Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Газа давление измерение в вакуумных системах

    Для измерения реакционноспособных газов эти приборы значительно лучше, чем ионизационный манометр. Но все же некоторые химические реакции могут и здесь катализироваться горячими нитями, и это следует установить для каждой системы. Однако обычный предел измерения давления стандартными приборами мал (10" —Ю" мм рт. ст.) и время реакции манометра измеряется десятками секунд. При специальном термостатировании манометр Пирани можно с успехом использовать для измерения давлений до 10 мм рт. ст. [115]. Аналогично время реакции термопарного манометра можно снизить менее чем до 0,1 сек за счет уменьшения размеров частей. Даже в своей стандартной форме эти манометры наиболее пригодны для установления того, что давление в вакуумной системе достаточно мало, чтобы можно было без опасений работать с ионизационным манометром. [c.271]


    Достоинства тепловых манометров заключаются в простоте изготовления и возможности непрерывного наблюдения за изменением давления в вакуумной системе. К числу недостатков следует отнести зависимость показаний от рода газа, точный состав которого обычно не известен. Главным источником ошибок при измерениях термопарным манометром является изменение состояния поверхности нити, что приводит к изменению характера градуировочной кривой. [c.143]

    Положение III. Начинаем измерение давления в вакуумной системе. Для этого поднимаем грушу с ртутью очевидно, вместе с этим будет подниматься и уровень ртути в трубке 5, и в некоторый момент, который мы отметим как положение III, ртуть перекроет сообщение измерительной части манометра с вакуумной системой. Начиная с этого момента, в измерительной части остается определенное количество газа, занимающее в момент перекрытия объем Vi, складывающийся из объемов измерительного капилляра, баллона и небольшого отрезка трубки между баллоном и ответвлением давление же в этот момент, очевидно, совпадает с измеряемым давлением в вакуумной системе. Произведение давления на объем равно pVi. [c.207]

    Таким образом, все измерение давления в вакуумной системе компрессионным манометром сводится к такому уменьшению первоначального объема газа V до объема 2, чтобы первоначальное весьма малое давление р, которое нужно измерить, было увеличено до давления h —h"), измеряемого непосредственно глазом по разности уровней ртути в измерительном и сравнительном капиллярах. Заметим, что достаточно правильное измерение давления (/г — h") возможно лишь при условии, если будет исключено влияние так называемой капиллярной депрессии ртути для этого сравнительный капилляр, как уже указывалось, должен иметь внутренний диаметр такой же, как и у измерительного капилляра в частности, вследствие влияния ка- [c.208]

    Достоинствами тепловых вакуумметров являются возможность непрерывного наблюдения за изменением давления в вакуумной системе, простота конструкции и их применимость к измерению давлений всех газов и паров. Как уже упоминалось, тепловые вакуумметры являются приборами косвенного действия, и их градуировочные кривые для различных газов различны и определяются теплопроводностью этих газов и коэффи-194 [c.194]

    Часто для защиты преобразователей от паров масел и других конденсирующихся веществ используют низкотемпературные охлаждаемые ловушки (см. гл. 9). При этом вакуумметр измеряет давление только тех газов, которые не конденсируются при температуре ловушки, и измеренное давление, отсчитываемое вакуумметром, будет ниже полного давления в вакуумной системе. [c.211]


    Приборы для измерения парциальных давлений. Для определения парциальных давлений какого-либо газа, присутствующего в вакуумной системе в смеси с другими газами, обычно регистрируется изменение каких-либо вторичных эффектов, зависящих от природы данного газа и от его концентрации. В некоторых случаях применяют обычные методы газового анализа смеси. Однако чем ниже давление, тем труднее использовать эти методы, в связи с чем для измерения парциальных давлений созданы специальные вакуумметры, в которых использован метод масс-спектрометрического анализа. [c.546]

    Таким образом, все измерение давления в вакуумной системе компрессионным манометром сводится к такому уменьшению первоначального объема газа l i до объема V2, чтобы первоначальное весьма малое давление р, которое нужно измерить, было увеличено до давления h —h"), измеряемого непосредственно глазом по разности уровней ртути в измерительном и сравнительном капиллярах. Заметим, что достаточно правильное измерение давления h —h") возможно лишь при условии, если будет исключено влияние так называемой капиллярной депрессии ртути для этого сравнительный капилляр, как уже указывалось, должен иметь внутренний диаметр такой же, как и у измерительного капилляра в частности, вследствие влияния капиллярной депрессии уровни ртути в широкой ветви трубки 4 (рис. 6-6) и в сравнительном капилляре никогда не будут одинаковы в капилляре он будет тем ниже, чем тоньше капилляр. [c.204]

    При непосредственном измерении удельной поверхности берут навеску исследуемого материала из такого расчета, чтобы величина ее суммарной поверхности была 5—100 м . Все заполненные навесками кюветы ставят в рабочее положение, для ч го соединяют с вакуумной линией и создают, необходимый вакуум при обогреве до 200—250 °С. Затем отключают насос и обогрев После остывания кювет их соединяют с измерительной системой. Далее из К(элбы с азотом подают газ с таким расчетом, чтобы давление его в системе стало 120 мм рт. ст., отключают от системы все кюветы, кроме одной, замеряют показания манометра и кювету погружают в сосуд Дюара с жидким азотом. После того, как положение уровня жидкости в манометре установится, снова замеряют давление. [c.297]

    Для измерения давления инертных паров лучше всего пользоваться электрическими вакуумметрами непрерывного действия (табл. 21), в которых используется зависимость теплопроводности, трения или ионизации газов от давления. Следует, однако, учитывать, что выпускаемые приборы проградуированы по сухому воздуху, и градуировка для других газов и паров проводится обычно эмпирически, а не путем пересчета. При систематической работе с неиндифферентными газами необходимо регулярно проводить проверку градуировки прибора. Следует защищать измерительные приборы от попадания в них агрессивных паров путем установки охлаждающих ловушек. Необходимо также помнить, что ионизационный манометр действует как миниатюрный насос. Это происходит потому, что ионы, сильно ускоренные в поле высокого напряжения, при столкновении с электродами остаются на поверхности металла. Поэтому измерительные приборы должны соединяться с остальной вакуумной системой посредством коротких и широких трубок, так как в противном случае измеренное давление может оказаться заниженным. [c.80]

    Микроманометр ММ-1 Измерение абсолютного давления, разности давлений неагрессивных газов в вакуумных системах [c.273]

    Большинство металлов, за исключением меди, требуют более жесткого теплового воздействия для удаления газа, который может выделяться во время проведения эксперимента. С нагретого вольфрамового катода удаляется газ по объему (измеренному при атмосферном давлении), в 10 раг превышающему объем катода 1556] большая часть этого газа представлена окисью углерода и водородом. Эти же вещества в большом количестве выделяются при нагревании никеля и стали выше 1000°. Если такие металлы будут обезгаживаться при нагревании лишь до температуры, применяемой для стеклянных частей прибора, то из них будут выделяться указанные выше газы при бомбардировке электронным или ионным пучком, хотя эта бомбардировка не приводит к сильному повышению температуры. Особенно много затруднений связано с выделением газа в ионизационной камере оно также имеет место в ионизационных вакуумных манометрах хорошо известно, что остаточный пик, соответствующий массе 28 (в основном СО" ), может быть уменьшен при выключении этих манометров. Пучок положительно заряженных ионов в масс-спектрометре может также вызвать обезгаживание поверхностей. Действительно, при использовании системы, отключенной от насосов (как это имеет место при анализе остаточных газов в вакуумной системе), ускоряющее напряжение должно включаться лишь на время проведения измерений, чтобы тем самым снизить количество газа, выделяемое действием пучка [1689]. [c.146]

    Вакуумная система стойки состоит из форвакуумного и диффузионного насосов, приборов для измерения давления на различных участках, подогревателей, системы быстросъемных ампул и ряда других вспомогательных узлов. Внешний вид и габаритные размеры стойки напуска тяжелых веществ в основном те же, что и у стойки напуска газов. [c.17]


    Для измерения адсорбции ионов использовали следующую методику. После того как в вакуумной системе достигалось низкое давление (удовлетворительным считалось давление, при котором показания ионизационного манометра были меньше 2-10" мм рт. ст.), в лампу через пористую пробку вводили исследуемый газ, затем на определенное время включали разряд и измеряли количество ионов, попадающих на мишень. В конце опыта мишень нагревали и выделяющийся газ анализировали на масс- [c.536]

    Принцип масс-спектрометрии является универсальным для измерения парциальных давлений, поскольку для основных составляющих остаточных газов Нг, N2, О2, СО, СО2 и др. имеются отдельные массовые пики, каждый из которых является мерой парциального давления соответствующего компонента. В то же время использование масс-спектральных анализаторов в качестве манометров парциальных давлений предъявляет к ним специфические требования, а именно 1) малые габариты, в частности возможность помещения внутрь исследуемой вакуумной системы, б) возможность прогрева под вакуумом вместе с исследуемой вакуумной системой, в) повыщенная чувствительность, г) умеренная разрешающая способность, д) умеренная стоимость. [c.29]

    Система для заполнения ламп газами включает фор-вакуумный и масляный диффузионный насосы для откачивания системы, и-образный масляный манометр для измерения давления инертного газа и манометрическую лампу ЛТ-2 для контроля вакуума, стеклянные баллоны со спектрально чистыми инертными газами (Аг, Не, Хе и Ме), содержащими не более % азота и кислорода. [c.63]

    Вакуумметры Маклеода. Действие вакуумметра Маклеода основано на том, что давление газа при постоянной температуре прямо пропорционально его плотности или обратно пропорционально объему. Прибор схематически показан на рис. 71. Объем камеры А над линией, обозначенной СО, точно определен при изготовлении аппарата так же точно известны объемы капиллярных трубок Г] и Гг. Трубки Гг и Тз присоединены к вакуумируемой системе. В резервуаре Я содержится ртути несколько больше, чем нужно, чтобы целиком заполнить резервуар А и трубки Тг, Гг, Тз. Для измерения вакуума ртуть должна из резервуара Н поступить в камеру А. Для этого некоторые вакуумметры ставят в наклонное положение, в других — используют атмосферное давление, в третьих — применяют деревянный плунжер, который вытесняет ртуть и заставляет ее поступать в камеру. Когда ее уровень достигнет линии СО, она отделяет объем воздуха камеры Л от капиллярной трубки Т. До этого давление в камере было равно давлению в вакуумируемой системе, так как они непосредственно сообщались с трубками Т2 и Тз. При дальнейшем повышении уровня ртути в резервуаре А и далее в трубке Т (при этом в трубках Т и Т2 устанавливается различный уровень) объем газа, заключающегося в камере А, переходит в маленькую капиллярную трубку Т1. Ртуть поднимается выше в капиллярной трубке Гг, так как последняя соединена с вакуумной системой, в которой газ не сжимают. Разница в высоте ртутных столбов в трубках Г] и Гг определяет давление газа в закрытой капиллярной трубке. Когда ртуть в трубке Гг находится на уровне закрытого конца трубки Гь измеряется разность высот двух столбов в микронах или миллиметрах ртутного столба. На этом измерение заканчивается. [c.112]

    Масс-спектрометр используют не только для обнаружения течи, но и во многих других областях, например для изучения газов при очень малых давлениях. Масс-спектрометр секторного типа представляет собой удобную конструкцию, широко] используемую для решения различных задач [915]. Например, изучение диффузии гелия через стекло [1522], обезгаживание металлов [887]. Условия работы и системы напуска, позволяющие работать с очень малыми количествами образца, были описаны в гл. 5. Однако во многих случаях более пригодны другие типы масс-спектрометров. Эдвардс [568] рассмотрел применение различных типов масс-спектрометров в исследованиях высокого вакуума. В некоторых случаях большими преимуществами обладает омегатрон благодаря высокой чувствительности в сочетании с малыми размерами, простой конструкцией и возможностью работы при высокой температуре. Это делает его пригодным для исследования вакуумной аппаратуры, в которой Возможна высокая температура. Альперт и Бюритц [40] использовали омегатрон в качестве манометра для измерения давления (чувствительность сопоставима с чувствительностью ионизационного манометра) при исследовании остаточного давления, которое может быть получено в стеклянной аппаратуре. Омегатрон имеет то преимущество, что при его помощи можно провести анализ остаточных газов, причем вакуум ограничивается диффузией гелия через стеклянные стенки системы. Это было сделано в изолированной вакуумной системе. В исследуемом спектре остаточный пик гелия увеличивался с течением времени, а пик, отвечающий азоту, не изменялся. Альперт и Бюритц получили для Не ток 2-10 а, соответствующий парциальному давлению гелия 5-10 мм рт. ст. Омегатрон использовали также при очень низких давлениях для определения веществ, образующихся в вакууме при работе масляных диффузионных насосов, с целью установить, состоит ли остаточный газ из продуктов десорбции или образован при разложении масла диффузионных насосов [1676], При помощи этого прибора измерялось также выделение кислорода с поверхности, покрытой окислами бария, стронция и магния, под действием бомбардирующих электронов, как функция энергии и плотности бомбардирующих электронов [2125]. Из полученных результатов следовало, что имеет место двухступенчатое электронное возбуждение твердых веществ, связанное с диссоциацией. Некоторое количество кислорода выделяется при очень низких энергиях электронов, вероятно, благодаря десорбции. [c.496]

    Для количественных измерений определенное количество вещества помещают в вакуумированную запаянную кювету, которую нагревают до температуры, необходимой для испарения всего вещества [13]. Зная объем кюветы и количество вещества, можно рассчитать плотность газа и определить коэффициенты экстинкции полос. Для получения спектров газов специальную газовую кювету соединяют с вакуумной системой, в которой исследуемый газ находится под определенным давлением. [c.87]

    Баллон А перед началом измерения соединяется с вакуумной системой через трубку Т . Из баллона В при помощи одного из устройств, описанных ниже, ртуть поднимается вверх по трубке Т2, отключает баллон А от вакуумной системы и сжимает заключенный в баллоне газ до давления, которое можно непосредственно измерить по разности уровней ртути в закрытом и сравнительном капиллярах К1 и К2- Измерение давления после компрессии производится точно так же, как в случае обычного ртутного манометра с закрытым коленом. [c.25]

    Для того чтобы избежать этой ошибки измерения, в работе [10] было предложено устанавливать на компрессионных манометрах дополнительный вентиль С (рис. 2. 4) между ловушкой и манометром и делать трубку между резервуаром со ртутью В и баллоном А достаточно тонкой. Это позволяет во время установления равновесия в баллоне Лив вакуумной системе сильно уменьшить суммарную проводимость U, определяемую проводимостью трубок Tj и T a, и тем самым уменьшить откачивающее действие струи пара ртути. Перед началом подъема ртути вентиль С закрывают, в связи с чем происходит разрыв потока ртути и предотвращается изменение давления газа в манометре во время подъема ртути. Если ртуть в манометре, изображенном на рис. 2. 4, во время установления равновесия между давлением в манометре и в вакуумной системе находилась на уровне а при = 0,725 см, I = 10 см, Р < 10 мм рт. ст. к t = 25° С, то отношение дав-р [c.32]

    Технические данные некоторых статических масс-спектрометров приведены в табл. 13. Каждый масс-спектрометр в зависимости от назначения комплектуется рядом унифицированных узлов, общих для всей серии. В литературе [138, 139] приводится описание статических масс-спектрометров, имеющих на выходе электронный умножитель и позволяющих анализировать газовые смеси в области сверхвысокого вакуума. Масс-спектрометр, описанный в работе [138], имеет небольшие габариты (радиус кривизны регистрируемого потока ионов 5 см) и непосредственно подключается к исследуемой вакуумной системе. Минимальное измеряемое парциальное давление газов составляет приблизительно 10" мм рт. ст. Разрешающая способность 75. Фон рассеянных ионов, ограничивающий измерение составляющих с малым процентным содержанием в газовой смеси, не превышает 10 от полного ионного тока это позволяет регистрировать значения парциальных давлений составляющих газовой смеси, не превышающие 10" % от общего давления. Развертка спектра может осуществляться вручную, а также автоматически на экране осциллографа. [c.192]

Рис. 10. Стойка напуска газио I — вентили вакуумной системы 2, 4 — пульты управления 3 — ртутный манометр 5 — блок измерения давления 6 — щиток предохранителей 7 — форвакуумный насос Рис. 10. Стойка <a href="/info/1609522">напуска газио</a> I — вентили <a href="/info/304458">вакуумной системы</a> 2, 4 — <a href="/info/712926">пульты управления</a> 3 — <a href="/info/21717">ртутный манометр</a> 5 — <a href="/info/1118815">блок измерения</a> давления 6 — щиток предохранителей 7 — форвакуумный насос
    Результаты измерений с помощью омегатрона показаны на рис. 8. 6, где приведены масс-спектрограммы остаточных газов, полученные при откачке вакуумной системы паромасляным насосом до давления 2-10 мм рт. ст. [c.199]

    А. В вакуумной системе присутствуют только такие пары, давление которых, даже при сильном сжатии (в измерительной части манометра), когда они достигают насыщения, остается на глаз незаметным (например, не превы-щает 0,2 мм рт. ст.). В этом случае влияния давления паров в измерительной части манометра на разность уровней к —к" практически заметить нельзя и, следовательно, значение к —к" будет зависеть только от парциального давления газов очевидно, и в этом случае произведение к к —к") независимо от тоПо, на какую высоту мы подняли при измерении ртуть, будет оставаться постоянным [по формуле (6-7)]. Но это означает, что манометр правильно показывает лищь парциальное давление газов, фактическое же давление в вакуумной системе равно Рполн Рг Рп- Положим, ЧТО согласно показаниям манометра давление в вакуумной системе равно всего 2 10 мм рт. ст. Но если вымораживания паров мы не применили, то не нужно забывать, что 2-10 5 мм рт. ст.—это только парциальное давление остаточных газов и что в вакуумной системе, кроме этих газов, присутствуют пары ртути, рас-пространивщиеся в вакуумную систему из того же компрессионного манометра, пары рабочей жидкости из насосов (ртути или масел), а возможно, и пары других веществ, например вакуумных уплотнителей. Давление насыщенных паров всех этих веществ невелико в сумме оно, может быть, составит всего 1-10 1 мм рт. ст., так что компрессионный манометр это давление не учтет, но фактическое давление в вакуумной системе все же будет равно не [c.213]

    К числу недостатков следует отнести 1) невозможность вести компрессионным манометром непрерывное наблюдение за изменением давлений в вакуумной системе, так как каждое измерение относится лишь к давлению в момент перекрытия сообщения между вакуумной системой и измерительной частью (в положении III) 2) довольно большую длительность каждого измерения 3) вредность ртутных паров для работающих компрессионные манометры, в которых вместо ртути применяется масло с низким давлением насыщенного пара, в настоящее время разработаны в Советх ком Союзе, но ввиду легкой растворимости газов в масле манометр нельзя сообщать с атмосферой этот недостаток манометра ограничивает его практическое применение. [c.215]

    Таким образом, измерение давления в вакуумной системе компрессионным вакуумметром сводится к такому уменьшению первоначального объема газа ]/ до объема Уг, чтобы первоначальное, очень малое давление ризм, которое нужно измерить, было увеличено до давления, измеряемого непосредственно по разности уровней ртути к в измерительном и сравнительном капиллярах. [c.186]

    В вакуумной установке для изучения адсорбции азота, сконструированной Липпенсом, Линсеном и де Буром [11], дифференциальный капиллярный манометр Е (рис. 166) позволяет сильно сократить объем мертвого пространства, причем он не изменяется во время адсорбционных измерений. Оба колена манометра Е должны быть изготовлены из капилляров строго одинакового сечения. С помощью системы управления Н подачи газа и ваку-умирования системы давление в левой части манометра приравнивают к давлению в адсорбционной трубке С, и тогда манометр [c.357]

    Откачка манометра. Ионизационный манометр регистрирует давление за счет ионизации части газа в вакуумной системе эти ионы захватываются и, по крайней мере временно, теряются. Поэтому в процессе такого измерения давление может сильно меняться. Более того, при длительной работе газы могут оказаться вообще вытесненными из установки, что может привести к проникновению туда примесей. Ионизирующие электроны вылетают из термоионного эмиттера. В случае легко диссоциирующих газов, а на практике это все газы, за исключением азота, окиси углерода и благородных газов, на горячей нити, даже если она не эмитти-рует, будут происходить химические реакции типа диссоциации. Образующиеся при диссоциации фрагменты являются свободными радикалами и особенно реакционноспособны. [c.267]

    При проведении измерения уровень ртути постепенно повышается, при этом в объеме V отсекается и сжимается порция газа. Ртуть одновременно поднимается в капил--лярах 2 (измерительном) и 3 (сравнительном). Давление над поверхностью ртути в сравнительном капилляре 3 равно рх, а давление в измерительном капилляре р значительно больше Рх за счет сжатия газа. Благодаря этому образуется разность уровней ртути в капиллярах, причем влиянием капиллярных сил можно пренебречь, так как ртуть поднимается в двух одинаковых капиллярах. Если в вакуумной системе отсутствуют легко конденсируемые пары, то сжатие газа происходит по закону Бойля—Мариотта.т. е. [c.513]

    Рассеянные электрические поля, образованные поверхностными потенциалами [1827], вследствие загрязнения стенок вакуумной системы изменяются в зависимости от давления газа, материала пластин и интенсивности ионного пучка. Все это особенно важно в приборах, в которых используются ионы низких энергий, и, конечно, влияние этих факторов должно быть по возможности уменьшено. Применение позолоченных пластин, подвергающихся очистке через определенные промежутки времени, уменьшает эффект нелинейности в такой степени, что требуе мая корректировка в диапазоне масс 200 а.е.м. составляет не более 0,005 а. е. м. Для большей точности измерения масс используется хронотрон, в которомточностьсоставляет10 а. е. м. Он не может [c.50]

    Основные принципы обнаружения течи и различные устройства для измерения давления описаны во многих работах [230, 271, 419, 558, 725, 763, 1036, 1527, 2189]. Такие методы, как измерение скорости возрастания давления в изолированной вакуумной системе, позволяющие обнаружить очень небольшие течи, обладают тем недостатком, что не представляется возможным различать, возрастает ли давление вследствие обезгаживания аппаратуры или его увеличение связано с течью. Поэтому более удобны вакуумные манометры в сочетании с опредагленным газом. Естественно, что масс-спектрометр представляет собой очень удобный течеискатель [271, 302], позволяющий использовать различные газы и летучие жидкости в качестве индикаторов. Действительно, используя для этой цели гелий, при помощи масс-спектрометра можно обнаружить очень малые течи. Трудности в использовании масс-спектрометра [c.493]

    Измерения показали, что один регистрируемый за период колебания ион аргона соответствует парциальному давлению аргона 1 10" ммрт. ст. в области ионизации (или 10 ООО ионов в секунду). Уровень шумов электронного умножителя, измеренный в интервале масс, равном единице, составляет около одного импульса, равного по величине импульсу, создаваемому одним ионом, за 10 колебаний, что соответствует парциальному давлению в ионном источнике 1 -10 мм рт. ст. Абсолютная чувствительность, однако, ограничена в действительности не шумами, а составом и количеством остаточного газа в вакуумной системе. Специально не предпринималось никаких мер для достижения максимального вакуума путем длительного прогрева, хотя конструкция прибора позволяет осуществить тако11 прогрев. Мы считали вполне достаточным ограничиться давлением около 1-10 ммрт. ст. Ртутный насос с эффективной ловушкой дает очень низкое парциальное давление газов почти во всей области масс-спектра. [c.255]

    Устройство для ввода и измерения определенной порции газа присоединяют к адсорбционной установке через кран или натекатель. Количество газа, поступа-юшего в адсорбционную установку, вычисляют по изменению давления в калиброванном объеме газонапускной системы. Давление в измерительной газонапускной системе определяют с помощью манометров Мак-Леода, тепловых или жидкостных и-образных. Универсальная газонапускная система, снабженная коллектором" с различными исследуемыми газами, имеет возможность откачки коллектора с помощью вспомогательной вакуумной системы. [c.53]

    Гидростатические манометры наиболее простые приборы для измерения вакуума. Начиная с опытов Торичелли в 1644 г. и до настоящего времени, гидростатический манометр представляет собой неотъемлемую принадлежность любой вакуумной лаборатории. На рис. 2. 1 изображены два типа гидростатических или, как их иначе называют, жидкостных манометров. Эти приборы непосредственно измеряют разность давлений газов на поверхность жидкости в левом и правом коленах П-образной трубки. Одно колено трубки присоединяется к вакуумной системе, давление в которой равно Рд, в другом колене в процессе измерений поддерживается постоянное сравнительное давление Р - Перепад давлений [c.20]

    Использование магнитных статических масс-спектрометров для измерения парциальных давлений остаточных газов в вакуумных системах затруднительно из-за их сложности и громоздкости. Поэтому в течение последних лет интенсивно проводятся работы по созданию новых, более простых и удобных устройств, позволяющих осуществлять масс-спектрометрический анализ газов в высоком вакууме. Такого рода устройства получили название динамических масс-спектрометров из-за обязательного наличия в них высокочастотного электрического поля. К такого рода приборам относятся омегатрон, радиочастотный масс-спектрометр, импульсный пролетный масс-спектрометр, фарвитрон и электрический фильтр масс. [c.194]

    Конструкции омегатронов и различные области их применения описаны в литературе. В СССР выпускается омегатронный преобразователь РМ0-4С [114], аналогичный описанному простейшему омегатрону Альперта и Буритца [109]. Омегатронный преобразователь РМ0-4С предназначен для измерения парциальных давлений 10 10 мм рт. ст. и имеет разрешающую способность не менее 20, что позволяет с его помощью анализировать состав газов в вакуумных системах в диапазоне массовых чисел от 2 до 100. В приборе применен вольфрамовый катод электроды изготовлены из немагнитных материалов. Диаметр колбы 35 мм, объем 50 сж . [c.199]

    Редхедом [120, 121] описан радиочастотный масс-спектрометр для измерения общего и парциального давления, названного им топатроном (рис. 8. 13). Все 14 сеток топатрона расположены равномерно по его длине. Диаметр датчика 40 мм, длина 210 мм. Сетка с, служит для вытягивания положительных ионов из камеры ионизатора и имеет отрицательный относительно катода потенциал 300 в. Ионный ток в цепи этой сетки пропорционален общему давлению газов в вакуумной системе. Сетки с — с, образуют пять трехсеточных каскадов, позволяющих получить от [c.212]


Смотреть страницы где упоминается термин Газа давление измерение в вакуумных системах: [c.139]    [c.105]    [c.209]    [c.203]    [c.35]    [c.778]    [c.504]    [c.534]    [c.191]    [c.33]    [c.34]   
Технология тонких пленок Часть 1 (1977) -- [ c.315 ]




ПОИСК





Смотрите так же термины и статьи:

Давление в системе

Давление вакуумной

Давление измерение

Измерение давления в вакуумных системах



© 2025 chem21.info Реклама на сайте