Разложение в паровой фазе

Советский метод (процесс С. В. Лебедева) является одностадийным процессом, в котором этиловый спирт подвергают каталитическому разложению в паровой фазе. Катализатором служит смесь окиси алюминия и окиси цинка, которые вызывают одновременно дегидрирование и дегидратацию. Процесс проводят при 400° и пониженном давлении, около 0,25 ата [27]. Реакция подчиняется следующему общему уравнению [c.217]

Так как паровой захват в колонне всегда значительно меньше жидкостного захвата, то загрязнением вещества А за счет его частичного разложения в паровой фазе можно пренебречь. Также пренебрегаем изменениями величин жидкостного захвата и скорости потока жидкости в колонне за счет термического разложения, поскольку рассматривается случай, когда ха<с1. На основании вышеизложенных допущений и с учетом того, [c.80]

При еще более высоких температурах помимо указанных продуктов благодаря разложению в паровой фазе образуется некоторое количество N02, N0 и Ма- Суммарной реакцией разложения является сильно экзотермическая реакция [33, с. 330] [c.176]

Нити из бора образуются при разложении в паровой фазе треххлористого бора с выделением бора на нагретой вольфрамовой нити. Сечение подложки обычно составляет 2,5 10 см, а нити из бора — [c.285]

РАЗЛОЖЕНИЕ В ПАРОВОЙ ФАЗЕ [c.373]

Скорость гетерогенного разложения в паровой фазе характеризуется необычайной чувствительностью к небольшим изменениям физической природы поверхности реакционного сосуда, а также ее химического состава. В связи с этим неудивительно, что различные авторы получили сильно расходящиеся данные относительно скорости реакции, энергии активации или влияния водяного пара, а также других газов на реакцию. Ниже в сжатой ( юрме приведены результаты некоторых существенных наблюдений, сделан-ны.х в последнее время. [c.374]

Разложение в паровой фазе 377 [c.377]

Разложение в паровой фазе 381 [c.381]

ИМИ относительные активности этих трех поверхностей примерно одинаковы в жидкой и паровой фазах. Эти различные наблюдения позволяют заключить, что механизм гетерогенного разложения в обеих фазах при некоторых экспериментальных условиях один и тот же. Размеры адсорбции, которая, по литературным данным, происходит при разложении в паровой фазе, в ряде случаев соответствуют адсорбированному слою толщиной в несколько молекул. Такой слой во многих отношениях ведет себя подобно жидкости. Однако эту аналогию можно принять лишь с оговорками. Количество адсорбированной перекиси водорода должно снижаться с повышением температуры вероятно, при этом происходит и изменение механизма. Кроме того, разложение в жидкой фазе часто связано с растворением материала сосуда в массе раствора, что может способствовать искажению результатов наблюдений из-за неожиданной реакции. [c.381]

Экспериментальные результаты, показанные на рис. 73, нужно поэтому рассматривать как сумму трех различных механизмов 1) гетерогенного разложения жидкости на поверхности сосуда, соприкасающейся с жидкостью 2) гомогенного разложения в жидкой фазе и 3) гетерогенного разложения паров на поверхностях сосуда и присоединенных к нему частях прибора. Гомогенное разложение в паровой фазе не имеет существенного значения, гетерогенное же разложение, обусловленное тон ко дисперсным взвешенным веществом, по мнению авторов, было исключено. При подходящих условиях скорость [c.435]

Так как паровой захват в колонне всегда значительно меньше жидкостного захвата, то загрязнением вещества А за счет его частичного разложения в паровой фазе можно пренебречь. Также пренебрегаем изменениями величин жидкостного захвата и скорости потока жидкости в колонне за счет термического разложения, поскольку рассматривается случай, когда х<С1. На основании выше изложенных допущений и с учетом того, что л С 1, дифференциальное уравнение, описывающее суммарный процесс (массообмен и термическое разложение) в элементе объема колонны, и уравнение рабочей линии будут иметь вид [c.79]

В качестве примера приведем процесс получения карбида кремния разложением в паровой фазе метилтрихлорсилана. В работе [231] установлено, что термодинамически образование карбида кремния вероятно при температуре выше 700° С. Однако эксперимент], показывают, что даже при температуре порядка 900—1000° С реакция разложения метилтрихлорсилана проходит с незначительным выходом карбида кремния, что обусловлено ее малой скоростью. Более того, было далее установлено [232], что разложение метилтрихлорсилана протекает одновременно по нескольким направлениям с различными скоростями, что и определяет в конечном итоге скорость суммарной реакции. [c.146]

В ряде работ [27, 32, 33] рассмотрен вопрос образования металлических слоев при термическом разложении в паровой фазе через осаждение металлических конгломератов , или микрокристаллических ансамблей . В работе [27] размеры металлических конгломератов связываются с определенными интервалами изменения параметров процесса. В связи с этим и размеры конгломератов могут изменяться от критических до сверхкритических [33]. В первом случае образование слоя в общем таково же, как и при конденсации в вакууме, во втором случае существенную роль могут играть процессы спекания. Известно, что спекание субмикроскопических частиц происходит при зна- [c.178]

Среди различных методов разложения МОС, приводящих к образованию пленок металлов, сплавов, диэлектриков, полупроводников, а также для осуществления легирования наибольшее распространение получил метод термического разложения в паровой фазе. Значительное развитие работ в этой области в последние годы объясняется тем, что применение термического разложения МОС в паровой фазе позволяет не только улучшить качество изделий, в которых используются те или иные пленки, но и существенно упростить технологию изготовления электронных приборов, а в ряде случаев открывает новые технологические возможности их изготовления. [c.183]

Осаждение может проводиться как в вакууме, так и в токе газов-носителей (аргон, азот, гелий, углекислый газ). В ряде случаев процесс термического разложения в паровой фазе осуществляют в окислительной или восстановительной среде или в присутствии паров соединений, способствующих разложению исходных МОС. [c.184]

Дальнейшее развитие метода связано с использованием в качестве исходных материалов для нанесения покрытий различных галогенидов и карбонилов металлов и впоследствии металлоорганических соединений. Определяющими факторами в совершенствовании и внедрении в производство метода термического разложения в паровой фазе явились разработка способов получения и промышленное производство ряда МОС и практическое применение покрытий, получаемых пиролизом МОС. Успехи в области синтеза органических соединений непереходных и переходных металлов, особенно получение я-комплексов переходных металлов, значительно расширило круг используемых соединений и позволило получать различные по составу и свойствам пленки. В то же время получение термическим разложением в паровой фазе тугоплавких материалов в более чистом виде, чем другими методами, защитных покрытий и особенно успехи, достигнутые в области применения в электронике пленок различных материалов, полученных этим способом, также в значительной степени стимулировали развитие метода осаждения пленок термическим разложением МОС в паровой фазе. [c.184]

Важной особенностью метода термического разложения МОС является механизм образования покрытии. Ксли при вакуумном напылении пленка формируется из прямолинейно движущихся от испарителя частиц напыляемого материала, то при термическом разложении в паровой фазе процесс формирования пленки носит другой характер. Подвергаемая металлизации поверхность находится в окружении паров металлооргаиического соединения, молекулы которого хаотически движутся в различных направлениях, что позволяет им, в отличие от процесса вакуумного напыления, с равной вероятностью приближаться как к горизонтальным, так и к вертикальным плоскостям покрываемого предмета. Сама пленка формируется в результате разложения МОС либо па нагретой поверхности, либо вблизи ее. Таким образом, образование покрытия при термическом разложении МОС в паровой фазе в вязкостном режиме позволяет в отличие от вакуумного напыления наносить равномерную пленку па предметы сложной конфигурации, например, проводить металлизацию внутренних поверхностей деталей, даже при очень малых размерах отверстий. Как правило, покрытия, получаемые термическим разложением МОС в паровой фазе, отличаются высокой адгезией. Это. по-видимому, объясняется тем, что при разрыве химических связей атомы металла выделяются в возбужденном состоянии и обладают повышенной активностью и могут образовывать прочные связи с материалом подложки. Повышению адгезии способствует также диффузия металла вглубь подложки при проведении процесса при повышенной температуре. [c.185]

Данные по физико-химическим свойствам органических соединений алюминия, пригодных для осаждения пленок термическим разложением в паровой фазе, приведены в табл. 7-0. [c.223]

Получены металлические пленки молибдена термическим разложением в паровой фазе ряда органических соединений молибдена при температуре 200—600° С на подложках из стекла, кварца и ситалла [4С>2]. 13 табл. 7-24 приведены оптимальные условия осаждении пленок нз исследованных соединений. Для сравнения приведет, также аналогичные данные для гексакарбонила молибдена. [c.271]

С целью получения пленок, отвечающих различным требованиям и назначениям, для разложения кремнийорганических соединений широко использовались такие методы, как термическое разложение в паровой фазе, разложение в плазме газового разряда и под воздействием электронного луча. Нам представляется необходимым рассмотреть эти методы в отдельности. [c.337]

Изучению диэлектрических свойств пленок двуокиси кремния, полученных термическим разложением в паровой фазе алкоксисоединений кремния, [c.344]

Для получения чистых металлов разложением металлооргапических соединений были исследованы следующие методы термическое разложение в паровой фазе и в растворах, фотолиз, электролиз, гидролиз, а также некоторые реакции МОС. Металл выделяется в виде порошка или пленок. (Перечисленные выше методы были подробно рассмотрены ранее в главах 6 и 9.) [c.395]

К настоящему времени разработаны и описаны различные способы получения в чистом виде окислов металлов и различных соединений с использованием МОС. К числу таких способов относятся термическое разложение в-паровой фазе, разложение в плазме газового разряда в токе кислорода, выделение окислов и соединений из растворов МОС их гидролизом, а также высокотемпературный гидролиз в паровой фазе. Каждый из этих методов имеет свои преимущества и недостатки. Так, например, при жидкофазном гидролизе, осуществляемом при комнатной температуре, возможно использование-аппаратуры из полимерных материалов, однако процесс является многостадийным. Осаждение из паровой фазы проводится в одну стадию, но требует применения уже довольно сложной аппаратуры. [c.399]

В табл. 10-7 приведены оптимальные условия осаждения пленок хрома, полученных разложением в паровой фазе ряда ареновых производных хрома.. В этой же таблице приводятся и некоторые свойства полученных пленок. [c.430]

Очевидно, что процессы, происходящие в камере разложения, исключи тельно сложны, так как они начинаются реакцией в жидкой фазе на входе (при комнатной температуре и в концентрированной перекиси водорода), 1юсле чего следует разложение смеси газовой и жидкой фаз и, наконец, на выходе происходит разложение в паровой фазе (при высокой температуре п исчезающе малой концентрации перекиси водорода). Лафт ИЗО] дал теоретический расчет такой камеры paзJЮжeния, сделав ряд упрощающих предпосылок, но практическое конструирование, очевидно, должно в значительной мере носить эмпирический характер. [c.503]

Специфические свойства МОС и особенности процесса получения покрытий термическим разложением в паровой фазе предъявляют не только дополнительные требования к методам их анализа, но выдвигают ряд новых аналитических задач. МОС, применяемые в электронике, должны быть охарактеризованы не только по наличию микропримесей других металлов и элементов, но также по наличию органических примесей, а в ряде случаев, и по гомологическому составу. Последнее особенно важно для алкильных производных бисарсеновых соединений переходных металлов. [c.98]

Закись азота и вода являются почти единственными продуктами разложения жидкого азотнокислого аммония при низких температурах. При более высоких температурах были обнаружены N02, и N3, по-видимому, являюш иеся результатом разложения в паровой фазо. Путем применения в качестве индикатора N недавно было показано, что закись азота образуется из реакции группы аммония с нитратной группой [31]. Из изотопической молекулы N °II4N 0з образуется исключительно изомер N N 0. Фридман и Бигель-энзеп [31] предлагают следующий механизм дегидрации [c.442]

Получение пленок методом термического разложения в паровом фазе отличается простотой, экономичностью и высокой производительностью. Метод позволяет в едином технологическом цикле получать практически все элементы, необходимые для изготовления электронных приборов полупровод-пиковые монокристаллы и зпитакснальпыо слои, проводящие, резистивпые и диэлектрические пленки. [c.185]

В патенте [120] описан способ осаждения пленок карбида бора разложением в паровой фазе триметилбора. Трипропил-итриизопропилбор при пиролизе в вакууме (3-10 3 мм рт. ст.) в интервале температур 1000—1200° С дают боруглеродистые пленки. [c.221]

Из большого числа исследованных нейтральных бг/с-ареновых соединений хрома наиболее пригодными для металлизации считаются бмс-этилбензолхром и быс-кумолхром. Основное их преимущество заключается в том, что эти вещества являются жидкими и потому более технологичными. Однако оба эти вещества не являются индивидуальными соединениями, а представляют собой смесь нескольких гомологов, обладающих, естественно, различной летучестью. В силу этого при длительном процессе термического разложения в паровой фазе происходит накопление в испарителе менее летучих комло- [c.254]

Таким образом, показана возможность получения пленок хрома термическим разложением в паровой фазе большого числа хроморгапических соединений разных типов. Для каждого соединения хрома предпочтительна своя температура разложения. Нижний предел температуры подложки обусловлен температурой разложения соединения и в общем случае выше ее на 100— 150° С. Верхний предел температуры подложки определяется также свойствами хроморганического соединения. При слишком высоких температурах органическая часть молекулы соединения будет разлагаться с образованием углерода, метана, этана и способных к полимеризации углеводородов, таких, как этилен и ацетилен, которые загрязняют осаждаемый хром. Оптимальной температурой процесса следует, вероятно, считать температуру на 75 " С выше, чем температура разложения соединения. [c.256]

В работе 1412] показана возможность использования метода термического разложения в паровой фазе бис-кумолхрома для защиты микроминиатюрных топливных элементов для ядерных реакторов. Разложение бис- [c.258]

Описана возможность получения пленок окиси цинка при термическом, разложении в паровой фазе ацетил а цетоната цинка и пропионата цинка 15-10]. [c.311]

Эпитаксиальные слои соединений общей формулы Ga A As, где х изменялся от 0,1 до 0,8, выращивались на подложках окиси алюминия и арсенида галлия при термическом разложении в паровой фазе смесей триметил-алюминия и триметилгаллия в присутствии арсипа. [c.411]

Окисиые пленки, получаемые из МОС методами термического разложения в паровой фазе или гидролизом в растворах, могут применяться в производстве пленочных конденсаторов и МДП-структур [132 —134]. [c.442]