Откачки быстрота, определение

Рис. 5-24. Кривая откачки для определения быстроты действия вращательного масляного насоса.

Важной характеристикой насоса является быстрота действия объем откачиваемого газа при определенном давлении на входном патрубке насоса. Часто используют понятие эффективной быстроты откачки 5э. Оно определяет объем откачиваемого насосом газа с учетом ограниченной проводимости патрубков и вентилей, соединяющих насос с откачиваемым объемом. [c.80]

При выборе насоса, кроме производительности и быстроты откачки, важной характеристикой является его свойство выделять газы в вакуумную камеру. В принципе все насосы при определенных условиях оказываются источниками остаточных газов, однако различные типы насосов сильно отличаются между собой как по количеству, так и по природе выделяемых газов. Для некоторых применений вредны следы паров органики, обусловленные применяемыми в насосах рабочими жидкостями, и тогда следует ориентироваться на безмасляные насосы. В следующем разделе обсуждаются принципы действия, области применения и предельные возможности насосов различных типов. [c.180]

Для того, чтобы при нагнетании или откачке вещества с быстротой 5 иметь возможность получать и поддерживать определенные давления Р, объект должен быть герметичным в пределах [c.548]

В действительных условиях коэффициент прилипания / < 1, поэтому быстрота откачки будет меньше расчетной по формуле (198) уменьшение приблизительно пропорционально уменьшению величины / по сравнению с единицей. Точных данных по коэффициенту / нет, при температуре = 20° К для азота / = 0,4- - -0,9. При определении размера поверхности насоса необходимо также учитывать коэффициент захвата А, характеризующий вероятность попадания молекулы во входное отверстие насоса. Для двух параллельных плоских пластин Л = /, для насосов со сложными геометрическими поверхностями значения А зависят от конструктивных форм. На рис. 132 представлены схемы трех вариантов геометрической формы криогенных насосов с экранированием холодной поверхности Т = 20° К. [c.257]

Измерение быстроты откачки. В этом пункте будет дано краткое описание двух общепринятых методов измерения быстроты откачки. В п. 17 показано, что хотя вообще насосы характеризуются определенной быстротой откачки Зр, все же вблизи предельного давления Ро эффективная быстрота откачки мала и определяется соотношением [c.55]

По определению, быстрота откачки выражается соотношением [c.87]

Большинство описанных способов обнаружения течей не позволяет точно определить величину течи. Однако в большинстве случаев это и не является особенно важным, так как обычно задача состоит в обнаружении и устранении течи в возможно более короткое время. Разумеется, если известны геометрическая форма и устройство вакуумной установки, а также быстрота откачки насоса, то некоторое представление о величине течи можно получить, пользуясь различными методами течеискания, если предварительно проградуировать систему по калиброванным течам. Опыт работы на данной вакуумной установке также часто позволяет определить величину течи с достаточной степенью точности. Наиболее точным способом определения величины течи является, вероятно, способ измерения возрастания давления. [c.217]

Быстрота откачки, определение О - р -п/сек [c.258]

Формула для определения быстроты откачки по методу градуированной течи [c.261]

Формула для определения быстроты откачки по методу быстроты возрастания давления Рг—Рх п р 1 2— 1 где Г —объем сосуда />1, Р — быстрота возрастания при давлениях Р и соответственно [c.262]

В то время, как производительность насоса есть легко определяемая величина, понятие быстроты откачки для области молекулярных потоков требует особых пояснений. Это связано с тем, что обычное определение давления как скалярной силы, действующей на поверхность, для вакуумной камеры со сложной структурой газовых потоков в разных точках становится сомнительным. Несколько исследователей, используя расчеты по методу Монте — Карло, показали, что при одинаковых измеряемых параметрах быстрота откачки диффузионного [2] и геттерного [3] насосов различается вследствие различного углового распределения молекул в об- [c.179]

Часто утверждают, что ионно-распылительный насос можно включать при 10 мм рт. ст., однако запуск некоторых типов диодных насосов при таких высоких давлениях представляет определенную трудность. Для триодных насосов такой проблемы не существует, и они могут запускаться даже при р= 10" мм рт. ст. Однако быстрота откачки в этой области давлений мала, и для снижения давления от 10 до 10 2 мм рт.ст. требуется го же самое время как и для снижения давления от 10-2 до 10 мм рт. ст. [151]. Кроме того, в результате роста величины ионного тока при высоких стартовых давлениях увеличивается расход титана, в результате чего сокращается срок службы катода. [c.219]

Для нормальной работы диффузионного насоса требуется определенная мощность подогрева кипятильника (см. 13). При снижении мощности уменьшается плотность струи масла у сопел, снижается быстрота откачки насоса, возникают колебания давления в откачиваемом объеме. При увеличении мощности подогрева приходится иметь дело также с нестабильностью давления и с резким возрастанием миграции масла. Кроме того, срок службы насоса уменьшается. [c.179]

При открытом натекателе воздух из бюретки засасывается в измерительный колпак, в котором устанавливают некоторое определенное давление (10 —10 тор), соответствующее степени открытия натекателя. Давление измеряют с помощью манометрических датчиков, установленных на измерительном колпаке. Количество воздуха, засасываемого в откачиваемый измерительный колпак в единицу времени, определяется по скорости подъема столба масла в бюретке. Этот поток воздуха, отнесенный к давлению Р во входном сечении насоса, измеренному одним из манометрических датчиков, принимается за быстроту откачки высоковакуумного насоса. [c.185]

Условие возможности расчета вакуумных систем. . . 334 9-2. Практическое применение основного уравнения вакуумной техники для определения быстроты откачки объекта. ........................336 [c.7]

Так как быстрота откачки объекта с изменением давления, вообще говоря, изменяется, ее значение приходится относить к определенному моменту времени в следующий момент в связи с изменением давления в объекте быстрота его откачки может принять другое значение. Поэтому для определения быстроты откачки объекта надо брать бесконечно малый промежуток времени dt, в течение которого из откачиваемого объекта в трубопровод входит бесконечно малый объем газа dVo (рис. 4-1). [c.50]

Следовательно, если быстроту откачки объекта обозначить через So, то по определению [c.50]

Золотниковые насосы как более производительные применяются в качестве насосов предварительного вакуума при больших пароструйных насосах (до 1000 л/сек), для быстрой откачки больших объемов, а также для поддержания определенной степени вакуума в коллекторах и централизованных вакуумных подводках к откачным автоматам и другим вакуумным установкам. Их предельный вакуум может достигать тысячных долей миллиметра ртутного столба, быстрота действия — сотен литров в секунду. [c.75]

По кривой откачки, полученной методом постоянного объема, быстроту действия можно определить графическим путем. Этот способ определения основан на том, что уравнение (5-1) можно представить в виде [c.85]

Метод постоянного давления можно было бы с тем же правом назвать методом постоянного потока, так как определение 8 сводится в конечном счете к использованию равенства потоков в различных участках трубопровода, ведущего к насосу. Одним из главных преимуществ этого метода является то, что он дает возможность определять быстроту действия насоса не только у входа в насос, но и внутри самого насоса, например в пространстве вблизи любого из сопел пароструйного насоса, лишь бы удалось измерить имеющееся там давление. Этот же метод позволяет определять быстроту откачки вакуумной системы 5 в любой ее точке. [c.140]

Условием (4-6), а также основным уравнением нам уже приходилось пользоваться при обосновании требований, предъявляемых к насосам предварительного вакуума, для правильного их выбора при анализе конструкций пароструйных насосов с двумя и большим числом ступеней откачки при рассмотрении экспериментальных методов определения быстроты действия насосов при определении допустимой течи в вакуумной системе и т., п. [c.335]

ПРАКТИЧЕСКОЕ ПРИМЕНЕНИЕ ОСНОВНОГО УРАВНЕНИЯ вакуумной техники для ОПРЕДЕЛЕНИЯ БЫСТРОТЫ ОТКАЧКИ ОБЪЕКТА [c.336]

На рис. 29 показана зависимость теоретической быстроты действия крионасоса в зависимости от давления газа, построенная на основании уравнений (4.5) и (4,12), Первая полка на этом графике показывает максимально возможную теоретическую быстроту откачки в молекулярном режиме течения газа S , а вторая — в вязкостном S . Область переходного режима не определена четко и может захватывать шйрокий диапазон давлений. Теоретическая быстрота действия крионасоса, построенная на рис. 29, относится к конкретному случаю криооткачки СО имеющей температуру ЗОО К на криоповерхности, охлаждаемой жидким азотом до температуры 77 К. Для сравнения на этом же рисунке представлены результаты экспериментального определения быстроты откачки СО при схожих условиях [59]. Из сравнения теоретической кривой быстроты откачки и опытных данных следует, что не все молекулы СО , сталкивающиеся с холодной поверхностью конденсатора, прилипают к ней сраз -же при первом столкновении, поэтому действительная быстрзда откачки несколько меньше теоретических значений. Кроме того,, оказывается весьма неустойчивой криооткачка при повышенном давлении, когда ее скорость резко падает, [c.88]

В ряде газодинамических установок скорость потока газа, набегающего на криоповерхность, может превышать скорость звука. Для таких систем в работе 1Ь71 дается следующее уравнение для определения быстроты откачки [c.90]

Вакуумная схема. Определение сонротивпения, пропускной способности и быстроты откачки, в оставшейся части этой главы будет рассмотрено применение законов кинетической теории к изучению вакуумных систем. [c.20]

Вакуумный насос является устройством, использующим внешнюю энергию для создания потока газа в вакуумной системе. Быстрота откачки такого устройства формулируется по-разному, но, следуя Геде, будем использовать простейшее определение быстрота откачки ) насоса при давлении Р есть объем газа, удаляемый из системы в единицу времени, измеряемый при этом же давлении Очевидно, что объем газа У, протекающий через впускное отверстие насоса, равен 6. Так как = РУ, то [c.22]

Полученные выводы применимы только к диафрагмам, малым по сравнению с размерами сосуда и имеющим тонкие и острые края. Если форма диафрагмы намного отличается от указанной, так что линии тока изменяются радикальным образом, то сделанные здесь выводы перестают быть правильными. Кроме того, необходимо отметить, что определенные таким образом величины проводимости и быстроты откачки справедливы даже для таких низких давлений Р , когда в области Р исчезают линии тока, но при этом давление Р достаточно высоко для того, чтобы средняя длина свободного пути в области Р была мала в сравнении с размерами сосуда и размером диафрагмы. Когда последнее условие выполняется, молекулы попадают в диафрагму из непосредственно прилежащей к ней области. Таким образом, молекулы будут покидать область пониженного давления у диафрагмы и в области Ру установятся линии тока по направлению к диафрагме. Следовательно, газ будет двигаться с некоторого расстояния по направлению к диафрагме, прежде чем пройти через нее. Этот механизм потока и описывающие его формулы были проверены экспериментально для значений Р , близких к атмосферному. Можно ожидать, что эти формулы справедливы до давлений, при которых средняя длина свободного пути становится сравнимой с размерами сосу 1а или диафрагмы. Но с дальне11шим понижением давления перестают образовываться линии тока. При очень низких давлениях молекулы движутся в объеме без столкновений, и, следовательно, молекулы, проходящие через диафрагму, могут приходить из любой части сосуда. Таким образом, вблизи диафрагмы не устанавливается градиента давлений и, следовательно, отсутствует направленный к ней поток. [c.27]

Особенности течения газов по тонким каниллярям. Несомненно, что наиболее трудно обнаружить наименьшие течи. Термин величина течи означает количество газа, протекающего через течь в вакуумную систему. Согласно определению, данному в гл. I. будем измерять эту величину в микронах на литр в секунду. Величина течи — понятие относительное. При ртутном пароструйном насосе, имеющем быстроту откачки 5 л/сек, и при заданном рабочем давлении 10 мм Hg (такое давление необходимо, например, при большинстве точных масс-спектрометрических работ) допустимая величина течи не должна превышать 5-10 микрон- л/сек] с другой стороны, при очень больших промышленных пароструйных насосах, с быстротой откачки до 30 ООО л/сек и при рабочем давлении порядка 10 мм Нд, может быть терпимой течь в 300 макрон-л1сек. Таким образом, пределы величины течей, с которыми необходимо считаться конструкторам, инженерам и техникам-вакуумщикам, очень велики. [c.200]

Второй метод определения чувствительности при помощи калиброванной течи иначе называется динамическим . Представим себе, что сделана весьма малая течь, например при помощи сплющивания куска медного капилляра. Откалибровать ее можно, присоединяя к манометру и измеряя быстроту повышения давления. Если величина натекания равна А см /сек, то поток через щель равен 760 лткрон-л[сек. Лучше всего проводить калибровку непосредственно по гелию, так как при применении воздуха надо вводить поправочный коэффициент, взятый из фиг. 89. Затем этот натекатель можно присоединить к той же вакуумной системе, к которой присоединен течеискатель. Тогда, если — быстрота откачки насоса этой системы при давлении Р, общее количество газа— РЗ микрон-л/сек, то отношение смеси гелия и воздуха составит 760 А1Р8. [c.236]

Много усилий было предпринято для вывода уравнений быстроты откачки, основанных на различных моделях захвата ионов [130]. Если эф фективность захвата поверхностью в течение всего процесса остается неизменной, то давление в замкнутой системе при откачке ионным насосом должно экспоненциально падать во времени, что, вопреки ожиданиям, экспе риментально не подтверждается. Не имели успеха и попытки, в которых, принималось во внимание наблюдаемые на опыте спадающие зависимости быстроты откачки и учитывалось уменьшение числа свободных для захвата состояний. Это связано с тем фактом, что захвату ионов всегда сопутствуют процессы освобождения газа, которые усиливаются по мере приближения поверхности мишени к состоянию насыщения. Идентифицированы два механизма освобождения газа. Из-за термической активации происходит спонтанная десорбция захваченных газов. Она может наблюдаться и послг выключения ионной откачки [133]. Падающие ионы вызывают в процессе откачки обратную диффузию и десорбцию газа. Прямыми экспериментальными доказательствами выделения газа вследствие ионной бомбар дировки являются так называемые эффекты памяти . Они наблюдаются, если в серии следующих друг за другом экспериментов насос откачивает различные газы. В процессе второго цикла откачки исходная концентрация захваченного на поверхности мишени в предыдущем цикле данного сорта газа уже не соответствует его новому парциальному давлению. Вследствие этого первоначально захваченный газ выделяется в вакуум до тех пор, пока не наступит новое равновесное состояние. Таким образом, предельное давление, полученное с помощью ионного насоса, соответствует не просто условию, когда все свободные сорбционные состояния заполнены, а определенному динамическому равновесию, в котором сбалансированы процессы захвата ионов и выделения газов. Хотя ионы могут быть внедрены и в стекло, наиболее эффективными для захвата являются по- [c.211]

Согласно определению рабочие характеристики разборных вакуумных систем зависят от отношения большой быстроты откачки к заметной скорости газовыделения. Вследствие использования в системе различных конструкционных материалов выделение газов с разных участков системы неодинаково, в связи с чем распределение давления внутри колпака неоднородно. Не соответствующие реальным условиям низкие показания манометра можно получить, если ионизационный датчик расположен в области, где происходит преимущественно откачка газов, например, вблизи криопанели. В этом случае полученное из показаний прибора давление не соответствует интенсивности бомбардировки остаточными газами остальных частей системы, в том числе и подложки. Таким образом, метод получения очень низких давлений за счет большой быстроты откачки ка практике имеет существенные ограничения. Для достижения свервысоко-го вакуума интенсивности всех процессов газовыделения должны бьпь снижены по сравнению с теми, какие имеют место в описываемых динамических системах. [c.297]

Согласно определению, данному в работе [288], это такие системы , которые конструируются из материалов с малыми скоростями газовыделения и могут быть обезгажены до такой степени, при которой с помощью насоса средней производительности может быть получен вакуум не хуже 10 мм рт. ст. Оптимальной операцией, с точки зрения максимального по величине и наиболее быстрого во времени снижения скорости газовыделения, является отжиг всех внутренних элементов системы или, по крайней мере, ее камеры. Еще одно достоинство прогрева связано с тем, что при последующем за ним охлаждении происходит адсорбция остаточных газов до полного насыщения поверхности, в результате чего быстрота откачки системы временно увеличивается. [c.298]

Быстрота откачки сорбирующих поверхностей зависит от коэффициента прилипания молекул, который определяют как отношение действительной удельной быстроты откачки к теоретически максимальной [11,6 л/(сек-см )1 определенной в предположении поглощения титаном всех молекул, соударяющихся с его поверхностью. На поверхности титана происходит хемосорбция с предварительной диссоциацией молекул газа на атомы. Титан образует с газами N2, О2, Н2 твердые нелетучие соединения, устойчивые при комнатной температуре. Не соединяются с титаном инертные газы Ые, Аг, Не с заполненными верхними электронными оболочками. При комнатной температуре на поверхности титана происходит реакция Н2- 2Н сорбированный атомарный водород активен и образует метан СН4, дей-терометан и другие летучие углеводороды, атмосфера которых определяет предельный вакуум сорбционных титановых насосов. При этом коэффициент прилипания порядка 0,1, так как при диссоциативной сорбции для каждой молекулы требуется наличие двух близких активных центров. I [c.43]

За быстроту откачки паромасляного a o a принимается быстрота откачки в сечении входного фланца насоса, т. е. объем газа, проходящий через сечение в единицу времени и измеренный при определенном давлении в этом сечении. [c.185]

В гл. 9 указаны методы определения иропускной способности трубопровода и быстроты откачки объекта, а также некоторые вопросы расчета вакуумных систем. Здесь же отметим, что второму условию вакуумная система сможет удовлетворить, если сопротивление трубопровода (включая откачную трубку объекта) оведено к минимуму и насос обладает достаточно большой быстротой действия. [c.278]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология