Справочник химика 21

Химия и химическая технология

Статьи Рисунки Таблицы О сайте English

Диффузионные насосы в высоковакуумных системах

    Откачная система масс-анализатора и источника ионов состоит из форвакуумного насоса, форвакуумного баллона, диффузионных насосов и высоковакуумных ловушек. В отечественных масс-спектрометрах откачка обычно производится двумя ртутными диффузионными насосами и форвакуумным насосом. [c.25]

    Описание одной из схем объемной установки приводится в работе [29]. Другая установка изображена на рис. IX. 2. Важнейшими ее частями являются ампула I, содержащая адсорбент, ртутный и-образный манометр 2 со шкалой до 250 мм рт. ст. (при применении азота как адсорбата), калиброванная бюретка 3 из шариков емкостью от 1 до 40 сл , баллоны с газом 4 и система для создания и измерения вакуума. Для создания вакуума целесообразно применять высоковакуумный масляный диффузионный насос, работающий в паре с форвакуумным масляным насосом. [c.393]


    Несмотря на невозможность полного описания высоковакуумных систем, применяемых в различных масс-спектроскопах, этот вопрос не может быть совершенно обойден в настоящей монографии. Необходимо подчеркнуть, что успешная работа масс-спектрометра в известной степени зависит от правильного понимания факторов, связанных с получением высокого вакуума и с ограничениями, налагаемыми характеристикой оборудования, которые не позволяют получить желаемую степень разряжения. Следует сослаться на ряд ценных книг по высоковакуумной технике [1317, 1677, 2197], где рассмотрены типы форвакуумных и диффузионных насосов, с помощью которых достигается предельное давление, приборы измерения давления и принципиальное устройство охлаждаемых ловушек и вакуумных линий. Выбор материала для построения вакуумной системы связан с областью применения данного прибора и с обеспечением возможности быстрого ремонта и модификации в процессе работы. Сложность системы, используемой для введения образца, зависит от разнообразия проблем, изучаемых на этом приборе. Например, проблемы, связанные с анализом твердых материалов при использовании источников с поверхностной ионизацией, требуют совершенно иной аппаратуры по сравнению с анализом очень малых количеств газовых образцов. Ввиду того что привести детальное рассмотрение всей области применения невозможно, следует сконцентрировать внимание на требованиях, предъявляемых к системам для исследования образцов промышленности органической химии. [c.144]

    Вакуумная система стойки состоит из двух ступеней — предварительного разрежения и высокого вакуума. Схема системы приведена на рис. 8. Предварительное разрежение создается форвакуумным насосом 19. Откачка производится через форвакуумную ловушку 16 и форвакуумный баллон 8 или высоковакуумный вентиль 15. Форвакуумный насос отделяется от форвакуумного баллона, блока электрометрического каскада и диффузионных насосов вентилями 5, 6 и 7. Вентиль 17 предназначен для напуска атмосферного воздуха в систему. Высокий вакуум создается диффузионными парортутными насосами 1 и 21 типа ДРН-10 и высоковакуумными экономичными ловушками 4 и 20 о. жидким азотом. Один из насосов используют для откачки источника ионов и прилегающей к нему части камеры анализатора, второй —для откачки остальной части камеры. [c.13]


    С помощью двух диффузионных насосов с высоковакуумными ловушками и форвакуумного насоса в аналитической части масс-спектрометра (источник ионов, камера анализатора и приемник ионов) создается глубокий вакуум. Анализируемая газовая смесь поступает из системы напуска через соответствующий натекатель в ионный источник. Благодаря раздельной откачке камеры анализатора и ионного источника обеспечивается достижение максимального разрежения в камере анализатора по сравнению с таковым в источнике ионов для устранения в ней вторичных ионно-молекулярных процессов. [c.25]

    Тем не менее проводится значительное число работ, посвященных изучению адсорбции, в которых необходимо получать свежие поверхности в системах со сверхвысоким вакуумом. Давления, меньшие 10" мм рт. ст., можно теперь получать довольно обычным способом [4], а некоторые ученые [6—9] проводили исследования даже нри давлении 10" мм рт. ст., используя титановые диффузионные насосы и насосы с жидким гелием. Имеется обширная литература, посвященная высоковакуумной технике. Так, в работе [10] читатель может найти сведения о процессах, ограничивающих давления, которые можно получить в вакуумной системе, а в работах [11—15] обсуждаются вопросы применения ионизационных манометров и масс-спектрометров для измерения очень низких давлений. [c.68]

    Для предварительной откачки объема и адсорбцион-ного насоса используют механические насосы с масляным уплотнением, двухроторные или диффузионные насосы с защитными ловушками и др. Предварительная откачка позволяет резко снизить давление гелия и неона в откачиваемом объеме, поэтому предельное давление высоковакуумного насоса определяется в основном остаточным давлением водорода, который выделяется с поверхностей вакуумной системы, горячих элементов манометров, установки и т. д. [c.143]

    Чтобы исключить возможность столкновения образовавшихся в ионизационной камере ионов с нейтральными молекулами, во всей системе масс-спектрометра с помощью высоковакуумных диффузионных насосов создается разрежение до остаточного давления 10 —10 мм. рт. ст. [c.9]

    В разборных высоковакуумных системах, типа той, что представлена на рис. 87, для подсоединения к входу ГТ обычно используются два определенных участка системы. Первый — это линия предварительной откачки между камерой и вращательным насосом, а второй — линия предварительного разрежения, связывающая механический и диффузионный насосы. Для подсоединения к ГТ на обоих указанных участках системы должны быть предусмотрены вакуумные вентили со штуцерами длиной около 5 см и наружным диаметром около 20 мм. Непосредственно само соединение [c.313]

    Аппаратура и методика исследования. Всю использовавшуюся в работе аппаратуру изготовляли из никеля и сплава монель. Отдельные узлы установки при помощи трубопроводов подсоединяли к высоковакуумной системе, состоявшей из форвакуумного и масляного диффузионного насосов, к баллонам с гелием и фтором и к измерительной системе — манометру Бурдона с автоматической записью давления. Для соединения отдельных частей аппаратуры  [c.125]

    Предварительное разрежение создается механическим насосом 11. Вентиль 12 предназначен для отделения высоковакуумной части установки от системы предварительного разрежения. Предельное давление достигается с помощью диффузионного насоса 13, для которого измеряется быстрота откачки. Измерительный колпак 8 предназначен для создания рассеянного потока воздуха. Колпак представляет собой герметичную камеру того же сечения, что и сечение насоса, с высотой, примерно равной диаметру этого сечения. Натекатель 5 [c.183]

    В высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах с паромасляными диффузионными насосами. Обладают значительно меньшей удельной проводимостью по сравнению с механическими и низкотемпературными охлаждаемыми ловушками. [c.165]

    В вакуумной системе, построенной по схеме 1 табл. 14.2, предварительная откачка изделия производится механическим вакуумным насосом 7, снабженным сорбционной ловушкой 13, через цельнометаллический прогреваемый кран 9 и электромагнитный клапан 12. Высоковакуумная откачка осуществляется через цельнометаллический кран 3 пароструйным диффузионным насосом 1, снабженным прогреваемой двухъярусной жалюзийной ловушкой 2. Обезгаживание ловушки 2 производится в два этапа сначала прогревается вся ловушка без подачи жидкого азота затем в нижний ярус подается жидкий азот, в то время как верхний ярус ловушки продолжает нагреваться. Через 30— 40 мин выключается нагрев верхнего яруса, и в него также подается жидкий азот. [c.271]

    В этой схеме золотник 4 расположен между откачным гнездом и пароструйным диффузионным насосом, и для надежной работы золотника его вакуумные каналы защищены кольцевыми проточками, заполняемыми вакуумным маслом либо откачиваемыми механическим вакуумным насосом. Вследствие большой протяженности высоковакуумных коммуникаций и негерметичности золотника такие вакуумные системы даже при тщатель-к-ом изготовлении всех элементов обеспечивают давление в системе не ниже 0,1 Па. [c.284]


    В камерах 9—11 осуществляется постепенное повышение давления до атмосферного. Как видно из схемы, каждая высоковакуумная камера (с 3 по 9) откачивается индивидуальной вакуумной системой, состоящей из механического насоса 17, электромагнитного клапана 2/, пароструйного диффузионного насоса 18, затвора 19 и манометрического преобразователя 12. Предварительная откачка этих камер до давления 10—1 Па производится одним вакуумным агрегатом, состоящим из двухроторного вакуумного насоса 16, механического вакуумного насоса 15 и клапана-натекателя 14. [c.290]

    Вакуумные переключения осуществляются кнопками с пульта, расположенного на стенде. В верхней части пульта установлены сигнальные лампочки, в нижней части — кнопки управления моторами переключателя клапанов вакуумной системы. Сигнальные лампы показывают, какой клапан в данный момент открыт. Вращение оси кулачка клапанной коробки происходит в одну сторону. Сначала открывается клапан диффузионного насоса и в насосе создается форвакуум. Дальнейший поворот кулачкового валика открывает клапан колонны электронографа, расположенный в нижней части клапанной коробки и форвакуумный насос соединяется с колонной. Затем кулачковый валик устанавливается в положение откачки диффузионного насоса, при этом он проходит через положения, при которых все клапаны закрыты. В этот момент можно открывать высоковакуумный клапан и откачивать диффузионным насосом колонну электронографа. [c.235]

    Применение металлических вакуумных систем для изотопного анализа водорода не рекомендуется, во всяком случае всю высоковакуумную часть, идущую после диффузионного насоса, следует делать стеклянной. Желательно для вакуумных кранов применять специальные смазки, не содержащие углеводородов. Условия тренировки системы при этом значительно облегчаются. Это существенно главным образом при определении малых примесей водорода в дейтерии. [c.264]

    Опишем некоторые конструкции охлаждаемых ловушек, применяемых в вакуумных насосах для различных давлений. Для предотвращения попадания рабочей жидкости из бустерного насоса в область предварительного разрежения применяют дисковый конденсатор, охлаждаемый водой (рис. 269). Проскок рабочей жидкости через такой конденсатор в рабочем диапазоне давлений насосов БН-2000 и БН-4500 не превышал 0,4 —0,6 см /ч при работе на масле Г [45]. Низкотемпературные ловушки, устанавливаемые после диффузионных насосов, позволяют получать в хорошо обезгаженных системах предельное давление 10 мм рт. ст. для паромасляных насосов и 10" мм рт. ст. для парортутных. На рис. 270 приведена схема типовой ловушки для высоковакуумных агрегатов отечественного производства. Ее применяют, когда диаметр трубопровода, в котором должна быть установлена ловушка, превышает 80 мм. К охлаждаемому стакану, находящемуся вне трубопровода, присоединена медная трубка 3, к которой припаивают наклонные лопатки 2, установленные в трубопроводе в два ряда. Пар конден-3 36 [c.336]

    Определение течи с помощью разрядной трубки.Способ разрядной трубки применим для вакуумных систем, изготовленных из любого материала. Если включить разрядную трубку в высоковакуумную систему между диффузионным и механическим форвакуумным насосом, а затем обдувать систему пробным газом (углекислым газом, метаном, парами спирта, ацетона, бензина, эфира), то при попадании газа через течь внутрь вакуумной системы цвет разряда изменится. Наиболее чувствительным индикатором является углекислый газ. При отсутствии легколетучих углеводородов можно опрыскивать систему водой при попадании паров воды в разрядную трубку свечение становится голубым. Углекислый газ дает также голубое свечение, водород—красное. Чувствительность такого метода можно повысить применением спектроскопа для наблюдения за разрядом. Если в системе отсутствует высоковакуумный диффузионный насос, то разрядную трубку подключают к трубопроводу, идущему от системы к механическому насосу. Для отыскания течей таким методом наиболее пригодны давления 0,1—1 мм рт. ст. Не следует забывать о возможности взрыва водорода в присутствии электрической искры. Гелий имеет такую же проникающую способность, как и водород, но менее взрывоопасен. [c.561]

    Из рассмотрения принципа действия эжекторных сопел следует, что они, вобще говоря, не предназначены для присоединения непосредственно к высоковакуумной системе и могут служить лишь в качестве вспомогательных, т. е. промежуточных сопел, располагаемых между высоковакуумным (диффузионным) соплам и насосом предварительного вакуума. Существуют и специальные эжекторные насосы, в конструк.цию которых входят только эжекторные сопла. Такие насосы рационально использовать также в качестве вспомогательных насосов, располагаемых между диффузионными и вращательными масляными насосами. Применение их в качестве самостоятельных насосов, непосредственно присоединяемых к вакуумной системе, оправдывается лишь в тех случаях, когда требуется быстрое разрежение до не очень высокого вакуума, чего нельзя получить от вращательных масляных насосов. [c.111]

    Система состоит из двух частей, которые по мере необходимости подпаиваются к вводу в источник одна служит для введения газообразных продуктов, вторая — для испарения и введения жидких образцов. Откачка обоих систем производится форвакуумным и диффузионным насосами. Обе системы изготовлены из стекла. Натекатель /5 представляет собой платиновую фольгу с 4—5 отверстиями диаметром 10—15 мк, фольга впаяна в стеклянную трубку, которая соединяется через коваровый переход с источником. Намотка из стеклянной ткани со вшитой в нее нихромовой проволокой обеспечивает равномерный, регулируемый с помощью автотрансформаторов (ЛАТР) обогрев системы. Высоковакуумные вентили обогреваются специальными печами. Исследуемый образец в количестве 10—25 мг помещается в пробирку /2, которая присоединяется к системе. Пробирка охлаждается жидким азотом, откачивается до давления 10 —10 мм рт. ст. Через 3—4 мин откачка прекращается, насосы отсекаются от системы напуска, а исследуемый продукт испаряется в баллон напуска 14. [c.43]

    В вакуумной системе (рис. 7.46, в) выпускной патрубок пароструйного диффузионного насоса 2 с маслоотражателем 3 в отличие от вышеописанных схем присоединен к вспомогательному (бустерному) насосу 10, работающему на форвакуумный бачок 8 и механический вакуумный насос 1. Установка бустерного насоса между пароструйным и механическим вакуумным насосами обеспечивает возможность проведения технологического процесса с интенсивным газоотделением и получение разрежения порядка (3-4-5)10- тор. Важным преимуществом этой системы является хорошее обезгаживаиие рабочей жидкости пароструйного диффузионного насоса. Высоковакуумная откачка изделия производится через вентиль 5. Байпасная откачка изделия осуществляется механическим вакуумным насосом 1 через вентиль 4. Во время этой откачки угловой вентиль 9 закрыт, а насос 10 работает на форвакуумный бачок 8. [c.459]

    Высоковакуумные ловушки, заполняемые жидким азотом, предотвращают попадание в камеру анализатора и в источник иоиов паров ртути из диффузионных насосов и одновременно увеличивают скорость откачки паров из системы. Высоковакуумные вентили, которые отсоединяют камеру анализатора от высоковакуумных ловушек, позволяют напускать атмосферный воздух в камеру анализатора и источник ионов без выключения и охлаждения диффузионных насосов (при смене источников иоиов, чистке камеры, смене катода и других операциях). Вентиль, отключающий фор-баллон от диффузионных насосов защищает насосы и ловушки от попадания загрязнений при прогреве форбал-лона. [c.35]

    В масс-спектрометре МХ-1303 ввод образца в ионный источник обеспечивается системой, схема которой вместе с усовершенствованиями, внесенными в систему авторами, изображена на рис. 12. Эти изменения позволили вводить в баллон напуска вещества, выкипающие до 200° С, минуя шлюз. Система напуска, выполненная в виде отдельной стойки, имеет самостоятельную вакуумную систему, предназначенную для откачки баллона напуска и вакуумных коммуникаций перед анализом и для ввода анализируемой пробы в баллон напуска. Предварительное разрежение создается форвакуум-ным насосом типа ВН-461 производительностью 50 л1мин. Для создания высокого вакуума служит ртутный диффузионный насос типа ДРН-10. Давление в системе измеряется при помощи блока, датчики которого — термопарные манометрические лампы типа ЛТ-4М — установлены на форвакуумном насосе и баллоне. На высоковакуумной ловушке установлены датчики ионизационного манометра (лампы ЛМ-2), [c.40]

    Высоковакуумная система триплетного калориметра принципиально не отличается от системы в предыдущей контрукции [28], за исключением некоторых изменений (рис. 23). Вокруг триплетного калориметра 1 смонтирована термостатируемая водой медная труба диаметром 90 мм и длиной 40 см. Все тепловые экраны и ловушки для пара сняты. Испаряемое вещество конденсируют на охлаждаемый водой отражатель 2 масляного диффузионного насоса 3. Несконденсированные соединения откачивают через диффузионный насос, где они частично разлагаются. Пары, которые проходят через диффузионный насос, собираются в масле форвакуумного ротационного насоса 4. После 70-100 опытов диффу зиои- [c.43]

    Рабочей жидкостью диффузионного насоса является ртуть или специальные масла с низкой упругостью пара. Кроме малой упругости пара, рабочая жидкость должна обладать ниакой температурой кипения и неизменностью состава при длительном нагревании в вакууме.. Применяемые масла большей частью представляют собой смесь различных соединений (фракций), отличающихся друг от друга упругостью пара. Бо время работы насоса может происходить частичное разложение масла, в результате чего образуются более легкие фракции, которые не позволяют достигать глубоких степеней разрежения и снижают скорость Откачки. В связи с этим,в паромасляных насосах широко применяется ступенчатая фракционирующая система, которая позволяет ориентировать различные фракции соответствующих паро-проводящих камерах с последующим выходом пара из системы сопел. Фракционирующая система представляет собой комбинацию нескольких (обычно двух-трех) взаимосвязанных ступеней испарения, соединенных с соплами, в каждой из которых действует определенная фракция масла. Отдельные ступени насоса (.паропровод вместе с соплом) находятся во взаимозависимости и в конструктивном отношении представляют одно целое. В таком виде ф])а К1Ционирующая система высоковакуумного насоса может работать неограниченно долгое время. Образующиеся каждый раз наиболее легкие фракции масла остаются и действуют во внешней камере и внешнем сопле. Фракции, обладающие наименьшей упругостью пара, не успевают испаряться во внешних камерах и перетекают в центральную часть, где они превращаются при определенной температуре в пар, которым питается центральное сопло. [c.482]

    Предварительное разрежение в вакуумной системе масс-спектрометра создается форвакуумным насосом ВН-461 производительностью 50 л1мин, высокий вакуум — диффузионными парортутными насосами ДРН-10 производительностью 7—10 л1сек. В масс-спектро-метре применены разборные высоковакуумные ловушки с жидким азотом, служащие для вымораживания паров ртути, проникающих из диффузионных насосов в откачиваемые объемы, а также для улавливания паров воды. Вакуум в источнике ионов и камере анализатора контролируется ионизационным манометром с двумя переключающимися датчиками, давление в форвакуумной части — термопарным манометром. [c.24]

    Предварительное разрежение в вакуумной системе аналитической части создается форвакуумным насосом ВН-461М, откачивающим камеру анализатора через форвакуумный баллон. От попадания масла из насоса баллон предохраняет форвакуумная ловушка. Высокий вакуум обеспечивают два диффузионных парортутных насоса, откачивающих источник ионов и камеру анализатора. Высоковакуумные ловушки, заполняемые жидким азотом, служат для улавливания паров ртути, образующихся в диффузионных насосах. Давление в форвакуумной части контролируется термопарным манометром, датчики которого установлены на форвакуумном баллоне и входе форвакуумного насоса. Высокий вакуум в источнике ионов и камере анализатора измеряется ионизационным манометром с пределами измерения Ы0 —МО мм рт. ст. [c.36]

    Полностью прогреваемые системы. Эта категория включает в себя системы, сконструированные таким образом, что в них могут прогреваться не только корпус, но и базовая плата вместе с ее уплотнением, а также и все элементы, подсоединенные ниже этой платы . Основная трудность этой задачи связана прежде всего с прогревом соединений. Можно использовать стеклянные системы на основе спаев стекла с металлом или стекла со стеклом. Однако применение таких систем ограничено из-за относительно небольших характерных для них размеров и сложности процедуры их вскрытия и герметизации. Такие системы можно сделать также разборными, если использовать для уплотнения металлические прокладки, см. разд. 4Б, 3). Тип корпуса вакуумной камеры определяется в первую очередь выбором метода соединения. Паяные стеклянные соединения обусловливают использование небольших стеклянных колб или ламп, тогда как ка основе соединений с металлическими прокладками можно создавать универсальные металлические камеры больших диаметров (для исследовательских работ). Для отжига камера, базовая плита и все подсоединяемые к ней компоненты накрываются электрическими печами. В прогреваемых системах одинаково часто применяются как диффузионные, так и геттеро-ионные насосы. Варианты конструкций таких систем обсуждаются в работе Зафирополоса и де Теддео [297]. Использование диффузионного насоса в таких системах требует более тщательного устройства отражателей и ловушек, чем это требуется для стандартных оперативных на-пылительных установок. Для увеличения быстроты откачки и улучшения предельного вакуума широко практикуется дополнительная откачка с помощью криопанелей или геттерных насосов. Как оказалось, очень эффективным способом задержки обратной миграции масла из насоса является установка на высоковакуумной стороне колпака титано-геттерного насоса последовательно с цеолитовой ловушкой [298]. [c.299]

    На рис 5-61 изображен вспомогательный паромасляный насос БН-3, выпускаемый нашей промышленностью. Корпус насоса 1 представляет собой стальной цнлиндр с расширением 2 в нижней части, переходящим в испаритель 3 с днищем 6. Впускным фланцем 5 насос присоединяется к выпускному патрубку высоковакуумного (диффузионного) насоса или, если требуется, непосредственно к вакуумной системе. Выпускной патрубок 4 имеет расширение 10 для улавливания масла и фланец 9 для присоединения к насосу предварительного вакуума. Масло со стенок холодильника стекает по трубке 7. Охлаждение осуществляется змеевиком 15. Алюминиевый паропровод 13 имеет два сопла 9 131 [c.131]

    Низкотем- пературные охлаждае- мые Ловушки с хладагентом Ловушки с автономным микроохладителем Конденсация паров рабочей жидкости на защитных элементах, охлаждаемых жидким азотом 2,8.10- - 2,8.10- (2,2-8,3). 10-" В высоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах с паромасляными и парортутными насосами для надежной защиты откачиваемого сосуда от паров рабочей жидкости. В высоковакуумных системах с па-ромаслян ми диффузионными насосами [c.164]

    Вакуумная система, построенная по схеме 2 табл. 14.1, отличается от предыдущей наличием высоковакуумного затвора или крана 5, линии предварительной откачки с краном 10, форвакуумного баллона 3 и электромагнитного клапана аварийного закрытия 9. Высоковакуумный затвор 5 изолирует вакуумную систему от контакта с атмосферой во время установки нового изделия. Применение линии предварительной откачки с краном 10 исключает непроизводительные потери времени на охлаждение и разогрев вакуумного насоса. При откачке воздуха из прибора через линию предварительного разрежения пароструйный диффузионный насос 1 с маслоотражателем 4 работает на форвакуумный баллон 3, который отделен в это время от механического вакуумного насоса 2 электромагнитным клапаном 9. Клапан 9 выполняет также роль защитного устройства, предотвра-266 [c.266]

    Давление газа в разрядной трубке измеряется укороченным манометром Мак-Леода (5), маслянным и-образным манометром 4), в котором используется высоковакуумное силиконовое масло. Свободные атомы получаются в проточной системе. Откачка ведется форвакуумным насосом ВН-461м (5) и диффузионным насосом Н1-С2 (6). Система позволяет получить вакуум до 10 тор, измеряемый вакуумметром (26). Скорость потока газа и давление в разрядной трубке регулируются системой параллельно включенных через небольшие краны капилляров (7). Способ изготовления и калибровки капилляров описан в [1891. Диаметры капилляров лежат в пределах от 0,05 до 0,2 мм, а их пропускная способность при перепаде давления в 1 атм может меняться от 3 [c.124]

    Прибор, сконструированный авторами [162] (рис. 51), свободен от указанных недостатков. Он состоит из. татунной муфты с кварцевой трубой, вакуумного шлюза, отгороженного от кварцевой трубы вакуумной заслонкой, и держателя с подвижным конденсатором паров. Муфта присоединяется к диффузионному вакуумному насосу. Вакуумный шлюз соединен со вспомогательной высоковакуумной системой. В кварцевой трубе на специальной подставке располагается эффузионная камера. Сменный очередной приемник паров в виде фасонного сосуда Дьюара мог вводиться в зону нагрева камеры и выводиться из нее через вакуумное уплотнение и вакуумный шлюз без нарушения вакуума в кварцевой трубе. Нагрев камеры осуществлялся током высокой частоты при помощи внешнего индуктора. [c.50]

    Вакуумная система. Вакуумная система позволяет получать и поддерживать в процессе работы вакуум 1 2 - Ю мм рт.ст., а также осуществлять в колонне микроскопа шлюзование камеры объекта и фотокамеры, Кроме того, вакуумная система обеспечивает работу прибора пе менее 5 ч с выключенным. механическим насосом, что необходимо для предотвращегл1я вибрации колонны в процессе работы. Вакуумная система состоит из следующих основных узлов стояка, вакуумного реле, высоковакуумного клапана, распределительного клапана, комбинг.-рованной ловушки, вакуум]юй камеры, обходного клапана ловушки предварительного разрежения, диффузионного насоса НК-2, вспомогательного диффузионного насоса Н-005, баллона предварительного разрежения и механического насоса РВН-20, [c.271]

    Насосы, способные давать разрежение порядка 10 мм рт. ст., обычно могут работать лишь при условии, что откачиваемый ими газ выбрасывается в пространство с давлением не выше 0,01 мм рт. ст. Поэтому кроме основного (высоковакуумного) насоса необходимо пользоваться еще предварительным (форвакуум-ным) насосом, который создает требуемое промежуточное давление в особом резервуаре (форбаллоне), служащем приемником для газов, удаляемых из эвакуируемой части прибора. Существуют различные конструкции насосов обоих типов. Наиболее распространенная система состоит из масляного ротационного насоса для предварительного разрежения (форвакуума) и ртутного или паромасляного диффузионного насоса, дающего высокий вакуум. [c.14]


Смотреть страницы где упоминается термин Диффузионные насосы в высоковакуумных системах: [c.189]    [c.321]    [c.411]    [c.13]    [c.183]    [c.200]   
Технология тонких пленок Часть 1 (1977) -- [ c.295 , c.304 ]




ПОИСК





Смотрите так же термины и статьи:

Диффузионные высоковакуумные насосы

Насос системы

Насосы диффузионные



© 2025 chem21.info Реклама на сайте