Летучие неорганические гидриды

Широкое применение летучих неорганических гидридов для получения особо чистых металлов, выращивания и легирования эпитаксиальных полупроводниковых пленок обусловливает непрерывный рост требований к степени чистоты этих соединений [1, 2]. [c.161]

Содержание металлов (вес. %) в виде взвешенных частиц в летучих неорганических гидридах [c.164]

Основные научные исследования посвящены проблеме получения и анализа высокочистых веществ. Изучал термодинамику предельно разбавленных растворов, внес существенный вклад в теорию процессов глубокой очистки веществ методами ректификации, термодиффузии, противоточной кристаллизации из расплава. Разработал методы глубокой очистки летучих неорганических гидридов, хлоридов и металлоорганических соединений. Исследовал процесс глубокой [c.167]

ГЛУБОКАЯ ОСУШКА ЛЕТУЧИХ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ГИДРИДОВ НА СИНТЕТИЧЕСКИХ ЦЕОЛИТАХ [c.63]

Для исследования взят образец цеолита СаА-4В. Выбор цеолита обусловлен тем, что при облучении нейтронами натрий сильно активируется с образованием изотопа 2 Ка, обладающего] радиоактивным излучением высокой энергии. Это затрудняет работу с цеолитом КаА, который рекомендован нами для осушки летучих неорганических гидридов. Но так как цеолиты Ка А и СаА изготовляются по сходной технологии (ионы натрия на определенном этапе производства цеолитов замещаются ионами кальция, образец цеолита СаА имел степень обмена ионов Ка — 75—80%), состав примесей в обоих цеолитах примерно одинаков. Переход же примесей из цеолита СаА, по-видимому, должен осуществляться легче, чем из цеолита КаА, поскольку молекулы очищаемого гидрида проникают в сорбционные полости первого и не проникают в полости второго. [c.70]

ТВЕРДЫЕ ВЗВЕШЕННЫЕ ЧАСТИЦЫ В ЛЕТУЧИХ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ГИДРИДАХ [c.161]

Как видно из табл 3, летучие неорганические гидриды содержат примеси натрия, меди, магния, бора, алюминия, железа, марганца, кремния, никеля на уровне 1-10 —1-10- вес.%. Эти элементы, как показали результаты электронно-графического анализа, входят в состав взвешенных частиц в виде хлори- [c.164]

Относительная чувствительность определения углерода, водорода и воды в газах хроматографическим методом составляет не более 10 —При меньших концентрациях применяют различные способы концентрирования примесей [1], что ведет к усложнению процесса анализа, увеличению его длительности и расхода пробы. Абсолютная чувствительность при этом не возрастает и составляет порядка 10 —10 г. Применение электрического разряда позволило нам разработать методики хроматографического определения углерода в летучих неорганических гидридах, инертных газах, водороде и азоте, а также водорода и воды в гелии, аргоне и азоте с относительной чувствительностью до 1 10 % и абсолютной до 10 г. Значительное повышение чувствительности определения углерода, водорода и воды в газах достигнуто за счет перевода их под действием электрического разряда в метан и ацетилен с последующим фиксированием их пламенно-ионизационным детектором (ПИД). Наблюдаемый эф кт обусловлен более высокой чувствительностью ПИД к метану и ацетилену, чем катарометра к двуокиси углерода, водороду и воде. На рис. 1 представлена хроматограмма примесей водорода и воды в гелии, полученная с применением (а) и без применения (б) электрического разряда. [c.202]

Определение углерода в летучих неорганических гидридах проводили при давлении гидрида в разрядной камере, равном 6,6 кПа. При анализе гелия, аргона и азота их предварительно [c.205]

Глубокая осушка летучих неорганических гидридов на синтетических цеолитах. ...................... [c.262]

Твердые взвешенные частицы в летучих неорганических гидридах. ............................ 161 [c.263]

Широкое применение летучих неорганических гидридов для получения особо чистых металлов и полупроводников обусловливает непрерывный рост требований к степени чистоты этих соединений. Показано, что гидриды загрязнены твердыми частицами, состоящими из нелетучих соединений. Количество твердых частиц и распределение их по размерам определялись с помощью электронно-микроскопического анализа. Показано, что при нормальных условиях в 1 л газообразного гидрида содержится от 4-106 до 5.1О частиц диаметром 0,02—2 мкм. Распределение числа частиц в гидридах по размерам хорошо описывается логарифмически — нормальным законом. Взвешенные частицы состоят в основном из двуокиси кремния и окислов элементов, входящих в состав исходных веществ. [c.271]

Необходимый в настоящее время уровень глубокой очистки веществ может быть достигнут только с использованием многоступенчатых методов разделения смесей. Наибольшее применение сейчас находят днстилляционные и кристаллизационные методы. С повышением температуры плавления и температуры кл-пения очищаемого вещества возможности этих методов быстро уменьшаются из-за загрязняющего действия материала аппаратуры. Особо чистые простые вещества (так называемые элементы особой чистоты), которые все еще являются основным объектом исследования в области получения веществ особой чистоты, в значительной части представляют собой или тугоплавкие металлы, или металлоиды, с атомной кристаллической решеткой, обладаю-шие высокими температурами кипения и плавления. Трудности подбора материала аппаратуры для работы с такими веществами становятся непреодолимыми. Поэтому для глубокой очистки простых веществ все большее распространение получает метод, состоящий в выделении их из особо чистых сложных летучих веществ, имеющих молекулярную кристаллическую решетку и, как следствие этого, низкие значения температуры плавления и температуры кипения. Выделение производится путем термораспада сложного соединения или путем восстановления его водородом. Продукты распада и исходное вещество должны иметь существенно более высокую летучесть, чем выделяемый элемент, чтобы от них можно было освободиться простым испарением без применения многоступенчатого процесса очистки. Этим требованиям в значительной мере удовлетворяют летучие неорганические гидриды, галиды и металлоорганические соединения (МОС). [c.3]

Летучие неорганические гидриды — наиболее удобные соединения для получения элементов особой чистоты. Они могут быть [c.3]

НЕКОТОРЫЕ ВОПРОСЫ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕТУЧИХ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ГИДРИДОВ ОСОБОЙ ЧИСТОТЫ [c.70]

Расширение областей применения особо чистых материалов выдвинуло В число важнейших химических проблем разработку методов глубокой очистки элементов или их соединений. В связи с тем, что процессы разделения смесей, протекающие с участием жидкой или паровой фазы, более эффективны, чем методы разделения компонентов твердых растворов, общие требования к очищаемым материалам сводятся к возможности перевода их в летучие соединения и к работе с такими соединениями в технологически доступном интервале температур. Химическое соединение, очищаемое с целью последующего получения из него простого вещества, должно дополнительно удовлетворять требованию возможно длительного хранения при обычных условиях. Всем указанным требованиям удовлетворяют летучие неорганические гидриды, за небольшими исключениями [1]. [c.70]

Физико-химические свойства летучих неорганических гидридов не ставят принципиальных затруднений применению для них известных методов анализа газовых смесей. К настояш ему времени показана применимость и разработаны методики определения летучих и малолетучих примесей в гидридах хроматографическим, масс-спектрометрическим и другими методами анализа. [c.75]

Метод термодистилляции оказался весьма эффективным методом глубокой очистки ряда веществ от содержащихся в них примесей в виде мельчайших взвешенных частиц субмикронного размера ( 10 —10 мкм). Такие частицы могут иметь различную природу, обусловленную их происхождением (химические реакции термораспада или гидролиза, диспергирование конструкционных материалов, окружающая среда и т. д.) они практически присутствуют во всех веществах — газообразных, жидких и твердых. Установлено, например, что взвешенные частицы, находящиеся в летучих неорганических гидридах и хлоридах, на основе которых получают некоторые материалы для полупроводниковой техники и волоконной оптики, состоят в основном из оксидов различных элементов. Внося существенный вклад в суммарное содержание примесей, взвешенные частицы оказывают отрицательное влияние на электрофизические и оптические свойства этих материалов. [c.183]

С термодинамической точки зрения, низшие летучие неорганические гидриды, за исключением метана и сероводорода, являются нестойкими соединениями и разлагаются при сравнительно невысокой температуре. Последняя зависит от природы гидрида и колеблется для большинства гидридов в интервале 150—350 °С. Относительно низкая температура разложения гидридов позволяет обеспечить стерильность этого процесса, что весьма вансно при получении веществ высокой чистоты. [c.194]

Для осуществления дифференциального метода требуются (по сравнению с циркуляционным методом) небольшие количества исходных веществ. Хотя данный метод, как и эбуллиометричес-кий, является косвенным, он весьма удобен при работе с веществами, которые при обычных условиях являются газами. Так, дифференциальный метод с успехом был использован при исследовании бинарных систем на основе летучих неорганических гидридов [87—90] для изучения возможности глубокой очистки последних дистилляционными методами. По-видимому, он является также перспективным при рассмотрении вопросов разделения [c.51]

Некоторые фиаико-химическив константы летучих неорганических гидридов [c.195]

При идентификации углеродсодержащих примесей, а также примесей мышьяка и серы в летучих неорганических гидридах можно использовать метод термического разложения гидридов с последующим анализом характера распределения примесей между аморфной и кристаллической частями получаемого при разложении металла. Так, при термическом разложении моногермановодорода образуется два твердых продукта — аморфный германий, представляющий собой соединение, насыщенное водородом, с общей формулой (ОеНо,оп-о,1)ж и кристаллический германий (зеркальная поверхность металла на подложке). Примеси, находящиеся в моногермановодороде, также разлагаются, при этом аморфная и кристаллическая твердые фазы германия по-разному влияют на механизм и кинетику разложения примесей. В соответствии с этим преобладающая примесь будет концентрироваться в одной из твердых фаз, что можно характеризовать коэффициентом распределения О [c.68]

В сборнике нашли отражение и результаты исследований химических и электрохимических методов очистки, в том числе п хорошо зарекомендовавшего себя метода химических транспортных реакций. Известно, что с помощью химических методов может быть достигнута очень высокая степень очистки, если свойства основного вещества и примесей существенно различны. Но отсутствие разработанных схем осуществления химических методов с использованием принципа противотока делает их малоэффективными для очистки веществ от близких к ним по свойствам примесей. Химические реакции с успехом используются для перевода основного вещества и примесей в такие соединения, которые легко могли бы быть разделены. Этот принцип лежит в основе известного метода получения простых веществ (элементов) особой чистоты через их летз ие соединения, представленного в настоящем сборнике работами по исследованию глубокой очистки и разложению летучих неорганических гидридов, галидов и металлоорганических соединений. [c.4]

Возможность применения сорбционного метода осушки летучих неорганических гидридов (ОеН4, АзНз, РН3, НаЗ) синтетическими цеолитами определяется не только селективностью сорбции влаги, но прежде всего стабильностью очищаемых гидридов при сорбции и десорбции. Сопоставляя факт наличия на поверхности цеолитов специфичных химически активных функциональных групп со значительной реакционной способностью гидридов, нельзя априори быть уверенным в стабильности гидридов при сорбции на цеолитах. [c.63]

Как видно из рис. 1—3, адсорбция летучих неорганических гидридов СеН4, АзНз, РНз, НгЗ на цеолитах КаХ, СаА и Н2 на цеолите NaA обратима и удовлетворительно описывается уравнением [c.63]

Адсорбцию паров воды из летучих неорганических гидридов изучали в динамических условиях на установке, выполненной из нержавеющей стали Х18Н9Т. Содержание влаги в гидридах находили измерением точки росы , что достаточно надежно позволяло определять влажность в гидридах до 1 10 масс.% (точка росы —50° С). Опыты по адсорбционной осушке гидридов на цеолитах NaX, СаА и КаА проводили при различных высотах слоя сорбента, скорости газового потока и влажности газа методом выходных кривых снятия зависимости влажности выходящего газа от времени. [c.67]

Принципиальные трудности количественного анализа летучих неорганических гидридов и хлоридов при анализе микропримесей состоят в необходимости учета влияния или в устраненип влияния основного компонента. В хроматографии с целью уменыпения или устранения маскирующего действия зоны основного компонента отводят его мимо детектора, либо связывают взаимодействием с неподвижной фазой или селективными реагентами, либо, наконец, термически разлагают. Это диктуется в основном высокой реакционной способностью гидридов и хлоридов. [c.169]

Распад всех гидридов, за исключением сероводорода, селено-водорода и теллуроводорода, протекает с увеличением числа молей газообразных веществ. Отсюда следует, что термораспад гидридов может иметь взрывной характер [51—54]. Необходимо отметить также высокую токсичность гидридов. Все это создает определенные трудности в использовании гидридного метода получения элементов особой чистоты, вследствие чего в промышленном масштабе он находит ограниченное применение [45]. Тем не менее исследования по применению гидррщного метода ввиду его больших потенциальных возможностей в отношении чистоты полученного элемента проводятся и в настоящее время. Так, в работах [55, 56] показано, что олово и сурьма, полученные гидридным методом, имеют более высокую чистоту, чем аналогичные образцы этих металлов, полученные другими методами, хотя гидриды указанных элементов относятся к термодинамически наименее устойчивым в ряду летучих неорганических гидридов. [c.16]

Уравнением (5.80) можно воспользоваться для определения постоянной термодиффузии аг(2) интересующей смеси газов, если постоянная термодиффузии ат ) другой смеси известна, например определена двухбаллонным методом. Для этого вначале определяют зависимость разделительной способности колонны от давления для смеси с известным значением ата) находят октах)- Затем колонна откачивается и в нее вводится вторая смесь, для которой также определяется Fo2(max)- Данная методика была с успехом использована для определения постоянных термодиффузии смесей летучих неорганических гидридов [103], смесей инертных газов [109], смесей изотопов водорода [107], смесей изотопов кремния (моноси-лан) [108]. [c.308]

Глубокая очистка летучих неорганических гидридов проводится в насадочных колоннах периодического действия с одним или двумя кубами 2, 14]. Схема двухкубовой колонны, работающей в режиме отбора примесей из испарителя, приведена на рис. 1. Применительно к такой колонне выражение (1) можно записать следующим образом [c.73]

Возможности получения особо чистых халькогеноводородов во многом определяются разработанностью методов определения в них микропримесей. В литературе отсутствуют данные о методах анализа сероводорода, селеноводорода и теллуроводорода на содержание микропримесей. Как и для других летучих соедине-нений, для халькогеноводородов наиболее пригодными являются масс-спектрометрический и газохроматографический методы анализа. Масс-спектрометрия применялась для качественного анализа сероводорода и селеноводорода [23]. Возможности масс-спектрометрии для качественного определения микропримесей в халькогеноводородах весьма значительны. В сероводороде беспрепятственно определяются примеси всех летучих неорганических гидридов, кроме фосфина, углеводороды, перманентные газы, кроме кислорода. [c.86]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология