Генераторы для травления

Установка для травления полимеров (рис. 7.8) состоит из генератора высокочастотных колебаний, вакуумного агрегата и разрядной камеры. В качестве энергетического блока, питающего высокочастотный разряд, может быть использован любой генератор высокочастотных колебаний от 1 МГц и выше и выходной мощностью 30—200 Вт. Желательно, чтобы связь генератора с разрядной [c.112]

Травление полимера проводят на установке линейного без-электродного высокочастотного разряда согласно инструкции по проведению работы на этой установке. Полимерный образец с чистотой поверхности V —У8, укрепленный на предметном стек- ле, помещают в разрядную камеру и подвергают вакуумированию в течение 10—15 мин для удаления адсорбционной влаги и посторонних веществ. После достижения предельного разрежения в камеру вводят рабочий газ, например кислород, и следят, чтобы вакуум в камере был не ниже 0,667—66,7 Па (5-10 —5-10 мм рт. ст.). Затем включают и настраивают на заданный режим работы генератор ВЧ колебаний. Режим работы генератора ВЧ зависит от его выходных параметров. Через каждые 10—15 мин работы генератора его необходимо отключать на 5—7 мин для более полного удаления продуктов деструкции с поверхности объекта травления и из разрядной камеры, а также для предотвращения возможного нагрева образца. Удаление верхнего слоя и достижение необходимой рельефности поверхности полимера достигается через 45— 60 мин активного времени работы установки. При правильном подборе параметров работы установки температура поверхности образца составляет 30—40°С, а оптимальная концентрация электронов составляет примерно от 10 до 10 см . Для оценки режима травления обычно подвергают контрольному травлению полимер с известной морфологией. Полученное изображение структурной организации полимера сравнивают с известным. [c.115]

Кинетика и механизм диффузионных процессов представляют огромный интерес для полупроводниковой электроники, техники квантовых оптических генераторов, процессов изготовления микроминиатюрных устройств, твердых и пленочных схем. Изготовление активных элементов полупроводниковых схем и р—/г-переходов (см. гл. IX) основано на диффузии легирующих примесей в полупроводниковый монокристалл из газа или расплава. Этот процесс сводится к налета-нию молекул (атомов) из газовой фазы и к диффузии их внутрь кристалла. Второй процесс медленнее первого. А так как диффузия примесей протекает по уравнениям первого порядка, то весь процесс псевдо-мономолекулярный. Таков же характер процесса травления полупроводника, если диффузионная стадия самая медленная. В этих случаях особую роль играет закон анизотропии кристаллов (см. гл. IV), так как диффузия в кристаллах идет с разной скоростью в разных направлениях. Скорость роста кристаллов, скорость окисления кислородом, скорость травления зависят от того, какая грань подвергается воздействию. Например, доказано 178], что различные грани кристаллов вольфрама обладают разной активностью по отношению [c.49]

Закон анизотропии, справедливый для всех без исключения кристаллов, гласит векторные свойства кристаллического вещества в любой точке объема в параллельных и симметричных направлениях одинаковы, в других направлениях различны. Законом анизотропии руководствуются а производстве оптических квантовых генераторов, в различных технологических процессах обработки монокристаллов полупроводников, например при резании их по определенным плоскостям, при травлении, при приготовлении так называемых р—л-переходов (см. гл. IX) и т. п. Для кварцевых резонаторов и ультразвуковых генераторов надо вырезать пластины кварца по определенным направлениям в зависимости от конкретных задач. [c.116]

Гроб [7] обнаружил, что неполярные жидкие фазы типа апиезон можно наносить на необработанную поверхность стеклянных капилляров, вытянутых обычным способом, и что полярные жидкие фазы отталкиваются такими поверхностями. Он предложил модифицировать внутреннюю поверхность капилляра травлением и затем заполнять колонку азотом, насыщенным (при 0°С) дихлорметаном. После этого запаянную колонку следует нагреть до высокой температуры, дихлорметан в ней разложится, и образуется карбонизированная поверхность, на которую затем надо нанести неподвижную жидкую фазу. Сам Гроб предпочитает обрабатывать колонку, осаждая на ее поверхности карбонат бария (см. ниже), однако некоторые исследователи продолжают успешно применять карбонизацию. Нота и сотр. [27] считают, что проще осаждать на внутренних стенках колонки слой графита. Для этого они предлагают диспергировать ультразвуковым генератором графит в дихлорметане и при помощи насоса прокачивать полученный коллоидный раствор сквозь колонку. [c.38]

Разработаны технологические процессы нанесения на поверхность алюминиевых деталей различных гальванических покрытий. Развитие электрохимических методов обработки проката в черной металлургии с целью защиты от коррозии неизмеримо увеличило масштабы производства, мощности генераторов постоянного тока низкого напряжения и регулирующей аппаратуры, внедрения автоматического контроля и регулирования основных технологических параметров различных процессов. К этим процессам относятся катодное и анодное обезжиривание, травление и электрополировка металлов, а также нанесение различных покрытий, в том числе лужение и цинкование листового металла, полосы и проволоки, и, наконец, оксидирование алюминия, магния и их сплавов. [c.10]

При электрохимической обработке рулонной стали, например при обезжиривании, травлении, лужении или цинковании, применяют способ подводки тока от нескольких параллельно работающих генераторов через поддерживающие или тянущие ролики. В случае электролитического травления (рис. 3-9) положительные зажимы генераторов включены параллельно на общую шину, соединяющуюся через подвижный контакт с роликами, через которые осуществляется контакт с обрабатываемой полосой. [c.96]

Так, в схеме рис. 3-10 травление полосы осуществляется в трех ваннах, в каждой из которых имеется поддерживающий ролик. Полоса в каждой из ванн образует петлю. Ток четырех генераторов по 6 000 а распределяется на четыре пары электродов, расположенных в двух травильных ваннах, электроды установлены по два на каждой стороне петли. В третьей ванне осуществляется промывка полосы после травления. Вторые зажимы четырех генераторов соединены параллельно и включены на землю и на входной и выходной ролики, расположенные над ваннами вне электролита. Ролики, помещенные в ваннах и поддерживающие полосу, изолированы резиной. [c.97]

Дано подробное описание технологических процессов, протекающих в жидкой фазе под действием мощного ультразвука ультразвуковой очистки, травления, диспергирования, гидроабразивного разрушения, обработки расплавленных металлов, кристаллизационной очистки металлов и полупроводниковых материалов, интенсификации гидрометаллургических процессов. Приведены данные об основных свойствах источников акустической энергии. Рассматриваются схемы основных типов ультразвуковых генераторов. Даны инженерные методы расчета и измерения основных параметров, а также результаты теоретических и экспериментальных исследований физических основ ультразвуковой технологии. Приведены схемы и описания ультразвуковой технологической аппаратуры. [c.2]

Анодное травление Генератор постоянного тока. Электрощит амперметр, вольтметр, реостат. Ванна хромирования. Вспомогательные штанги. Струбцины Электролит хромовый ангидрид 180—250 г л-, серная кислота 1,5—2,0 г л [c.98]

Учитывая, что показатели работы гидридной ванны практически мало зависят от способа получения гидрида натрия (в ванне травления при помощи генератора или путем введения в расплав гидридного продукта), и опыт эксплуатации ванн гидридного травления, снабженных генератором, следует ожидать при соответствующей организации труда, конструктивном оформлении процесса и соблюдении определенных технологических норм уменьшения расхода продукта на обработку металла в несколько раз. [c.6]

Процессы, происходящие в систе.мах щелочной металл — гидроксид щелочного металла в атмосфере водорода, лежат в основе ряда таких технологических процессов, как получение гидридных продуктов или гидрида натрия в ванне травления при помощи генератора, Они протекают в сложных многокомпонентных системах, которые в настоящее время исследованы недостаточно полно. [c.6]

Реакция взаимодействия металлического натрия с водородом в расплаве гидроксида натрия лежит в основе технологических процессов получения гидридного продукта и гидридного травления металлов с использованием генератора. [c.40]

Рассматриваются особенности процессов гидрирования металлического натрия в среде его гидроокиси при получении гидридного продукта в ванне или генераторе гидрида натрия. Установлено, что решающим фактором в этих процессах является увеличение поверхностей контакта газ—расплав и метал.т — расплав. Учет этого фактора позволяет резко повысить производительность оборудования при получении гидридного продукта и создании рабочих концентраций гидрида натрия в ваннах гидридного травления металлов. Освещены также вопросы, касающиеся конструктивных особенностей генератора гидрида натрия и системы диссоциации аммиака для приготовления азото-водородной смеси. [c.103]

В ряде случаев для очистки изделий после ковки, горячей прокатки, обжига и термообработки применяют гидридное травление. Изделия погружают в расплавленный едкий натр, в который из специального генератора подают гидрид натрия (продукт взаимодействия натрия и водорода). Очистка связана с протеканием реакции восстановления оксидов [c.296]

Оборудование трубчатая однозонная печь горизонтального типа с рабочей температурой до 1200°С ( Изоприн — ЖКМ-30/700, ЛЭТО, СУОЛ-0,4.4/12 и т. п.) (возможно использование нестандартных печей с длиной рабочей зоны до 500 мм и диаметром 50—60 мм) кварцевая труба диаметром 30—50 мм, длиной 0,7 м со шлифом кислородный баллон с редуктором Pt—Pt/Rh — термопара и потенциометр ПП-63 для измерения температуры кварцевые держатели для пластин установка для анодного окисления установка для хлорного травления ХА-термопара универсальный источник питания УИП-1 с предметным столиком для определения электрической прочности SiOa измеритель параметров Л2-7 в комплекте с генератором ГКЗ-40 и манипулятором установка вакуумного напыления металлографический микроскоп (МИМ-7, МИМ-8М) [c.129]

Кинетика и механизм диффузионных процессов представляют огромный интерес для полупроводниковой электроники, техники квантовых оптических генераторов, процессов изготовления микроминиатюрных устройств, твердых и пленочных схем. Изготовление активных элементов, полупроводниковых схем п р— -переходов основано на диффузии легирующих примесей в полупроводниковый монокристалл из газа или расплава. Этот процесс сводится к налетанию молекул (атомов) из газовой фазьг и к диффузии их внутрь кристалла. Второй процесс медленнее первого. А так как диффузия примесей протекает по уравнениям первого порядка, то весь процесс псевдо-мономолекулярный. Таков же характер процесса травления полупроводника, если диффузионная стадия самая медленная. В этих случаях особую роль играет закош анизотропии кристалов, так как диффузия в кристаллах идет с разной скоростью в разных направлениях. Скорость роста кристаллов, скорость окисления кислородом,, скорость травления зависят от того, какая грань подвергается воздействию. Например, доказано, что различные грани кристаллов вольфрама обладают неодинаковой активностью по отношению к кислороду и разной способностью эмитировать электроны при нагревании между этими свойствами наблюдается коррелятивная зависи.мость. Медь быстрее всего окисляется в направлениях, перпендикулярных граням кубических кристаллов. Обнаружено,, что внутреннее строение пленки СигО определенным образом ориентировано по отношению к поверхности кристаллов меди, что называется явлением эпитаксии. [c.61]

Ванны для анодного полирования и травления— стационарные, с неподвижным электролитом (обычный состав — растворы ЫаС1, иногда с добавками), подогреваемым паром. Ванны выполняются из винипласта или стали, облицованной внутри винипластом. Мелкие детали обрабатывают во вращающихся барабанах. Напряжение питания невелико, и источниками постоянного тока служат вращающиеся двигатель-генераторы с напряжением 6/12 В при токе до 10000 А и полупроводниковые выпрямители с напряжением 12/24 В при токе до 12 500 А. По условиям техники безопасности снижение напряжения сети, подаваемого на выпрямитель, осуществляется через трансформатор. Ванны должны быть заземлены и снабжены бортовой вентиляцией. В коридорах между ваннами полы должны иметь деревянные настилы и резиновые коврики. [c.349]

Достоинства А. а, высокая специфичность, во. змож-ность одноврем. определения ряда примесей в одной навеске образца, отсутствие поправки контрольного опыта, т. к. все операции, в т. ч. травление образца для удаления поверхностных загрязнений, проводят после облучения. Недостатки относительно малая доступность источников активирующих частиц и 7-квантов (ядерных реакторов, циклотронов, нейтронных генераторов, линейных ускорителей и т. п.), радиац. опасность. Осн. области применения А. а. анализ чистых в-в, в т. ч. материалов, применяемых в радиоэлектронике, атомной энергетике, авиационной пром-сти и др. анализ геол. объектов экологич. исследования медицина. [c.18]

Ход определения. Испытания проводятся в установке для ультразвуковой обработки (см. рис. 3.1). В ванну 1 помещают травильный раствор, а ультразвуковую ванну 2 заполняют водой. Первую партию пластин (ие менее трех) помещают в травильный раствор, в котором проводится травление при 40 С в течение 15 мин П1 1 отключенном генераторе ультразвуковых колебаний. Затем из ванны выливают использованный травильный раствор и наливают свежий. Помещают в раствор еще три пластинки, предварительно обработанные мехаЕШческим способом, как указано в варианте 1 настоящей работы. После зтого включают генератор ультразвуковых колебаний и проводят травление прн 40 С в течение 5 мин. Для контроля качества обезжиривания используется весовой метод (см. вариаит 1 настоящей работы). [c.79]

После травления узлы промываются в холодной и горячей проточной воде, а затем с ультразвуком в горячей дистиллированной воде 3 мин. Сушка производится в струе горячего воздуха. На этом же предприятии обезжиривается лента ХВП в воде при 45—55°. Лента движется со скоростью 12—18 м1мин. Во всех случаях для очистки применялся генератор УЗГ-10 с преобразователем ПМС-6 [17]. [c.26]

При травлении с наложением ультразвукового поля частотой 30 кгц использовалась установка с магнитострикционным вибратором, помешенным (фиг. 10) в корпусе, который, так же как и патрубки для охлаждающей воды и токошодводя-щего кабеля, был изготовлен из кислотостойкой пластмассы винч-дур. Ультразвуковые колебания проникают в травильный раствор через диафрагму, закрытую пластинкой из пластмассы, приваренной к корпусу и защищенную от механических повреждений решеткой из кислотоупорной бронзы. Вода, охлажадающая вибратор, служит одновременно средой, проводящей упругие колебания. Ванна, облицованная кислотостойкой резиной, имела подогрев до 65° и термо-статирование. Вибратор питался от лампового генератора мощностью 2,5 кет. [c.31]

Указывается [80], что после 5—7 мин. нахождения стальных листов с окалиной в серной кислоте, содержащей ингибитор, при 60° окалина настолько размягчается, что может быть удалена механической щеткой. Размягченную окалину можно удалить озвучиванием в воде. Для этого применялась портативная установка со стальной вибрирующей пластинкой и частотой колебаний 3 кгц. Интенсивность колебаний составляла 2 вт/см . Особо прочная окалина после указанного травления (Ст. IV и V в табл. 11) отделялась только в местах, подвергавщихся интенсивному воздействию звукового поля и находивщихся в зоне кавитации. Oчи tкa образца происходила только от слабо сцепленной окалины при достаточном ее предварительном подтравливании. При расстоянии образцов 20 мм от вибратора и температуре воды 20° окалина удаляется за 10 сек. При обработке в ультразвуковом поле частотой 30 кгц были получены аналогичные результаты. Несмотря на то, что частоты 3 и 30 кгц показали одинаковые результаты, а электромагнитный излучатель и мащинный агрегат на 3 кгц дешевле и проще в эксплуатации, чем ламповый генератор и магнитострикционный вибратор, работа в дальнейшем производилась с ультразвуковыми частотами, так как слышимый звук частотой 3 кгц трудно переносился обслуживающим персоналом. [c.36]

При травлении плазменным способом с помощью цилиндрического генератора не удается избежать некоторого подтравливания, по -скольку механизм травления близок к механизму химической реак ции, С другой стороны, при травлении разбрызгиванием с помощью плоск0 параллельного генератора обеспечивается определенная направленность и величина подтравливания незначительна. Исследуется также способ ионного травления, близкий по механизму к физическому взаимодействию. [c.255]

В естественных и синтетических двойниковых кристаллах кварца обычно нет правильной плоскости срастания. Два индивидуальных кристалла прорастают друг друга по извилистым иррациональным плоскостям и направлениям. Границы двойников можно выявить путем травления. Сдвойникованные кварцевые кристаллы не пригодны для изготовления пьезоэлектрических генераторов, однако подавляющее большинство естественных крис- [c.373]

Дальнейшее усозершенствование тс.хнологии изготовления и контроля имеет целью получение мембран с заранее заданным давлением срабатывания вне зависимости от случапны.х отклонений прочностных характеристик используемых материалов. Оно заключается в том, что мембрану, изготовленную на срабатывание при давлении, превышающем заданное, ослабляют в нагруженном состоянии до начала пластического течения материала, предшествующего разрушению мембраны. Л ембрану можно ослаблять электрохимическим травлением, воздействием когерентного излучения оптического квантового генератора и с помощью других способов обработки. Начало пластического течения материала мембраны обнаруживают по ультразвуковым колебаниям, распространяющимся от участков, в которых интенсивно развиваются пластические деформации. [c.121]

Внедрение этого метода не вызывает необходимости в коренной реконструкции существующих травильных отделений. При осуществлении гидридного способа травления применяемая в цехах схема транспортировки металла остается без изменения, установ-ленног оборудование будет использоваться практически полностью. Изменения в основном коснутся ванны щелочной обработки. Потребуется замена расплава (при щелочно-кислотном способе травления применяется расплав гидроокиси натрия, содержащий азотно-кислый натрий, при гидридном — расплав из технической гидроокиси натрия), оборудование ванны генератором гидрида натрия, если гидрид натрия будут получать непосредственно в ванне травления из металлического натрия и водорода, или с помощью устройства для растворения, если для корректировки расплава станут использовать гидридный продукт. [c.36]

Следует отметить, что путем учета особенностей процесса гидрирования металлического натрия в среде его гидроокиси удалось создать компактную установку (генератор гидрида в комплекте с газоприготовительной частью), при помощи которой промышленные ванны щелочно-кислотного травления могут быть переведены ка гидридный способ без существенных переделок. [c.44]

Так как гидридный. метод позволяет значительно интенсифицировать проиесс травления металлических изделий, а генератор гидрида щелочного металла способен создать рабочую концентрацию в промышленной ванне за 0,5 ч, то необходимость в увеличении обслуживающего персонала травильного отделения отпадает. [c.69]

Расчетное сопоставление технологическ.их параметров ванн различных конструкций показало, что для проведения процесса гидридной обработки металла в непрерывном режиме может быть с успехом использована прямоугольная ванна, размеры которой 3000X2000X1900 мм [2]. Подобные размеры имеют стационарные щелочные ванны (2830X2000X1750 мм), широко используемые на металлургических предприятиях для удаления окалины с поверхности высоколегированной катанки щелочно-кислотным способом. Так как эти ванны предназначены для обработки изделий в расплаве щелочи при повышенных температурах, они могут быть использованы для гидридного травления. Одна из таких ванн, обогреваемая природным газом, была переоборудована для обработки металла в расплаве, содержащем гидрид натрия. С этой целью в ванне заменили расплав гидроокиси натрия, содержащий натриевую селитру, расплавом чистой гидроокиси натрия, установили генератор гидрида натрия и подвели к нему линию азотно-водородной смеси, содержащей 75 об.% водорода. Размещение генератора гидрида в углу ванны не привело к уменьшению ее рабочего объема. Последующую обработку проволоки (осветление, пассивацию и т. д.) проводили в соответствующих ваннах, применяемых при щелочно-кислотном травлении. [c.78]

Концентрацию гидрида натрия в расплаве в процессе работы установки контролировали путем периодического отбора и анализа проб расплава. Масса отбираемой пробы составляла 20—25 г, масса навески для анализа — 7—8 г. Методика анализа подробно описана в [1]. Учитывая тот факт, что концентрация гидрида натрия в расплаве изменялась незначительно (0,1—0,15 вес.%), а отклонения между параллельными определениями составляли 0,05 вес.%, нельзя было с достаточной точностью определить степень использования натрия в генераторе. Для выяснения этого вопроса, а также с целью определения максимальной скорости переработки натрия и влияния повышенных концентраций гидрида натрия на процесс травления, во время одного из экспериментов провели контрольную наработку гидрида натрия. При этом было пе реработано 89,6 кг металлического натрия и отобраны три пробы одна — до наработки и две — после нее (у генератора и у противоположной стенки ванны). Следует отметить, что до контрольной [c.80]

Справочник химика 21

Химия и химическая технология