Установка для очистки от кремния

Если имеется установка для извлечения четыреххлористого кремния, очистка отходящих газов проводится после этой стадии. [c.525]

Очищаемое вещество помещают в лодочку из очень чистого графита (при очистке германия) или из кварца (при очистке кремния). Лодочку помещают в горизонтальную трубу, у которой один конец запаян или через него подают инертный газ. Если он запаян, то другой конец трубы соединен с вакуумной установкой. Кварцевую трубу в отдельных местах охватывают двумя-тремя витками тугоплавкого провода, откачивают газы из нее, на витки провода подают напряжение от высокочастотного генератора. Вещество плавится индукционными токами в [c.261]

Очищаемое вещество помещают в лодочку из очень чистого графита (при очистке германия) или из кварца (при очистке кремния). Лодочку помещают в горизонтальную трубку, у которой один конец запаян или через него подают инертный газ. Если он запаян, то другой конец трубы соединен с вакуумной установкой. Кварцевую трубу в отдельных местах охватывают двумя-тремя витками тугоплавкого провода, откачивают газы из нее, на витки провода подают напряжение от высокочастотного генератора. Вещество плавится индукционными токами в узких областях витков, где возникает непосредственный контакт жидкой н твердой фаз. Затем витки или лодочка перемещаются со скоростью 2—3 см/ч, вместе с тем перемещаются и зоны плавления вдоль лодочки, На рис. 81 указано перемещение лодочки вправо, значит, все три зоны плавления двигаются вдоль лодочки влево. Примеси, для которых /С<1, концентрируются в зонах плавления и вместе с ними перемещаются к концу слитка влево. Справа от зон плавления образуются слои вещества, более чистого относительно большинства примесей, так как для них /< <1. Те примеси, для которых /(>1, наоборот, попадают в слои слитка справа от зон плавлення. Если осуществить прохождение зон плавления справа налево по слитку много раз, то примеси с /С<1 соберутся в конце слитка слева. Для примесей с /(>1 метод мало эффективен. Самые чистые части слитка (из середины) используются для изготовления приборов. Таким методом можно очистить германий до образцов с [c.324]

Как фтористый водород, так и четырехфтористый кремний очень хорошо растворимы в воде на большинстве промышленных установок это свойство используют для борьбы с выбросами фтористых соединений. Так как очистке должны подвергаться большие объемы отходящего газа низкого давления, конструкция абсорбционной аппаратуры в значительной степени определяется требованием минимального гидравлического сопротивления. Большое значение при выборе аппаратуры для очистки газов от фтористых соединений имеют также малые капиталовложения и эксплуатационные расходы, поскольку регенерация получаемых кислых растворов обычно нерентабельна. На выбор конструкции абсорберов для очистки газа от фтористых соединений влияют также присутствие в газовом потоке твердых взвесей и образование твердых веществ в результате реакций, протекающих в промывочной жидкости. Поэтому па установках очистки газа от фтористых соединений обычно применяют абсорберы с распыливанием воды форсунками или с хордовой насадкой с относительно большим живым сечением. Выходящий из абсорбера раствор можно возвращать в процесс для повышения концентрации кислоты, обрабатывать известью для осаждения ионов фтора, или сбрасывать в канализацию без дальнейшей переработки. [c.124]

Схема установки для зонной плавки приведена на рис. 100. Если почему-либо (например, из-за трудностей с подбором материала) нежелательно соприкосновение расплава с контейнером, пользуются методом бестигельной зонной плавки. Здесь расплавленная зона, как видно на рис. 101, удерживается в соприкосновении с твердой частью слитка силами поверхностного натяжения. Этот вариант зонной плавки применяется, в частности, для очистки кремния. [c.383]

Полученное вещество содержит некоторое количество растворенного хлора, его отделяют перегонкой тетрахлорида через раскаленную трубку с кремнием, которую помещают между перегонной колбой и холодильником. При этом образуется некоторое количество полихлоридов. Более простой метод очистки продукта от хлора — настаивание тетрахлорида со ртутью, образовавшуюся при этом каломель и избыток рт тн отделяют фильтрованием, а фильтрат для окончательной очистки перегоняют. Для получения значительных количеств хлорида кремния (IV) используют установку (рнс. 7). [c.183]

Одна из возможных схем установки изображена на рис. 82. Рабочей камерой является кварцевая труба 3. Сверху и снизу она закрывается головками 2 я 4, между которыми устанавливается образец кремния в виде вертикально расположенного стержня. Индуктор 5 охватывает кварцевую трубу снаружи и обеспечивает расплавление зоны, которая может перемещаться за счет передвижения рабочей камеры со скоростью 0,5—10 мм мин. Очистка может происходить в вакууме или в атмосфере инертного газа. [c.263]

Окончательную очистку паров четыреххлористого кремния от твердых хлоридов и других примесей проводят в дополнительном сухом конденсаторе, обогреваемом паром, либо в скруббере, орошаемом четыреххлористым кремнием. При мокрой очистке достигается практически полное удаление всех твердых частиц, однако такая установка громоздка и требует дополнительных энергетических затрат. [c.538]

Некоторые видь растворителей и других летучих продуктов можно сжигать только на установках с обязательной полной очисткой дымовых газов. Без этого нельзя сжигать соединения, содержащие ртуть, свинец, мышьяк, кремний, марганец, фосфор, галогены, нитросоединения, амины, цианиды и другие, образующие весьма дисперсные и/или токсичные продукты сгорания. [c.262]

Сообщается о работе промышленно ректификационной колонны для глубокой очистки моносилана [125]. Схема промышленной колонны изображена на рис. V-9. Теплоизоляция частей установки осуществлялась с помощью пенопласта ПС-4. После очистки моносилан направлялся в"аппараты для термического разложения с целью получения компактного поликристаллического кремния. С введением в эксплуатацию данной колонны стало возможным получение кремния высокого качества. Такой кремний был успешно использован при изготовлении приборов специального назначения (счетчиков ядерного излучения и др.). [c.200]

Следует также подчеркнуть, что диаграмма применима только для равновесных условий. Например, в экспериментальных установках выбор меди при 500 С для очистки газов от кислорода может показаться сомнительным. При 500°С соответствующее равновесное давление кислорода составляет 10" атм. Более низкие температуры могут дать более низкие потенциалы, но только при уменьшении скорости потока (или при использовании каталитической меди) в противном случае состав газа будет более далеким от равновесия, и кислородный потенциал его будет выше. Температуры вьппе 500°С предпочтительны с учетом кинетики реакции, но за счет более высокого равновесного кислородного потенциала. Эксперимент показывает, что температура 500°С является оптимальной. Можно также отметить, что медь часто предпочитают другим металлам (кремнию или магнию) и по другим причинам. Она доступна и легко подвергается регенерации (т. е. восстановлению оксида) путем обработки водородом кроме того, очень низкие значения кислородного потенциала все равно нельзя сохранить в газовом потоке из-за неизбежной негерметичности аппаратуры. [c.131]

Автоматическая установка для сожжения представляет собой самостоятельный агрегат (рис. 1), который можно использовать как при автоматическом, так и при весовом окончании анализа. Она состоит из кварцевой трубки для сожжения, одной подвижной (движуш,ейся со скоростью 15 мм/мип) и двух неподвижных печей и устройства для предварительной очистки кислорода. Сожжение происходит в кварцевом контейнере, который омывается снаружи быстрым током (150 мл/мин) 0 (рис. 2). Мешаюш,ие элементы и соединения удерживаются специальными реагентами в пределах контейнера (фтор, кремний, частично фосфор) или в [c.324]

Созданы установки для осуществления процесса экстрактивной ректификации, обеспечивающие возможность получения ультрачистых веществ, и проведены конкретные разработки методики глубокой очистки хлорпроизводных кремния (Г, 3, Блюм). [c.15]

Разработана экстракционная измерительная аппаратура для определения газообразующих примесей (углерод, водород, азот и кислород) в кремнии. Нагревание образца производили в высокочастотном поле. Очистку кислорода и гелия осуществляли с помощью гранулированной окиси меди и молекулярными ситами. Измерительной частью установки служил промышленный хроматограф Цвет-4 с измененной схемой потока газа-носителя. Количественный анализ производили методом абсолютной калибровки по высотам пиков. Предельная чувствительность прибора, используемого при обнаружении углерода, водорода, азота и кислорода в кремнии составляла в зависимости от природы газа от 1.10 до 7.10 моль. Табл. 3, рис. 4, библ. 18 назв. [c.235]

Литий реагирует с водородом при температуре выше 440 °С с образованием гидрида при 600—630°С реакция протекает очень бурно. Поскольку литий и гидрид лития выщелачивают кремний из стекла и фарфора, а пары гидрида при температуре синтеза создают значительное давление, при проведении реакции следует соблюдать особые меры предосторожности. Лучше всего синтез проводить в фарфоровой трубке, облицованной внутри на протяжении всей обогреваемой зоньг листовым никелем. Литий гидрируют в лодочке из листового железа, полученного электролизом. Для полной очистки железных и никелевых частей установки от оксидов ее вместе с лодочкой нагревают до 800 °С в потоке чистого сухого водорода (водород, полученный электролизом, пропускают над паллади-рованным асбестом при 300 °С, СаСЬ и Р4О10). После охлаждения литий очищают парафиновым маслом, промывают безвод-ньш эфиром, помещают в железную лодочку, поверхность которой полностью очищена от оксидов, и во влажном состоянии как можно быстрее вносят в установку. Вакуумируют, нагревают до 200°С для удаления остатка растворителя, пропускают через установку поток водорода и продолжают нагревание. При 440 °С начинается поглощение водорода, которое энергично протекает при 600—630°С. В этот момент устанав- [c.602]

Описана зонная очистка иодида кремния с помощью установок непрерывной зонной плавки [17—19], а также укрупненной установки [20]. [c.45]

Процесс водородного восстановления осуществляется по схеме, изображенной на рис. 9.2. Очищенный тетрахлорид кремния подается из установки конечной очистки 1 в особый испаритель 3, который обеспечивает производство постоянного во времени количества паров тетрахлорида кремния. Пары тетрахлорида кремния уносятся из испарителя небольшим током чистого водорода по газопроводу к установке восстановления. Перед входом в камеру восстановления 4 к образованной паро-газовой смеси хлорида кремния и водорода добавляется такое количество водорода, чтобы молярное отношение хлорида к водороду составляло от Уго до /бо- Эта обогащенная водородом паро-газовая смесь поступает в камеру восстановления 4. Камера восстановления представляет собой герметичную водоохлаждаемую камеру, изготовленную из специальной нержавеющей стали, в которой на [c.417]

В установку газораспределения входят система очистки водорода и система стабилизации и -правления расходом водорода. Водород подается в камеру установки выращивания по двум самостоятельным каналам. Проходя по первому каналу, водород попадает в стакан с тетрахлоридом кремния. Здесь газ проходит над поверхностью тетрахлорида, находящегося при определенной температуре, и насыщается его парами. [c.431]

Описана автоматическая установка для вытягивания кремния методом плавающей зоны с одновременной очисткой монокристалла методом зонной плавки (см., например, [21, стр. 119—121). При этом удаляются примеси, для которых ж достаточно отличается от 1. Бор, не удовлетворяющий этому условию, по предложению [82], может быть удален пропусканием паров НгО, причем кинетика процесса [c.616]

Переработка порошкообразного кремния в потоке ВЧ-плазмы азота осуш ествлена на установке, схема которой приведена на рис. 4.51 [141]. Частицы кремния размером 20—120 мкм вводили в поток через 8 радиальных каналов, они испарялись и взаимодействовали с азотом, после чего производилась закалка полученных продуктов. Установлено, что в отсутствие закалки образование нитрида кремния не наблюдается. Наибольшее содержание азота в продукте обеспечивается введением закалочного газа на расстоянии, соответствующем Ь/О = 0,3—0,5 при перпендикулярном вводе исходного порошка и Ь 0 == 0,45-—0,7, если порошок подается под углом 15° к оси потока. Газы после реакции проходили через циклон, окончательная очистка достигалась на фильтре. Продукт, собранный в циклоне, наряду с мелкими (менее 1 мкм) содержит круп- [c.290]

Оборудование для научных исследований. Использование космического вакуума в разнообразных экспериментах на борту космического аппарата представляет большой научный и практический интерес для исследования физических свойств поверхности твердого тела, изучения химического состава поверхностей с помощью Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и пр. С этой целью создано различное экспериментальное оборудование. Так, в условиях полета космического аппарата Скайлэб-1У с помощью специальной установки бьши созданы и изучены плавающие зоны для очистки и выращивания монокристаллов химически активных веществ, таких как вольфрам и кремний. Позднее с помощью плавающих зон были выращены монокристаллы тугоплавких окислов. [c.69]

В качестве диоксида кремния используют аэросил с удельной поверхностью 170-380 м /г, которая удовлетворяет требованиям удельного веса пеногасителя для абсорбционных процессов очистки природного газа от кислых компонентов при давлении 4,0-6,0 МПа, производительностью установки по газу 350-600 тыс. м /г. Температура процесса 45-60 С. Полученный состав представляет собой эмульсию белого цвета плотностью [c.272]

Рассмотрим тетраиодидный метод очистки кремния,который основан на получении 5114 пропусканием паров иода над нагретым до 850° С кремнием 5 Ч-212= 5114. Затем 5114 очищают ректификацией, зонной плавкой или другими методами. Коэффициенты распределения примесей в тетраиодиде кремния Ств/Сж обычно меньше 1. Для бора /( = 0,16, что обеспечивает его удаление из зонной плавкой. Для получения кремния из очищенного 5114 последний помещают в испаритель 1 (рис. 83), который нагревают до температуры плавления 5114 ( ь 122°С). Пары 5114 поступают со скоростью 2 г/мии в заранее откаченную установку (рис. 83). Реактор 2 состоит из кварцевой трубы, в которую вставлена другая кварцевая труба, выложенная внутри танталовой фольгой. Весь реактор помещен в печь, нагреваемую до 1100° С. При этом поступающие в реактор пары иодида кремния разлагаются 51145= 51 + 212. Кремний осаждается на танталовой фольге, которая затем отделяется. [c.327]

Предварительная очистка морской воды, как показали длительные испытания опытно-промышленной обратноосмотической опреснительной установки [193], сложнее, чем предочистка солоноватых вод, несмотря на то, что при опреснении морской воды обычно нет необходимости в очистке ее от солей жесткости (так как по экономическим соображениям степень извлечения пресной воды из морской невелика — примерно 30—40% и, следовательно, концентрирование солей в исходной воде мало). Сложность очистки морской воды связана с высоким содержанием в ней органических веществ (водоросли, ил, микроорганизмы и т. п.) и коллоидов кремния, которые обычной фильтрацией практически не удаляются. Для максималыюго их удаления перед песчаным фильтром морскую воду следует обрабатывать коагулянтом. [c.297]

Лодочки — прямоугольные и круглые, как открытые, так и с крышкой, применяют для спекания твердых сплавов, плавки редких и полупроводниковых металлов в электрических печах в защитной атмосфере. Для их изготовления используют графит марок ГМЗ, МГ, МГ-1, ППГ. Для получения материалов для полупроводниковой и электронной техники наряду с графитами ГМЗ, МГ, МГ-1, ППГ используют более плотные марки графита ЗОПГ, МПГ-6, МПГ-8, ГТМ. После дополнительной очистки в среде активных газов при графитации из этих г рафитов чистотой классов ОСЧ-7-3 и ОСЧ-7-4 изготавливают различные конструкционные элементы технологического оборудования. Лодочки и тигли используют для восстановления диоксида германия, синтеза интерметалличе-ских соединений, зонной очистки и вытягивания монокристаллов [38]. Срок службы лодочек из графита марки ГМЗ-ОСЧ при восстановлении достигает 20000 ч, в течение которых она выдерживает до 500 операций, а при зонной плавке - 5000 ч. Графитовые нагреватели, пьедесталы, экраны и другие детали работают в установках для получения монокристаллов кремния, эпитаксиальных структур, карбида кремния и т.п. [38]. [c.253]

Полученные на лабораторной установке силаны, не подвергая предварительно глубокой очистке, анализировали на масс-спектрометре МИ-1305 (таблица). Метод получения моносилана разложением силицида магния ледяной уксусной кислотой имеет следующие преимущества перед методом, применяющим неорганические кислоты в водной среде реакция протекает спокойно, с достаточной скоростью при комнатной температуре газообразный продукт состоит на 92% из моносилана и 7% дисилана, вместо 40% моносилана и 60% высших гидридов кремния вплоть до 515Н12 [12]. [c.158]

Опыт эксплуатации промышленной установки в Англии [27] показывает, что наиболее пригодным материалом для абсорберов очистки газа от четырехфтористого кремния является высококачественный кирпич без желобков, кладку которого осуществляют на латексной замазке гидравлического типа. В США абсорберы чаще всего сооружают из древесины с защитным органическим покрытием, а иногда и без него. Чаши колонп и сборники чаще всего сооруисают из обычного портланд-цементного бетона. Интенсивная коррозия этого материала, по-видимому, предотвращается осаждением в его порах двуокиси кремния и других соединений, образующихся в результате первичной реакции между кремпефтористоводородной кислотой и составляющими цемента. [c.134]

Когда реакция закончится, отключают ловушку от реактора и присоединяют ее к установке для очистки, состоящей из трех больших промывалок с 20-процентным раствором едкого натра и осушительной колонки, наполненной дриеритом. Для испарения жидкости ловушке дают нагреться и образующийся газ пропускают через промывную систему, поглощающую четырехфтористый кремний, который нацело гидролизуется. Выходящий из третьей склянки четырехфтористый углерод высокой степени чистоты может быть сконденсирован или храниться в газометре. [c.168]

Если имеется установка для извлечения тетрахлорида кремния, очистка отходящих газов проводится после нее. В камере очистки отходящих газов с помощью быстро вращающихся мешалок создается туман мельчайших капелек воды, что обеспечивает хороший контакт газа с водой и очистку его от Si U, Ti U, H l и мелких частиц AI I3. Для удаления из отходящих газов хлора в камеру подают также сернистый ангидрид, который восстанавливает хлор до хлористого водорода [c.169]

Окончательно пары тетрахлорида кремния очищают от твердых хлоридов и других примесей в дополнительном сухом конденсаторе, обогреваемом паром, либо в скруббере 8, орошаемом тетрахлоридом кремния. При мокрой очистке все твердые частицы практически полностью удаляются. Однако такая установка громоздка и требует дополнительных энергетических затрат. В скруббере, представляющем собой вертикальную колонну с распределительными тарелками, реакционные газы движутся противотоком жидкому тетрахлориду кремния, который промывает газы, увлекая твердые частицы. Поступающая в кипятильник 9 суспензия отпаривается. Пары Si U после конденсации вновь возвращают на орошение скруббера, а скапливающиеся в кипятильнике твердые хлориды и другие частицы периодически выгружают. [c.197]

На рис. 1-9 показана принципиальная схема установки для осаждения эпитаксиальной пленки кремния. Установка состоит из источника чистого водорода, системы насыщения тетрахлоридом, реакционной камеры и нагревателя. Для очистки от кислорода водород пропускают через ловушку 2, заполненную палладированным алун-дом. Для удаления водяных паров и конденсирующихся газов водород пропускают через вторую ловушку 3, заполненную алюмогелем или силикагелем и охлаждаемую жидким азотом. После этого очищенный водород проходит через сосуд 4 с тетрахлоридом кремния и обогащается его парами. При заданной температуре определенные соотношения между компонентами достигаются путем регулирования скорости потоков З Си и Нг. Восстановление кремния происходит в реакционной камере, которая представляет собой кварцевую трубу, стенки которой охлаждаются проточной водой. Внутри реакционная камера может нагреваться высокочастотным индуктором 6 до температуры 1 300° С. [c.28]

Описание. Умягчение путем замены кальция и магния на натрий является главной областью промышленного ирименения ионообмена. Выбор оптимального метода ионообмена для каждого случая зависит от жесткости воды, содержания в ней кремния, рн и объема воды, подлежащего очистке. Например, глауконитовый песок пригоден для обработки воды с низкой жесткостью. Для этих целей крупные аппараты не дают больших преимуществ и имеют более высокую стоимость на единицу объема. Для воды с большой жесткостью применение смол, обладающих высокой емкостью, обеспечивает меньшие габариты установки и соответственно более длинные периоды между регенерациями. [c.242]

Допускается применение специальных установок другого типа, соответствующих требованиям техники безопасности и не загрязняющих окружающую среду. Запрещается сжигать соединения, содержащие следующие вещества хлор, фтор, бром, свинец, ртуть, хром, цианиды, роданиды, фосфор, бор, кремний, мышьяк, марганец, циклические и ароматические мононитросоединения, динитросоединеия, тринитросоедине-ния, диамиды, амиды, неорганические амины, амины алифатические, ароматические изоцианиды. Все они подвергаются регенерации, уничтожению на установках с полной очисткой дымовых газов или вывозу для захоронения на полигоны. В технологическом цикле многих предприятий широко используются хлорсодержащие растворители. К хлорорганическим растворителям, отходы которых представляют особую опасность для окружающей среды, относятся такие соединения, как дихлорэтан, тетрахлорэтилен, гексахлорбутадиен, этилен-хлорид, винилхлорид, дихлорпропилен и т.д. Распространение этих отходов вызвано быстрым развитием химической промышленности, производства ядохимикатов, синтетических материалов и др., где они используются в качестве растворителей, моющих растворов и пр. [c.216]

Полученный металлотермическими методами металлический кальций может быть загрязнен примесями — более летучими (щелочными, металлами) или менее летучими (алюминием, кремнием, железом). Для очистки кальций-сырец перегоняют при температуре 850° и давлении 0,1 мм рт. ст. в установке, показанной на рис. 23. По окончании перегонки металлический кальций из конденсатора переносят в герметичный стеклянный сосуд или под слой петролей-ного эфира. [c.199]

Разработапный иами метод обескремнивания хромовокислых растворов был проверен на опытной установке по получению чистого хрома. Очистке от кремния и дополнительно от железа были подвергнуты растворы, содержащие 100—110 г/л Сг (VI), 0.1—0.06 г/л Ре , 1.4—1.6 г/л 31 (рН=3.5—4.0). После обработки указанных растворов при температуре 100° в течение 2 часов с добавкой коагулянта (столярный клей 0.1 г/л) оказалось, что количество кремния в растворе уменьшилось до 0.03— [c.225]

Направленная кристаллизация тетрабромида кремния (метод, по нашему мнению, более удобный для кристаллизационной очистки жидкостей, чем зонная кристаллизация [ ]) осуш,ествлялась многократно в традиционном и наиболее рациональном [ ] варианте, а именно с удалением после канодой операции конечного наиболее загрязненного участка образца. Схема установки для направленной кристаллизации 31Вг4 [c.352]

Выполнение анализа. Сожжение, при котором, наряду с углеродом и водородом, определяют также кремний, проводят следующим образом. Трубку для сожжения, предварительно наполненную кислородом, взвешивают и вместе с исследуемым веществом присоединяют к подготовленной для сожжения установке. Во время сожжения температура в зоне нахождения лодочки должна повышаться так, чтобы вещество не накалялось и ни в коем случае не сгорало с образованием пламени. Получающиеся в трубке парообразные продукты разложения окисляются на раскаленной платиновой сетке и могут образовать двуокись кремния в виде дыма, который задерживается фильтром из стеклянной ваты. Если сожжение проводится правильно, то после повышения температуры до 800° С остается бесцветный остаток двуокиси кремния. По охлаждении трубку для сожжения вновь взвешивают ее привес, после вычитания веса лодочки, соответствует весу двуокиси кремния, образовавшейся из вещества. По этой величине вычисляют процентное содержание кремния в веществе. Трубку для сожжеция после взвешивания можно употреблять снова без очистки, так как налет двуокиси кремния не мешает последующим сожжениям. [c.76]

Опыты по полимеризации аллилпроизводных кремния проводили на лабораторной установке, состоящей из узла реактора и узла очистки и осушки аргона. Аргон пропускали через склянку с серной кислотой и, проходя последовательно через колонку с окисью алюминия и фосфорного ангидрида на силикагеле, барботировали через склянку с триэтилалюминием. Далее аргон пропускали через колонку с активированным углем и он поступал в реактор. Реактор снабжался мешалкой (500—800 об/мин), обратным холодильником и специальной капельной воронкой. Рубашка реактора соединялась с термостатом для поддержания заданной температуры. В качестве растворителя применялся абсолютный п.гептан. [c.449]