также необходимо учитывать при выборе скорости откачки. Для расчета вакуумных систем необходимо также иметь данные о допустимом натекании газов в систему. [c.213]

Скорость натекания выражается в л-мм рт. ст. сек (см. приложение А-3). Скорость натекания в вакуумной системе или камере иногда выражается косвенно по увеличению давления за определенный промежуток времени (при известном объеме камеры) или как время, необходимое для натекания в вакуумную систему известного объема определенного количества газа. В табл. 1-3 приведены сведения об изменении давления внутри вакуумной системы [c.9]

В зависимости от величины натекания приборы бракуются еще в процессе изготовления или, что намного хуже, выходят из строя при эксплуатации или хранении. Что касается вакуумных систем, наличие течей не позволяет получить предельный вакуум. [c.135]

Теперь рассмотрим вакуумную систему, состоящую из насоса и откачиваемого объема, соединенных вакуумной линией. Предположим, что из атмосферы в объем имеется небольшое натекание. Тогда воздух будет втекать в объем через течь и удаляться насосом обратно в атмосферу через вакуумную линию. Таким образом можно проследить замкнутую цепь, которая аналогична электрической цени. Давление будет изменяться вдоль цепи непрерывно и монотонно, и, следовательно, оно играет ту же ро.тть, что и потенциал в электрической цепи. [c.21]

Если же спустя достаточное время после включения пароструйного насоса давление в системе продолжает оставаться достаточно высоким, что не дает возможности включить ионизационный манометр или непосредственно присоединенный к системе гелиевый течеискатель, необходимо применить один из методов обнаружения течи, описанный выше. Если дефект заключается в самом пароструйном насосе, то это можно установить, отключив пароструйный насос от вакуумной системы и измерив быстроту натекания в систему. После того как давление достигает таких значений, что уже можно пользоваться ионизационным манометром, но еще нельзя проводить в камере рабочий процесс, следует воспользоваться любым известным способом определения течи при низких давлениях. Наиболее быстро удается определить течь при помощи гелия и течеискателя, присоединенного к системе. Если такой прибор отсутствует, то можно использовать метод, основанный на изменении показания ионизационного или какого-либо другого манометра при обдувании системы пробным газом. Если этим способом [c.243]

Количество содержащихся в осадке газов определяется следующим образом. Из вакуумной установки еще до загрузки образца тщательно откачивается воздух, причем в установке проверяется натекание, т. е. проникновение атмосферного воздуха в вакуумную систему при неработающих вакуумных насосах. Если система сохраняет необходимый вакуум в течение определенного времени, то кварцевая ячейка изолируется от вакуумной системы посредством кранов 7 и и осторожно открывается снятием шлифа 4. В снятый шлиф (на дно изогнутой трубки) помещается образец, а шлиф вновь надевается на ячейку. Изогнутая часть шлифа с образцом помещается в сосуд Дьюара 6 с жидким воздухом для замораживания с целью предотвращения преждевременного удаления из образца газов и влаги. После этого вновь начинается откачка системы, причем кран 7 открывает-стя очень осторожно в последнюю очередь. По достижении. необходимого вакуума и в случае отсутствия натекания откачка прекращается сосуд Дьюара с жидким воздухом- удаляется. Затем поворотом шлифа 4 изогнутым концом вверх производится перемещение образца в кварцевую трубку /. Теперь в сосуд с жидким воздухом погружается П-образная трубка 5 для конденсирования выделившейся из образца влаги. После замера остаточного давления в системе включается электрическая печь для нагрева образца до полного удаления из него газов. После окончания нагрева система охлаждается до комнатной температуры, а при помощи [c.252]

При известных параметрах насоса, таких, как Рпр и 5ц(Я), а также скорости натекания системы можно решить вопрос о качестве работы механического насоса и принять меры по устранению причин отсутствия вакуума. В случае преобладания газоотделения следует разобрать вакуумную систему и с помощью растворителей устранить загрязнение. Если же преобладает натекание через отверстие, его находят и устраняют соответ- [c.177]

Перекрыть вентиль, соединяющий вакуумную систему с пароструйным насосом, и оценить натекание по скорости возрастания давления в системе. Определить место течи и устранить течь [c.181]

Основное содержание книги посвящено технике получения высокого вакуума и его измерения, методам нахождения мест натекания, устройству вакуумных систем и их расчету. Предварительно сообщаются необходимые сведения по физике газов, и в заключение даны основные сведения по вакуумной гигиене. [c.2]

Пропорциональность между р — р[) и I объясняется тем, что в обычной практике испытания вакуумных систем на натекание давления р и / остаются весьма малыми по сравнению с атмосферным р , поэтому движущие разности давлений р — р ) и р — / ) (в начальный момент и момент t) можно считать одинаковыми и равными р остается постоянной и пропускная способность течи II иначе говоря, пока и р" малы, поток через течь Q = = ир остается постоянным следовательно, постоянно и [c.259]

Металлические соединения и детали, предназначенные для трубопроводов вакуумных систем, необходимо предварительно подвергать проверке на герметичность. В отличие от стекла металлические стенки могут иметь незаметные трещины, поры, раковины, служащие причиной натекания. В этом отношении металлические отливки значительно более опасны, чем цельнотянутые трубки. [c.293]

Имеются случаи, когда один затвор оказывается недостаточно эффективным. Например, на конденсаторах соли (хлоридов натрия или калия) один кольцевой затвор создает гидравлическое сопротивление, достаточное для откачки системы до остаточного давления 1—10 мм рт. ст., но недостаточное для устранения натекания в систему. Для подобных случаев надлежит использовать затвор (рис. 28,г), который представляет собой систему из двух пластинчатых затворов 17 с патрубком 18 для создания вакуума между ними, в затворе использован принцип, которым можно широко пользоваться в вакуумной технике. Он заключается в следующем последовательно устанавливаются два или несколько затворов (или сальников), между которыми помещается патрубок для откачки газов. Газ, который проникает через один из затворов, откачивается и не проникает через второй. [c.73]

В книге описываются современные средства откачки, измерения полного и парциального давлений, методы измерения газовых потоков и обнаружения мест натекания. Достаточно подробно рассматриваются принципы построения вакуумных систем и методы их расчета. [c.3]

Поток газов С нм, натекающих в вакуумную систему, обычно берется по характеристикам элементов вакуумной системы, а в случае их отсутствия — равным или несколько большим произведения чувствительности течеискателя (см. приложение 11) на число мест, которые могут стать источниками натекания. [c.50]

Обычно натекание газа происходит через места нарушения герметичности, называемые течами. При всей тщательности изготовления вакуумных систем в целом невозможно достигнуть полного отсутствия течей. Можно добиться лишь того, чтобы суммарное натекание оставалось в допустимых пределах, но для этого необходимо уметь провести количественную оценку течей. [c.245]

Масс-спектр ом етриче-окий течеискатель удобно применять главным образом для обнаружения мест натекания вакуумных систем, вакуумной аппаратуры и объектов, имеющих большие размеры. Однако при помощи различ ных дополнительных приспособлений маас-шектрометрическим течеискателем можно пользоБаться и в случае объектов и деталей небольших размеров, но при этом объекты или детали должны быть удобны для присоединения к специальной вакуумной системе. [c.267]

Как правило, масс-спектрометр работает при непрерывной откачке и постоянном натекании газа в прибор. В качестве примера рассмотрим вакуумную систему масс-спектрометра МХ-1303 (рис. 11). Высокий вакуум создается диффузионными парортутными насосами типа ДРН-10 производительностью 7—10 л1сек. Остаточное давление, достигаемое этими насосами при использовании ловушек с жидким азотом, составляет около 2-10 мм рт. ст. Один диффузионный насос используется для откачки источника ионов и прилегающей к нему части камеры анализатора. Остальная часть камеры анализатора и приемник ионов откачиваются другим диффузионным насосом. Дифференциальная система откачки позволяет значительно повысить давление анализируемого газа в источнике ионов, не повышая давления в камере анализатора, что увеличивает чувствительность масс-спектрометра без ухудигения его разрешающей способности. [c.35]

Аппараты в производствах натрия и калия снабжены системами автоматического регулирования и контроля производства, что устраняет участие человека в их обслуживании, а системы сигнализации своевременно оповещают о нарушениях режима. Температура в обогреваемых аппаратах регулируется автоматически в заданных пределах с помощью электронных приборов, имеющих позиционные регуляторы. Аппараты, баки, хлоропроводы, а также связь между помещениями, например залами электролиза, контрольно-измерительных прибО ров и электростанцией, оснащены системами сигнализации, которые оповещают об аварийном ладении давления хлора в магистральном хлоролроводе при разгерметизации последнего о величине разрежения во внутрицеховом хлоро-проводе о нарушении давления в вакуумной системе отгонки калия, осуществляя одновременно автоматическое натекание инертного газа в систему. Автоматической сигнализацией снабжены все вентиляционные устройства, которые немедленно сообщают о нарушении ее работы. Осуществляется сигнализация верхнего уровня натрия и калия в вакуум-ковшах, контейнерах и рафинерах о повышении температуры воды и прекращении ее протока через холодильники анодных блоков электролизеров натрия о нарушении в процессе электролиза и необходимости аварийного отключения амперной нагрузки с серии электролизе ров. На аппаратах, в системе непрерывной дистилляции свинцово-калиевого сплава, в которые сливается калий, установлены следящие радиационные уровнемеры, а барометрические трубы, подающие богатый свинцово-калиевый сплав в дистилляционную систему и отводящие кубовый сплав, оснащены ультразвуковыми приборами. Эти приборы позволяют непрерывно показывать содержание калия в движущемся по трубам свинцово-калиевом сплаве в замкнутом контуре системы. В производстве калия установлены течеискатели, которые обнаруживают место натекания в вакуумную систему дистилляции. [c.254]

Вакуумметри- ческий Регистрация изменения давления Р или состава газовой среды в ва-куумированной полости в результате натеканий Обдувом Камерный Испытания вакуумных систем и вакуумируемых изделий 0,02 Р 10- .. 10- [c.550]

Методы обнаружения мест натекания с помощью манометров. Если, например, обдувать вакуумную систему снаружи тонкой струей водорода. то при проникновении водорода через течь давление в системе резко повысится, так как водород проникает в систему значительно быстрее воздуха. При измерении давления теплоэлектрическим манометром для обдувания системы следует выбирать такой газ или пар. который по сравнению с воздухом обладает значительно большей или значительно меньшей теплотроводностью. В этом отношении водород имеет преимущество, так как его теплопроводность значительна и при попадании его в манометрическую лампу температура нити понижается. При помощи теплоэлектрического манометра. можно обнаружить натекание до 1 10 2 лмк/сек. [c.539]

Если к высоковакуумной установке предъявляются высокие требования по герметичности (максимальная величина натекания порядка 1-10 лмк/сек), то для отыскания течей в промышленных установках должен быть применен гелиевый течеискатель. Гелиевый течеискатель представляет собой масс-спектрометр, настроенный на измерение парциального давления гелия. Испытываемый аппарат соединяется с вакуумным пространством течеискателя и обдувается с наружной стороны гелием. При наличии течей гелий проникает в вакуумную систему и через нее попадает в вакуумное пространство течеискателя, который подает сигнал. Наша промышленность выпускает течеискатели типа ПТК-4а и ПТИ-6, в основном применяюш ие ся для отыскания течей в высокоеакуумных системах, к которым предъявляются высокие [c.541]

Если же давление в изоЛ ированной-от вакуум-насоса системе возрастает, то в системе имеется натекание атмосферного воздуха. Следует отметить, что при всей тщательности выполнения вакуумных систем в целом щевоз-МОЖ1Н0 достигнуть полного отсутствия натекания. Можно лишь добиться, чтобы натекание оставалось в пределах допустимого. Поэтому при проектировании вакуумных установок необходимо задаваться величиной допустимого натекания. [c.89]

При всей тщательности выполнения вакуумных систем в целом невозможно достигнуть пошного отсутствия натекания. Можно добиться того, чтобы натекамие оставалось в пределах допустимого. Для этого необходимо уметь провести количественную оценку герметичности вакуумной системы, т. е. измерить быстроту натекания. [c.257]

В работе [Л. 59] приведен ряд интересных примеров проникновения атмосферных газов в вакуумную систему через стенки. Рассматривается лампа ИЗ плавленого кварца с толщиной стенки 1 мм, илощадью поверхности 100 и объемом ЭЗО см при температуре 25 °С. Принято, что стенки полностью обезгажены, начальное давление в лампе равно Ю мм рт. ст. и при температуре 25 С установилось постоянное натекание. При известном составе атмосферных газов (известны парциальные давления комлонентов) путем экстраполяции скорости проникновения различных тазов до температуры 25 °С (рис. 2-6) определены величины потока натекания (табл. 2-4) и накопления различных газов (рис. 2-9 и 2-10). [c.25]

Требования, иредт.яв.ляемые к венти.лю для подачи газа в вакуумную систему (натекате.лю) из атмосферы и.ли из баллона с газом, определяются разностью дав.лений. Наиболее простым из применявшихся патекателей, работа которых не зависит от разности давлений, является игольчатый вентиль. В нем используется уплотнение металла на металле. В некоторых случаях небольшое натекание из атмосферы и.ли из баллона с газом, соединенного с игольчатым вентилем, производится за счет передвижения иглы [c.189]

Для того чтобы узнать, какая из указанных причин является основной, перекрывают трубопровод, соединяющий вакуумную систему с насосом, и следят за изменением давления в нзолиро-ванной системе. Бели давление в системе после ее отсоединения от насоса практически остается неизменным в течение нескольких минут, но в то же время его величина значительно выше предельного вакуума насоса, то это значит, что система не может быть откачана из-за неисправности насоса. Если после перекрытия вентиля или затвора, соединяющего откачиваемый объем с насосом, давление в системе сначала быстро возрастает, а затем изменяется мало, то это указывает на налич1ие в системе источников газовыделения. Наконец, если давление в изолированной от насоса системе в течение продолжительного отрезка времени непрерывно растет, то в системе имеется натекание атмосферного воздуха [c.52]

Во-ВСЯКОЙ вакуумной системе всегда имеется ряд участков, нан менее надежных в отношении герметичности. К таким участкам в первую очередь относятся места соединений отдельных элементов вакуумной системы. Большая вероятность натекания вакуумной системы в местах соединений объясняется тем, что для их выполнения приходится прибегать или к механическому, или к температурному воздействию. Но если даже все соединения выполнены достаточно тщательно, все же остается опасность, что и в тех участках системы, которые не подвергались опасному воздействию, могут оказаться дефекты, совершенно незаметные на глаз, но в то же время вляющиеся местом входа натекающего в систему атмосферного воздуха. [c.257]

Метод разрядной трубки применим для объектов или участка вакуумных систем из любого материала. На участке трубопровода, идущего непосре(дственно к наоосу, помещается разрядная трубка (см. рис. 6-33), в которой возбуждается свечение газа (обычно воздуха), протекающего из вакуумной системы в насос. Наиболее удобная область давления при пользовании описываемым методом лежит в пределах 0,1— 1 мм, рт. ст. В этой области давлений воздух при возбуждения в нем разряда имеет розовое свечение. Подозрительный по натеканию участок вакуумной системы смазывается ватой или опрьюкивается из пульверизатора ацетоном, бензином или другим каким-либо легколетучим углеводородом одновременно непрерывно наблюдают за свечением разряда в трубке. Если при достаточно длительно(м опрыскивании какого-либо участка системы розовое свечение разряда в трубке изменит свой цвет на голубой, то это значит, что пары распыляемой жидкости проникли через негерметич1ное место и повлияли на цвет разряда, т. е. в данном участке системы имеется натекание. При отсутствии легколетучих углеводородов для обнаружения натекания можно производить опрыскивание водой, при проникновении паров которой в разрядную трубку свечение также становится голубым. [c.264]

Если вакуумную систему с испытываемым на натекание прибором откачать до достаточно низкого давления, так чтобы можно было включить подолреватель, то в маномет-ричеокой лампе будет наблюдаться определенное установившееся давление если теперь испытываемый прибор обдувать струей водорода, то в момент, когда обдуватель окажется над течью, водород проникнет в вакуумную систему, и далее через нагретую стенку металлической трубки в манометрическую лампу повышение давления, отмечаемое при этом ионизационным манометром, и является сигналом о наличии течи именно в том месте, которое обдувалось в момент повышения давления в лампе. [c.268]

Излагаются сведения по кинетической теории газов, физике ва> куума и процессам на поверхности твердых тел, соприкасающихся с газами. Приводятся методы расчета вакуумных систем, современные средства откачки, измерения обт/его и парциального давлений, методы обнаружения мест натекания. В отличие от первого издания 1975 г. во втором приводятся принципы построения вак миых систем оборудования для нанесения тонких пленок и других установок полупроводникового производства. [c.2]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология