Очистка подложек растворителями

Для удаления всех этих загрязнений можно использовать жидкостную очистку, высокотемпературное окисление, плазменные методы и шлифование. При жидкостной очистке применяют растворы кислот, оснований и органические растворители (спирты, кетоны, хлорированные углеводороды, фреоны и др.). Воду и незначительные количества диоксида кремния можно удалить при 1000°С в кислороде, вакууме или восстановительной атмосфере. Метод нельзя использовать в случае, когда высокая температура изменяет свойства подложки, например, диффузионных слоев. Диоксид кремния, кроме того, удаляют плавиковой кислотой с добавками или травлением плазмой. Для других неорганических загрязнений используют сильные неорганические кислоты или окислительные смеси типа хромовой. Жидкостная очистка производится погружением, обработкой парами растворителя, ультразвуком и пульверизацией. Очистка парами растворителя очень распространена и эффективна, особенно если сочетается с пульверизацией. Рекомендуется использовать негорючие растворители (фреоны, хлорированные углеводороды), [c.16]

Процесс очистки подложки требует, чтобы были разорваны связи как между молекулами самой примеси, так и между молекулами этой примеси и подложки. Это может быть достигнуто как химическими средствами, например, очисткой в растворителе, так и приложением достаточной энергии для испарения примеси, например, нагревом или ионной бомбардировкой. Как правило, желательно ограничить процесс очистки удалением только слоя загрязнения, однако часто оказывается приемлемым также и слабое подтравливание материала самой подложки, что обеспечивает лучшее качество процесса очистки. Некоторые методы очистки требуют обработки подложки или использования растворителей и поэтому должны применяться вне вакуумной системы. Осуществление методов физической очистки обычно сопровождается установкой оборудования для нагрева подложки или бомбардировки ионами в напылительной системе. [c.538]

Для повышения скорости и эффективности удаления загрязнения обычно применяется нагрев или ультразвуковое возбуждение растворителя. Очистка горячим растворителем чаще всего осуществляется обезжириванием паром, т. е. подложка помещается над кипящей жидкостью в закрытом контейнере. Восходящий пар растворителя конденсируется на очищаемом объекте, нагревая его и увеличивая скорость растворения поверхностных загрязнений. В то время как отработанный раствор стекает обратно в ванну, свежий и чистый дистиллат воспроизводит процесс. [c.539]

Основное достоинство метода с применением подложки состоит в том, что полимер (вместе со всеми присоединенными веществами) легко отделить от остальных реагентов, так как он нерастворим в применяемых растворителях. Избыток реагентов, другие продукты реакции (например, дициклогексил-мочевина), побочные продукты и сами растворители можно легко отмыть. Очистка полимерных веществ (таких, как 100, 101 и 102) происходит быстро и полностью. В некоторых слу- [c.156]

Очистка ультразвуком в растворителе является одним из самых эффективных методов удаления загрязняющих частиц. Обычно используются акустические колебания с частотой 20000—50000 Гц, которые вызывают образование в жидкости огромного количества микроскопических пузырьков воздуха, механически удаляющих адсорбированные пленки и частицы загрязнений. Преимуществом метода является возможность автоматизации и высокая скорость очистки (порядка минут), недостатком — переход частиц в растворитель и необходимость частого фильтрования, а также возможность механического нарущения нанесенных на подложку слоев. [c.17]

Удаление жировой пленки органическими растворителями ос новано на способности послед них растворять жировые загрязнения благодаря сродству химической структуры их молекул. Минеральные масла растворяются в углеводородах, растительные масла — в спиртах. После промывки и испарения растворителя на поверхности подложки вновь образуется пленка загрязнений, ранее растворенных в испаренном слое. Поэтому для финишного обезжиривания особое значение имеет удаление с поверхности подложки остатков моющего состава со следами удаляемой жировой пленки (финишная очистка). [c.128]

Финишная очистка в парах растворителя основана на конденсации пара растворителя на холодных подложках, помещенных на пути потока пара в замкнутом объеме установки. Конденсат растворяет остатки жировых загрязнений и стекает в испаритель, где вновь испаряется, отделяясь от загрязнений. [c.128]

Объектом исследования была гуттаперча — легко кристаллизующийся полимер. Очистку полимера производили по методу, описанному в работе [10]. Пленки для испытания готовили из расплава (температура прессования 150 и 80°, давление 40,6 кГ/см ) и из раствора (температура испарения 70 и 20°). В качестве растворителей были использованы бензол, СС и тетрахлорэтан. Плепки из раствора получали в стеклянном цилиндре (диаметром 73 мм) на подложке из целлофана. В верхней крышке цилиндра имелись отверстия. Чем больше был диаметр отверстий, тем скорее улетучивался растворитель. В результате испарения растворителя получали однородные пленки. [c.395]

Ультразвуковые колебания подложки от 20 кгц до 500 Мгц приводят к кавитации, т. е. к возникновению на ее поверхности огромного количества немедленно взрывающихся пузырьков, что приводит к отрыву и удалению частиц загрязнений. В специальной литературе подробно приводится рецептура различных растворителей и травителей для очистки подложек [374—376]. [c.199]

Насадке в колонке предназначается роль инертного материала с достаточно развитой площадью поверхности, служащего подложкой для полимера в виде тонкой набухшей в растворителе пленки. Чаще всего в качестве насадки применяют маленькие стеклянные шарики [1—3, 7]. Обычно размеры таких шариков лежат в области 40—70 мк, хотя можно проводить фракционирование и на шариках других размеров. Перед загрузкой в колонку шарики необходимо очистить. Загрязнения могут представлять собой как органические вещества, так и металлы. Весьма эффективный способ очистки заключается в многократном промывании шариков горячей концентрированной соляной кислотой до тех пор, пока надосадочная жидкость не перестанет иметь желтоватый оттенок. После этого шарики отмывают горячей азотной кислотой, водой и летучим растворителем типа ацетона. В качестве носителя при фракционировании также применяют крупнозернистый песок [6]. Медный порошок крайне заманчиво использовать в качестве носителя с точки зрения высокой теплопроводности меди, но нри этом возникает опасность каталитических реакций с полимером [8]. [c.88]

Подложки очищают до и после помещения в вакуумную камеру. Наиболее детально исследованы способы очистки стеклянных подложек. До помещения в вакуумную камеру стеклянные подложки обрабатывают кислотами или специальными растворителями [Л. 6] или промывают в растворе едкого кали или едкого натра с последующей обработкой в смеси, состоящей из размельченного двухромовокислого калия, растворенного в концентрированной серной кислоте (хромпике). Более эффективная очистка достигается промывкой в течение 1—2 мин в 1—2%-ном растворе плавиковой кислоты с последующей многократной промывкой в воде. Перед установкой подложки в вакуумную камеру иногда применяют дополнительную очистку активированным углем. Для этого стекло в течение 1—2 мин протирают порошком активированного угля, нанесенного на фильтровальную бумагу или ватный тампон [Л. 4]. Кроме этих способов, применяется травление в соляной кислоте, обработка в парах изопропилового спирта, очистка с помощью ультразвука в растворе перекиси водорода и др. [c.37]

Катализаторы вводят в зо 1у реакции в виде порошка, раствора в органическом растворителе, расплава или нанесенном на минеральные подложки. Они отличаются высокой термической стабильностью (до 770-875 К), пониженной чувствр1тельностью к примесям, низкой кислотностью, что определяет отсутствие корродирующего действия. По этому способу легко перерабатываются любые по составу фракции ПИБ без специальной предварительной очистки (570-675 К) и достигается высокая (80-95%) конверсия при среднем содержании изобутилена в продуктах 75-95% и а, Р-бутиленов не выше 2,2%. Содержание кокса незначительно и в худшем случае составляет не более 0,02-0,03% (масс) от общего количества переработашюго сырья. Некоторые данные, характеризующие активность и селективность солевых комплексных катализаторов в форме кислоты Бренстеда при термокаталитической деструкции полиизобутилена и бутилкаучука, суммированы в табл. 7.15. Метод термокаталитической деструкции нестандартных ПИБ позволяет повысить эффективность производства олигомеров изо- [c.352]

В индивидуальных фильтрах для тонкой очистки воздуха используют фильтры Петрянова (ФП) с тканью Петрянова, состоящую из ультратонких полимерных волокон, сформированных в виде ткани на марлевой подложке В настоящее время изготавливают много видов ФП Так ФПП из перхлорвинила и фторполиме-ров обладают устойчивостью к кислотам и щелочам ФПП из полиакрилонитрила стойкие к органическим растворителям Но эти ФПП выдерживают температуру только до 60°С и поэтому их стерилизуют формалином с последующей нейтрализацией аммиаком В последние годы разработаны ФП, стойкие к высоким температурам ФПАР (полиакрилатные) и ФПФС (полифторстиро-ловые) выдерживают температуру до 250—270°С, их стерилизуют острым паром [c.322]

Весьма эффективными являются также промежуточные адгезионные слон, получаемые на металле из раствора полимеров [67, 68]. Процесс получения изделий литьем под давлением при использовании подслоев из полимерных растворов включает операции очистки арматуры от загрязнений (предпочтительна механическая очистка), нанесения на нее раство.ра полимера, нспаренпя растворителя, нагрева арматуры до температуры, превышающей температуру плавления материалов подслоя и адгезива, установки арматуры в форму и заливки ее расплавом. Промежуточный слой при этом наносят на поверхность арматуры в виде иленкп толщиной 0,1 —1,5 мкм из 0,5—2%-ного раствора полимера, содержащего в составе макромолекул амидные группы. При формированип подслоя природа применяемого растворителя и концентрация раствора не оказывают существенного влияния на адгезионную прочность. Растворитель должен быть химически инертным по отношению к подложке, легко удаляться из подслоя при нагревании, а раствор полимера в нем с целью увеличения площади фактического контакта должен иметь минимальную вязкость. Этим объясняется необходимость использования разбавленных до ,1—2% (масс.) растворов. [c.124]

Очистка растворителями. Реагентами, используемыми для очистки подложек, служат водные растворы кислот и щелочей, а также такие органические растворители, как спирты, кетоны и хлористые углеводороды. Эффект очистки кислотами обусловлен превращением некоторых окислов и жиров в растворимые в воде соединения. Щелочные агенты растворяют жиры омыливанием, что делает их смачиваемыми в воде. Однако использование кислот и щелочей имеет свои ограничения. Их способность реагировать со стеклами была обсуждена в разд. 4В. Для химически инертных и слабо травящихся подложек нужно принимать меры против образования осадков и адсорбции молекул растворителя. Неорганические соединения часто бывают нелетучими и, следовательно, последующим нагревом в вакууме не могут быть удалены. Примером может служить удержание адсорбированного хрома на поверхностях стекла, очищенного "в горячих смесях серной и хромовой кислот. В растворах плавиковой кислоты, часто используемых для удаления нерастворимых осадков путем растворения тонкого слоя нижележащего стекла, образуются загрязнения в виде сильно адсорбированного фтора [97]. Индикатором этого является фтор, наблюдаемый в масс-спектрометре даже после того, как обработанное стекло было прогрето в вакууме при 325° С в течение 36 ч [98]. Проблема выпадения осадка может возникнуть и при использовании органических растворителей. Патнер [99] наблюдал слабую адгезию пленки на стеклянных подложках, очищенных четыреххлористым углеродом и трихлорэти-леном. После очистки поверхность покрывалась беловатым осадком, который не мог быть удален нагревом. Именно поэтому установлено, что хлоридные пленки образуются реакцией стекла с растворителями. [c.538]

При ультразвуковой очистке растворение осадка увеличивается интенсивным локальным перемешиванием с помощью ударных волн, создаваемых в растворителе. Таким образом, растворитель, насыщенный примесями, непрерывно удаляется с поверхности подложки, и на смену ему поступает свежая, менее насыщенная жидкость. Далее, механические вибрации, создаваемые в подложке, помогают в удалении таких микро-загрязнений, как чешуйки ряда материалов. Параметрами, определяющими эффективность ультразвуковой очистки, являются частота колебаний, пр -ложенная мощность, тип и температура растворителя, его поверхностнее натяжение и вязкость, наличие ядрообразующих веществ и растворенных газов. Понижение давления газа над рабочей жидкостью может быть вредным в одних случаях, но полезным в других [99]. Примером первого действия является удаление растворенных газов, которые служат ядрам i для образования центров кавитации, и их уменьшение в результате эффектов кавитации [100]. Примером второго действия является удаление воздуха, захваченного в образцах сложной формы или слегка пористых подложках, помогающее осуществлению более полного смачивания. [c.539]

Сравнение очистки парами ряда растворителей и ультразвуковой очистки в изопропиловом спирте было проведено Патнером [99]. Хотя очисткой в парах изопропилового спирта он и получил самые чистые поверхности, все же низкочастотное ультразвуковое возбуждение оказалось наи более эффективным при удалении таких крупных поверхностных загрязнс ний, как частицы различных материалов и отпечатки пальцев. Очисткл моющими растворами оказалась наименее эффективным способом. Обсуждая эти результаты, Холлэнд [58] предположил, что решающим фактором является более высокая температура растворителя и подложки, достигаемая при очистке в парах. [c.539]

Очистка масок. Все маски, независимо от материала, из которого они изготовлены и технологии их получения, перед использованием необходимо подвергать тщательной очистке и контролю. Частицы пыли, волокна или отходы, образующиеся в результате меха (пческой обработки, могут привести к образованию разрывов в иапылетюм рисунке микросхемы. Загрязнения поверхности, в частности, масляные, жировые пятна или другие органические вещества в процессе нагревания маски могут испаряться н конденсироваться на подложке, что может служить причиной плохой адгезии пленки к подложке. Обычные способы очистки масок сострят из обезгаживания или обработки ультразвуком в органических растворителях или водных моющих растворах. [c.564]

Синтез полиарилатов изо- и терефталевой кислот и фенолфталеина, с которыми было проведено это исследование, осуществлялся в среде дитолилметана в токе азота при следующем температурном режиме нагрев от 100 до 220° С в течение 3 ч, затем выдержка при 220° С в продолжение 7—13 ч. Для очистки полученный полимер растворяли в хлороформе и осаждали петролейным эфиром, отфильтровывали, промывали последовательно ацетоном, метанолом и серным эфиром и выдерживали при 70—80° С до полного испарения растворителей. Пленки полиарилатов получали из их раствора в хлороформе раствор выливали на гладкую целлофановую подложку, с которой хлороформ медленно испарялся. [c.32]

В методе ТСХ имеются свои трудности и ограничения. Одного этого метода недостаточно для полной и точной идентификации органических веществ-загрязнителей, экстрагируемых из водных истем. ТСХ следует использовать в сочетанииХС некоторыми другими аналитическими методами. Невозможно разработать простую и универсальную методику для выделения и разделения, например, всех классов органических пестицидов. Более того, подчас возникают трудности при разделении смеси пестицида и продуктов его разложения. То же можно сказать о фенолах, детергентах и т. д. В связи со значительной разницей в полярностях индивидуальных соединений использование однокомпонентных элюентов для ТСХ-разделения крайне нежелательно. Чтобы подобрать оптимальные условия разделения применительно к конкрет ной системе, необходимы предварительные опыты. Для каждой рассматриваемой системы следует определять Rf. При анализе следов веществ часто возникают ошибки, связанные с недостаточно высокой техникой эксперимента. Бевеню с сотр. [36] успешно исследовали многие проблемы, возникающие при проведении лабораторных анализов проб воды. Исследователи имели дело в основном с органическими пестицидами, но полученные ими результаты можно распространить на другие вещества-загрязнители. Первая проблема связана с размером пробы. Если экстрагируют небольшую быстро отобранную пробу объемом до 3,8 л, то из-за малого количества выделяемого вещества-загрязнителя становится невозможным детектирование с помощью проявляющего реагента, поскольку опрыскивание обычно дает результаты для микрограммовых количеств. Вторая проблема связана с удалением зоны вещества с подложки и элюированием вещества растворителем для последующего газохроматографического анализа. Посторонние помехи ( шумы ) усиливаются на диаграмме регистратора, если не принять специальных мер по полной очистке от органических загрязнений растворителей, стеклянной посуды и другого оборудования, а также ТСХ-адсорбентов. Так, органические растворители с маркировкой чистые нельзя использовать для анализа следов пестицидов, присутствующих в нанограммовых или пикограммовых количествах. Эти растворители перед использованием необходимо дважды перегонять в системе из стекла. [c.500]

Мономерный ( )талоцианин кобальта был синтезирован из (Ьтало-питрила и уксуснокислого кобалыа. В дальнейшем он был очищен органическими растворителями и переосаждением из концентрированной серной кислоты. Окончательная очистка металлфталоцианина проводилась возгонкой в вакууме при температуре 450°(]. РсСо был спектральной чистоты и имел удельное сопротивление 4 10 ом-см. Нанесение катализатора на подложку осуществлялось без связующего из концентрированной серной кислоты с последующим разбавлением раствора. [c.27]

Обезжиривание поверхности перед электроосаждением является обязательной технологической операцией. В зависимости от степени зажиренности и металла подложки применяют обработку органическим растворителем, водным щелочным раствором или эмульсионным составом /43, 49, 52/. Органические растворители дают высокое качество обезжиривания. При их применении отпадает проблема очистки сточных вод. Рекомендуется пользоваться негорючими растворителями, такими, как трихлорэтилен, тетрахлорэтилен, хладон-113, хладон-30. Процесс обезжиривания этими растворителями приведен в ряде отечественных работ /43, 52/. В технологии электроосаждения этот способ используется сравнительно редко. Требование к поверхности, обезжиренной этим методом, - отсутствие следов растворителя. [c.44]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология