Насосы вакуумные диффузионные

О становка (рис. 57 и 58) состоит из следующих частей вакуумного насоса 8, диффузионного масляного насоса 7, создающего [c.261]

Наконец, высокую чувствительность течеискателей можно получить лишь при использовании правильной методики течеискания и оптимальных вариантов присоединения объектов. Наиболее распространенная схема течеискания предусматривает присоединение течеискателя к трубопроводу насоса предварительного разрежения вакуумной системы откачиваемого объема. При этом реальная чувствительность метода сильно повышается (см. 28), однако постоянная времени оказывается сравнительно большой. В некоторых случаях, особенно в. системах с применением сорбционных насосов, течеискатель подсоединяют непосредственно к высоковакуумной части установки. При этом работа без вымораживающей азотной ловушки крайне нежелательна, так как возможно загрязнение сорбционных насосов парами диффузионного масла. Во всех случаях нужно длину трубопровода к течеискателю делать возможно короткой и не прибегать к резиновым шлангам, газоотделение которых весьма велико. Методика течеискания довольно проста. Поиск течи ведут со сравнительно сильной струей обдувающего газа, начиная с предполагаемых мест течей вакуумной системы, расположенных в верхних частях, затем переходят к нижележащим участкам. Такое прави- [c.231]

Рис. 43. Схема вакуумной установки. /—форвакуумный насос 2 —диффузионный насос 3 — форвакуумная колба (3—

Вакуумная система состоит из соединенных воедино вакуумного насоса 10, диффузионного насоса 8, ловушки 7, кранов 5, 6,9, манометрических ламп 11, подсоединенных к вакуумметру 12. [c.626]

Лампа откачивается простой вакуумной системой (фор-вакуумный насос, ртутный диффузионный насос, ловушка, охлаждаемая жидким азотом) и заполняется спектрально чистым аргоном до давления 1,2 мм рт. ст. Степень распыления при этом давлении сравнительно высока, однако лампа может быть легко и быстро восстановлена. Автором предлагается ввести второй патрубок И и кварцевую линзу 12, чтобы можно было одновре.менно определить несколько элементов. Для этого две лампы ставятся друг за другом таким образом, чтобы катод первой лампы проектировался в полость катода второй лампы, после чего световые пучки проходят через пламя. [c.18]

ФТАЛЕВЫЕ КИСЛОТЫ (бензолди-карбоновые кислоты) СвН4(СООН)2. Известны ортофталевая, изофталевая и тере-фталевая кислоты, о-Фталевая кислота — простейший представитель двухосновных ароматических кислот получают ее окислени-и другими способами. о-Ф. к. кристаллизуется из воды в виде блестящих листочков, т. пл. 200 С, малорастворима в воде. о-Ф. к. содержится в зелени и семенной коробочке мака. При нагревании выше 200 С теряет воду и превращается во фталевый ангидрид. Эфиры о-Ф. к.— маслянистые высококипящие жидкости, применяют в качестве пластификаторов, манометрических жидкостей, в газожидкостной хроматографии и в качестве рабочей жидкости в вакуумных диффузионных насосах. Диметиловый эфир обладает реппелент-ными свойствами и применяется для отпугивания насекомых. В химической промышленности применяют не о-Ф. к., а ее ангидрид (см. Фталевый ангидрид). [c.270]

Ионно-геттерный насос. Пароструйный диффузионный насос. Механический вакуумный насос [c.286]

Для использования полученных теоретических результатов в практических задачах мы исходили из аналогии между физическим механизмом взаимодействия молекул пара с молекулами твердого конденсата при конденсации водяного пара и механизмом взаимодействия молекул газа с молекулами струи при откачке газа вакуумным диффузионным насосом. [c.40]

Больщое значение и применение имеют фталевая и терефталевая кислоты в получении полиэфирных смол. Эфиры фталевой кислоты также применяются как пластификаторы, манометрические жидкости, рабочие жидкости в вакуумных диффузионных насосах, в газожидкостной хроматографии и для других целей. [c.251]

Соединение частей трубопровода резиновыми шлангами. Из-за значительного газовыделения резины шланги из нее применяют в области низкого и среднего вакуума, например для соединения механического вакуумного насоса с диффузионным и т. п. Резину благодаря ее гибкости применяют там, где нужна подвижность частей вакуумной системы. Наиболее подходит для вакуумных трубопроводов резина с малым содержанием серы (1,5—2%) из высших сортов каучука, имеющая большую гибкость и способность-к растяжению. Резина стареет со временем, особенно при действии кислорода и света при нагревании при старении она растрескивается и становится негерметичной. Соединение резиновыми шлангами часто применяют, чтобы избежать излишней жесткости всей системы. В этом случае резиновый шланг служит упругим элементом — компенсатором перемещений. Кроме того, его применяют для соединения двух деталей. Необходимо, чтобы концы соединяемых трубок вплотную подходили один к другому, чтобы уменьшить влияние открытой поверхности резины. Если требуется соединить стеклянные или металлические трубы резиновым шлангом, то концы труб выполняют [c.471]

Установка вакуумного отжига деталей с помощью токов высокой частоты (рис. 53) состоит обычно из восьми откачных позиций, которые расположены на. передней части металлической рамы. Каждое гнездо откачной позиции соединяется с индивидуальным вращательным насосом или через коллектор с одним мощным насосом. Обычно откачные гнезда, помимо вращательных насосов, оборудованы диффузионными паромасляными на- [c.141]

Существует также ряд ограничений, обусловленных различной элементной чувствительностью метода. Так, например, чувствительность метода к элементам платиновой группы в 10-15 раз выше, чем к таким элементам, как В, К, 81 или А1 (в расчете на их атомное содержание). Другим серьезным ограничением является то, что на поверхности образца всегда присутствуют углеродсодержащие фрагменты (например, следы масла диффузионных насосов вакуумной системы спектрометра). Это весьма затрудняет исследование химических превращений с участием углеродсодержащих соединений. [c.298]

Применяется вакуумная система (рис. 7.50, б), по которой откачка изделий ведется в три этапа в начале технологического цикла производится черновая откачка изделий насосом 3, затем предварительно откачивают изделие многокамерным механическим насосом 4 и, наконец, изделия проходят обработку при откачке пароструйными диффузионными насосами 1. В этой схеме золотник 2 расположен между откачным гнездом и пароструйным диффузионным насосом, и для надежной работы золотника его вакуумные каналы защищены кольцевыми проточками, заполненными маслом. Иногда защита обеспечивается откачкой механическим вакуумным насосом. Вакуумные системы с таким расположением золотника даже при тщательном изготовлении всех элементов обеспечивают давление в системе не ниже 1 10- тор вследствие большой протяженности высоковакуумных коммуникаций и негерметичности золотника. [c.466]

Настоящий стандарт распространяется на вакуумные масла и устанавливает метод оценки их качества по предельному остаточному давлению, достигнутому в вакуумной системе при откачке ее диффузионным насосом, работающим на этом масле. [c.9]

Насосы вакуумные диффузионные 34 4943 Насосы вакуумные прочие Оборудование / технохими-ческое 34 4944 [c.190]

Так как со стенок а.ппарата из переганяемой жидкости всегда выделяется некоторое количество различных газов, то для поддержания хорошего разрежения необходимо применять вакуумные насосы большой мощности. Наиболее подходящим типом насоса является диффузионный (или конденсационный). [c.92]

Использование геттеро-ионного насоса вместо диффузионного не приводит к заметному изменению рабочих характеристик разборных вакуумных систем. Так, Касуэллу [79] с помощью ионно-распылительного насоса и ловушки Мейснера удалось снизить предельный вакуум всего лишь до 2 10 мм рт. ст. Получившийся в результате состав атмосферы остаточных газов был таким же, что и в случае использования диффузионного насоса. Мейнард [291] для откачки прогреваемой до 100 С внутренними нагревателями разборной системы применил ионно-испарн-тельный насос. Ему удалось достигнуть разрежения около 3 10 мм рт. ст., причем основными газами в остаточной атмосфере были СО, Nj. Аг, На, СН4 и HjO в соотношении, зависящем от рабочих условий. Некоторым преимуществом системы этого типа является отсутствие других, кроме метана, углеводородов. Однако при наличии в системе тлеющего разряда или электронного луча даже небольшой обратный поток паров масла из диффузионного насоса может приводить к постепенному накапливанию пленок твердого полимера или сажи. [c.297]

Установка для лиофильной сушки (рис. 31) состоит из вакуумного сушильного шкафа 1, конденсатора с механическим скребком 2, ледоприемника 3, диффузионного 4 и ротационного 5 ваку-ум-насосов. Вакуумный сушильный шкаф представляет собой стальную литую прямоугольную камеру с ребрами жесткости и герметически закрывающейся дверью, в которой имеется смотровое окно. На верхней стенке шкафа находятся два вентиля для соединения с вакуумной системой, а сбоку вентиль, через который по окончании сушки уравнивается давление воздуха через ватно-марлевый фильтр. Внутри шкафа расположено семь полых [c.119]

Выше, при описании насосов, были приведены их технические характеристики и области применения, которыми и следует руководствоваться для подбора типа насоса. Следует иметь в виду, что если в печи требуется получить вакуум, который может быть достигнут бустерным насосом, применение диффузионного насоса нецелесообразно, хотя он и перекрывает бустерный диапазон давлений. Это же относится к применению бустерных насосов для откачки печи до давления, обеспечиваемого двухроторным или форвакуумным насосами. Определяющим при выборе насоса должны быть скорость откачки и предельная величина впускного давления. Необходимо помнить, что во время работы вакуумной электропечи величина газовыделенйя из футеровки и садки не бывает пропорциональна времени. При определенных значениях температуры газовыделение либо увеличивается, либо уменьшается. Поэтому характеристика откачивающих печь насосов должна обеспечивать максимальную скорость откачки в широком диапазоне значений впускного давления. [c.48]

В работе В. Ф. Рыбалко и др. описан металлический диффузионный ртутный насос для получения сверхвысокого вакуума со скоростью откачки —50 л/сек (рис. 5.3). Откачной агрегат, кроме описываемого насоса, состоит из парортутного насоса ДРН-50 и адсорбционного угольного насоса, используемого для создания форвакуумного разряжения. Питание ртутным паром сопел 13 и 14 происходит раздельно, с помощью независимых паропроводов. Это предотвращает циркуляцию газа вместе с ртутным паром и позволяет проводить обезгаживапие ртути внутри насоса. Вакуумные детали насоса и ловушки, заполненной жидким азотом, выполнены из нержавеющей стали марки 1Х18Н9Т. Для работы насоса требуется 200 мл очищенной ртути. При обезгаживании ловушку прогревают с помощью электропечи, одеваемой на корпус 5. По данным авторов для получения сверхвысокого вакуума длительное обезгажи-вание в течение 45—50 ч необходимо проводить после большого перерыва в работе или после переборки насоса и очистки его деталей органическими растворителями. При ежедневной работе в одну смену вакуум более чем 10 мм рт. ст. достигается после 3—4 ч откачки и не ухудшается в течение 30 ч дальнейшие испытания авторы не проводили. [c.151]

Прибор, сконструированный авторами [162] (рис. 51), свободен от указанных недостатков. Он состоит из. татунной муфты с кварцевой трубой, вакуумного шлюза, отгороженного от кварцевой трубы вакуумной заслонкой, и держателя с подвижным конденсатором паров. Муфта присоединяется к диффузионному вакуумному насосу. Вакуумный шлюз соединен со вспомогательной высоковакуумной системой. В кварцевой трубе на специальной подставке располагается эффузионная камера. Сменный очередной приемник паров в виде фасонного сосуда Дьюара мог вводиться в зону нагрева камеры и выводиться из нее через вакуумное уплотнение и вакуумный шлюз без нарушения вакуума в кварцевой трубе. Нагрев камеры осуществлялся током высокой частоты при помощи внешнего индуктора. [c.50]

Откачная вакуумная система состоит из форвакуумного насоса 25, диффузионного паромасляного насоса 26, форбаллона 27, форвакуумной ловушки 28, высоковакуумной ловушки 29, металлических вакуумных вентилей 4 я 30 я стеклянных вакуумных кранов 31—34. Для измерения давления применяются датчики термопарного 12 и ионизационного 35 вакуумметров. [c.254]

Откачная вакуумная система состоит из форвакуумного насоса 15, диффузионного паромасляного насоса 16, форбаллона 17, ловушек 18 и 19, металлических вакуумных вентилей 20—23 и стеклянных вакуумных кранов 24—25. Она обеспечивает откачку [c.267]

Для полученип высокого вакуума широко используются пароструйные масляные и ртутные диффузионные насосы, принципиальное устройство которых показано на рис. 7. Масло, находящееся в нижней части насоса, подогревают электронагревателем 1. Образующиеся пары по паропроводам через зонтичные сопла со скоростью, превышающей скорость звука, непрерывно истекают в вакуумную область, образуя сплошную конусную завесу. Эвакуируемый газ поступает через входное отверстие, увлекается струями сопел и уносит-гл в область форвакуумного давления, откуда удаляется в атмосферу масляным ротационным насосом. Паромасляные диффузионные насосы выполняются с различными скоростями откачки (от 10 до десятков тысяч л/сек) и давлениями (10 — 10 мм рт. ст.). В качестве рабочих жидкостей, пары которых используются в этих насосах, применяют органич. и кремний-органич. масла, сложные эфиры фталевой и себациновой к-т, Щпоступлеиие жидкие силоксаны и охлаждающей ртуть упругость па-ров при 20 не должна превышать 10 — 10 жж рт. ст. Данные для нек-рых ти-Рис. 7. Пароструйный диффузион- масляных Диффу- [c.254]

Основным элементом вакуумных систем являются насосы, которые предназначены для создания требуемого вакуума в камерах установок, а также для поддержания рабочего давления при проведении технологического процесса. В установках для изготовления тонкопленочных структур ИМС применяются механические форвакуумные и двухроторные насосы, пароструйные диффузионные, а также криогенные и турбомолекуляр-ные насосы. [c.60]

Для проведения испытания отклоняют тенсиометр при помощи поворотной головки в сторону открытия сопла, включают механический вакуумный насос и через 1—2 мин открывают вакуумные клапаны. При откачке вакуумной системы следует избегать вспенивания испытуемого масла и попадания его в сопло. При достижении в системе давления 2-10 мм рт. ст., определяемого но манометрическому термопарному преобразователю, включают электронагреватель диффузионного насоса и подают коду в систему охлаждения диффузионного насоса. [c.6]

После этого испытание считают законченным выключают осветитель и нагреватель диффузионного насоса, затем отрывают сопло тенсиометра. Закрывают вакуумные клапаны, опускают масляный термостат и, осторожно открывая напускные клапаны, впускают в вакуумную систему воздух. Вынимают тенсиометр из муфты поворотной головки для подготовки к следующему испытанию. После охлаждения диффузионного насоса перекрывают вакуумные клапаны, выключают механический насос и открывают напускной клапан (около насоса). [c.7]