Кремния карбид определение углерода

Сухой способ. Определение углерода и водорода в кремний-органических соединениях связано с известными трудностями, обусловленными природой этих соединений. Высокая термостойкость многих кремнийорганических соединений является причиной их неполного сожжения при обычном способе анализа, применяемом для чистых органических соединений. При пиролизе кремнийорганических соединений, особенно соединений, содержащих ненасыщенные группы, образуется карбид кремния [1251], который сжигается не полностью и с трудом. Затруднения может представлять и образующаяся мелкодисперсная двуокись кремния, которая легко увлекается потоком газа и оседает в поглотительных сосудах [N64]. Некоторые виды кремнийорганических соединений—легко летучи, а в смеси с кислородом взрываются. [c.216]

Для определения углерода и водорода в кремнийорганических соединениях описан целый ряд методов [N52]. Из более новых работ привлекает внимание метод Гурецкого [N33, N54], в котором применяются пустые трубки , предложенные ранее Коршун и Климовой [N39, N49] для анализа чистых кремнийорганических соединений. Навеску вещества в кварцевой пробирке для взвешивания засыпают сверху окисью меди и подвергают пиролизу в кварцевой трубке, на которую надвигают две электрические печки. Продукты пиролиза увлекаются быстрым током кислорода и проходят последовательно через две электрические печки, в которых происходит сожжение. В части трубки, приходящейся на пространство между двумя печками, помещен фильтрующий слой, который удерживает аэрозоль двуокиси кремния. Климова [1251] при помощи такой установки определяла одновременно еще и кремний. Затруднения, связанные с образованием карбида кремния, устраняются применением катализатора (окись ванадия или хрома), нанесенного на асбест, который одновременно действует как фильтр для тонкодисперсной двуокиси кремния. [c.217]

Разработан метод определения углерода по реакции со смесью бихромата калия и серной кислоты путем определения восстановленного хрома. Метод применен для определения углерода в материалах., содержащих карбиды бора, кремния, фторопласт. [c.217]

Сожжение галогенсодержащих кремнийорганических соединений также характеризуется некоторыми особенностями - . Кремнийорганические соединения, в которых атомы галогенов входят в состав углеводородных радикалов, сгорают, как правило, без образования карбидов кремния. Галогены в таких кремнийорганических соединениях можно определять из одной навески вещества наряду с определением углерода, водорода и кремния методом поглощения галогенов металлическим серебром, помещенным в специальный аппарат, подсоединенный непосредственно к трубке для сожжения, или в лодочку, помещенную в трубку для сожжения. [c.97]

При термическом разложении кремнийорганических соединений, в которых кремний соединен с алифатическими радикалами, особенно с радикалами, имеющими двойные связи, легко образуется карбид кремния. Определение углерода и кремния в таких соединениях обычным методом дает неудовлетворительные результаты. Сожжение этих соединений проводят медленно, в течение 20—40 мин., бесцветным пламенем горелки. Пробирка для навески должна иметь длину 60 мм, внутренний диаметр 7 мм. Точность определения углерода 0,1—0,3% кремния 0,8—1,0%. [c.175]

На определенных участках движения расплава по порам происходит пересыщение кремния растворенным в нем углеродом в результате того, что связь 51—С значительно прочнее связей С — С и 51 — 51, в расплаве образуются кристаллы карбида кремния. При этом раствор обедняется углеродом и создается возможность растворения в кремнии следующей порции углерода. Перекристаллизация карбида кремния через жидкую фазу является одним из путей образования карбида кремния [143] при силицировании углерода. На рис. 86 дана фотография микроструктуры зерен карбида кремния в кремнии, образовавшихся перекристаллизацией через каждую фазу. Образование кристаллов карбида кремния в расплаве кремния приводит к перекрытию пор, и прекращению доступа кремния в глубину заготовки. Следовательно, существует оптимальное соотноше- [c.158]

Если накаливать в электрической печи смесь песка и кокса, взятых в определенном соотнощении, то получается соединение кремния с углеродом — карбид кремния Si , называемый карборундом [c.416]

Широко применяемой калориметрической методикой определения энтальпий образования является сожжение вещества в калориметрической бомбе в атмосфере кислорода. По этой методике были определены, например, энтальпии образования многих оксидов (углерода, кремния, бора, фосфора, серы, магния, алюминия, титана, кобальта и др.) и энтальпии образования ряда соединений, таких, как, например, карбиды, фосфиды, нитриды, фазы переменного состава и т. д. Особенно широко она [c.32]

В настоящее время для получения материалов на основе углерода и карбида кремния существует достаточно большое количество технологий, использующих различные методы образования и спекания карбида кремния. Имеющиеся технологии, как правило, приводят к получению определенного вида материала, состав и свойства которого могут изменяться весьма незначительно в рамках одной технологии. [c.25]

Прямое определение Sb в сочетании с рядом других элементов производится в самых разнообразных материалах, в том числе в алюминии [54, 55, 1134, бериллии и его соединениях [305, 1297], боре [778, 11171 и фосфиде бора [26], ванадии и его окислах [234, 491, 1117], висмуте [809, 909, 1134], вольфраме и его соединениях [195, 739, 795, 1265], вольфрамовых рудах [1480], германии и его соединениях [559, 634, 905], горных породах [386, 730, 1182, 1240, 1336, 1443, 1599], графите и углероде [235, 397, 612], жаропрочных и тугоплавких сплавах [176, 177, 379, 1278, 1593], железе [425, 1134, 14411, железных рудах и минералах [198, 386, 636, 971, 1336], сталях [176, 546, 1278, 1441, 1593] и чугуне [61, 274, 546, 1250], золоте [404, 754, 909, 1095] и его сплавах [196, 389,390, 1167], индии [1168, 1308] и сплавах на его основе [814, 815, 1267], иттрии и его окислах [234, 272], алюмоиттриевом гранате [82], кадмии [598, 599, 1134] и кадмиевых сплавах [819], кобальте [60, 153, 1134], кремнии [252, 1619], кварце [154], карбиде кремния 109, 110, 288, 789, 790, 1353], кремниево-медных сплавах 594], силикатах [1586], технических стеклах [612, 1579], меди 129, 482, 964, 997, 1176, 1599, 1609, 1645, 1654], медных сплавах 96, 482, 1048, 1188, 1457,1463, 1566], окиси меди [199], продуктах медеплавильного производства [3601 и медных электролитах [1298, 1600], молибдене и его соединениях [104, 237, 308, 795, 1325, 1347, 1443], мышьяке [472, 1134], никеле и никелевых сплавах [486], ниобии и его окислах [49, 972], олове [582, 744, 782, 812, 900, 1684] и его сплавах [1210, 1494, 1495], полупроводниковых материалах [668, 678, 806, 1298, 16841, припоях [210, 1101], свинце [481, 534, 908, 1154, 1155,1193, 1543,1655], свинцовых сплавах [126, 871], рудах [53, 667, 806, 1143] и пылях [811], РЗЭ и их окислах [234, 353], селене [154, 155, 499, 747, 818, 1134], селениде ртути [715], сере [189, 1134], серебре [388, 390, 391, 909, 1598], хло- иде серебра [1362], стеклоуглероде [397], сульфидных рудах 638], тантале [237], теллуре [156, 591, 592, 1134, 1613], теллуровом баббите [1656] и теллуриде свинца [342], типографских сплавах [323], титане и двуокиси титана [288, 306, 1262], тории и его окислах [272], уране [1447], окислах урана [878, 1182, 1240] и урановых рудах [1443], ферросплавах [792, 793], фосфоритах [879], хроме [555, 729, 792] и его окислах [54, 55, 571], цинке [976] и цинковых рудах и минералах [1142], цирконии [679] и двуокиси циркония [1368], производственных растворах [205, 882, 1290, 1323, 1324, 1483], сточных и природных водах [429], азотной, серной, соляной, уксусной, фтористоводородной и бромистоводородной кислотах [111, 121, 407, 552, 574, 10081, воздушной пыли [121. [c.81]

Силициды в определенной степени являются аналогами карбидов и нитридов. Кремний в возбужденном состоянии имеет зр -кон-фигурацию валентных электронов, которая по сравнению с валентными электронами углерода ослаблена за счет более высокого главного квантового числа (/г = 3). Это приводит к усилению в силицидах непосредственных связей между атомами металлов (связей Ме — Ме). [c.14]

Этими затратами определяется полезный, или так называемый теоретический расход энергии теор- Так, например, при получении карбида кремния нужно нагреть исходные материалы —кварцевый песок и кокс —до такой температуры, при которой возможна реакция взаимодействия окиси кремния с углеродом. Реакция восстановления кремния углеродом с образованием карбида кремния относится к числу эндотермических реакций. Поэтому при определенной температуре реагирующих материалов она будет протекать в желательном направлении с поглощением некоторого количества энергии. Заметим, что при экзотермических реакциях в ходе реакции происходит выделение энергии. Очень часто, кроме основной реакции, протекают побочные химические реакции (например, по восстановлению или связыванию нежелательных примесей, которые присутствуют в исходных материалах) и физические процессы (например испарение, расплавление и др.), при которых происходит поглощение или выделение энергии. [c.30]

Обсудите типы связей, образующихся при кристаллизации. Включите в ваше обсуждение следующие вещества лед, окись магния, хлористый натрий, алмаз, медь, бензол, графит, карбид кремния, четыреххлористый углерод, окись цинка, теллурид цинка. Какие другие факторы, кроме типа связи, важны в определении кристаллической структуры конкретного вещества [c.49]

Содержание углерода, связанного в виде карбида кремния, определяют по разности между общим содержанием углерода и углеродом, содержащимся в сплавах в виде примеси свободного углерода и связанного в виде органических и кремнийорганических веществ. Общее содержание углерода определяют окислением навески сплава в присутствии окиси свинца в токе кислорода при 900—950 °С. Определение проводят на установке, изображенной на рис. 57 (стр. 264). [c.273]

Хлорирование нитридов и карбидов. Нитриды бора, хрома, молибдена, ниобия, тантала, титана, ванадия, циркония и гафния взаимодействуют с хлором при 800 °С. Выделяющийся элементный азот собирают над раствором гидроксида калия и измеряют его объем [5.1791, 5.1792]. Некоторые карбиды (Ti , Si и W ) также разлагаются хлором, однако, углерод частично теряется и определение металла по потере массы пробы вследствие отгонки летучих хлоридов не представляется возможным [5.1793]. Опыты показали, что при нагревании 3 ч при 200 °С нитриды алюминия, бора и кремния не взаимодействуют с хлором, нитриды титана, циркония и хрома взаимодействуют лишь частично, а нитриды ванадия, ниобия и тантала разлагаются в значительной степени. При 300 °С, а также при нагревании в атмосфере хлора в течение 3 ч, нитриды алюминия, бора и кремния не разлагаются, а другие нитриды (TiN, ZrN, NbN, TaN, VN, rN) разлагаются на 90— 100 % [5.1794]. [c.260]

Физико-химический анализ обуглероженного слоя дает определенные сведения о свойствах материала, механизме абляции и механизме его разрушения . Элементарный химический анализ обуглившегося слоя показывает преимущественную потерю определенных элементов (см. рис. 2) и возможное осаждение углерода на стенках пор в результате термического разложения газообразных продуктов. Образование новых химических соединений, например карбида кремния, можно обнаружить методом дифракции рентгеновских лу-чей 94 Общая пористость обуглероженного слоя определяет объем пустот, образующихся при высокотемпературном разложении пластмассы, и косвенно отражает ее сопротивление воздействию механических сил. Распределение пор по размерам в обуглероженном слое показывает его склонность к растрескиванию и относительную эффективность теплообмена между раскаленным обуглероженным слоем и газами, образующимися в процессе абляции. Для определения структуры пор и характера взаимодействия между микрокомпонентами материала можно также использовать микрофотографирование в обычном и поляризованном свете . Очевидно, что для характеристики поведения и свойств пластмасс в газовых средах при высоких температурах необходима как качественная, так и количественная информация . Объем и степень достоверности информации, необходимой для оценки эксплуатационных свойств материалов, зависит от методов и условий испытаний. [c.430]

При осаждении на гладкие поверхности при определенных температурах и концентрациях получались зеркальные слои. Размер зерен этих микрокристаллических осадков является часто ниже продельного разрешения оптических микроскопов. Микрофотографические данные всегда показывают однородность структуры и низкую степень однородности на поверхности относительно тонких слоев. Электронная микроскопия тонких протравленных слоев показывает высокую степень зависимости размеров зерен от температуры разложения. Методами рентгенографии и электронной дифракции установлено, что слои содержат карбид кремния в количествах, достаточных для измерения. Анализ образцов, полученных при температурах между 1000 и 1150 С, не показал различия между общим содержанием углерода и угле-родо.и, связанным в карбиде. Это объясняется тем фактом, что и образование карбида кремния и выход кремния значительно увеличиваются в этом температурном интервале. Лучшая кристалличность Si при высоких температу- [c.232]

При отборе проб от пластинок металла в разных участках пластинки высверливают отверстия тонким сверлом при медленном его вращении. Для определения углерода в цирконии проба должна быть приготовлена в виде очень мелкой стружки. Пробы для определения примесей в цирконии спектральным методом большей частью готовят в виде окиси (2гОз) нагреванием металлических стружек в атмосфере воздуха, кислорода или смеси кислорода с инертным газом. Можно избежать загрязнений, если стружку сжигать в платиновой чашке, помещенной в кварцевую трубку или цилиндрический муфель с кварцевой футеровкой. Полученную окись растирают в тонкий порошок. Выбор ступки зависит от аналитической задачи. В агатовой ступке окись циркония можно загрязнить кремнием, в ступке из синтетйческого сапфира — окисью алюминия, в муллито-вой — окисями алюминия и кремния. Можно использовать ступку из карбида бера или карбида вольфрама, если не имеет значения загрязнение бором или вольфрамом. Используются также ступки из относительно чистого металлического циркония. Однако в этих ступках необходимо периодически зачищать внутреннюю поверхность. В некоторых случаях для спектрального анализа могут быть использованы пробы в виде растворов металла в смеси НаРг с другими кислотами. [c.196]

Применение смеои волокнистого асбеста с окисью хрома дает возможность избежать образования карбидов кремния. При этом оказывается возможным из одной навески анализируемого вещества проводить количественное определение кремния наряду с определением углерода и водорода. [c.97]

Дихромат калия используют как добавку при сплавлении проб с гидроксидом и пероксидом натрия при переводе в раствор осмия [5.1421], а в присутствии кислорода — для определения углерода в металлическом натрии [5.1422]. Нагреванием пробы с хроматом свинца РЬСг04 можно окислить углерод, содержащийся в кремнии и карбиде кремния [5.1429], в пиритах [5.1424 ], а также определить азот в нитриде бора [5.1425]. [c.232]

Из множества предложенных реагентов следует отметить лишь некоторые PbgOi используют для разложения карбида кремния 5.1942] и при определении азота в сталях и других материалах [5.1943], РЬОо—для окисления сплавов железа 5.1944], углерода и карбидов в шлаках, содержащих карбид кремния, а также углерода в карбидах 5.1945] VgOg используют при определении серы в металлах 5.1946, 5.1947], горных породах 5.1948] и иОз 5.1949]. Нитриды кремния, алюминия и других элементов, которые полностью не разлагаются по методу Кьельдаля, могут быть переведены в оксиды и элементный азот нагреванием со смесью РЬО + РЬОо + РЬСг04 (1 1 1) при 1100 "С 5.1950]. При добавлении 13% В.,Оз температура плавления смеси умень- [c.273]

ПОЛУПРОВОДНИКИ — вещества с электронной проводимостью, величина электропроводности которых лежит между электропроводностью металлов и изоляторов. Характерной особенностью П. является положительный температурный коэффициент электропроводности (в отличие от металлов). Электропроводность П. зависит от температуры, количества и природы примесей, влияния электрического поля, света и других внешних факторов. К П. относятся простые вещества — бор, углерод (алмаз), кремний, германий, олово (серое), селен, теллур, а также соединения — карбид кремния, соединения типа filmen (инднй — сурьма, индий — мышьяк, галлий — сурьма, алюминий — сурьма), соединения двух или трех элементов, в состав которых входит хотя бы один элемент IV—VII групп периодической системы элементов Д. И. Менделеева, некоторые органические вещества — полицены, азоаромати-ческие соединения, фталоцианин, некоторые свободные радикалы и др. К чистоте полупроводниковых материалов предъявляют повышенные требования, например, в германии контролируют примеси 40 элементов, в кремнии — 27 элементов и т. д. Тем не менее некоторые примеси придают П. определенные свойства и тип проводимости, а потому и являются необходимыми. Содержание примесей не должно превышать 10 —Ш %. П. применяются в приборах в виде монокристаллов с точно определенным содержанием примесей. Применение П. в различных отраслях техники, в радиотехнике, автоматике необычайно возросло в связи с большими преимуществами полупроводниковых приборов — они экономичны, надежны, имеют высокий КПД, малые размеры и др. [c.200]

В обогащенном пламени ацетилен — оксид диазота подавляющее влияние алюминия, титана и кремния на сигналы щелочноземельных металлов обычно устраняется. С обогащением пламя становится восстановительным, и в нем лучше диссоциируют молекулы, в частности, оксиды. Но в богатом пламени больше образуется углерод-азотных и углеродных радикалов, которые энергично реагируют с определяемыми элемен-там и, образуя термостойкие карбиды и нитриды. При определении хрома в водных растворах с использованием ацетилено-воздушного пламени помехи значительно сильнее, чем при использовании пламени ацетилен — оксид диазота. Но в пламени ацетилен — оксид диазота помехи усиливаются по мере обогащения пламени [239]. [c.145]

ЛЕГИРОВАНИЕ (нем. legieren — сплавлять, от лат. ligo — связываю, соединяю) — введение в металлы и сплавы легирующих материалов для получения сплавов заданного хим. состава и структуры с требуемыми физ., хим. и мех. св-вами. Применялось еще в глубокой древности, в России — с 30-х гг. 19 в. Л. осуществляют введением легирующих материалов (в виде металлов и металлоидов в свободном состоянии, в виде различных сплавов, напр, ферросплавов, или в газообразном состоянии) в шихту или в жидкий (при выплавке) сплав. Иногда добавки легирующих материалов вводят в ковш. В закристаллизовавшемся сплаве легирующие материалы распределяются в твердом растворе и др. фазах структуры, изменяя его прочность, вязкость и пластичность, повышая износостойкость, увеличивая глубину прокаливаемости и др. технологические св-ва. Л. существенно влияет па положение критических точек стали. Никель, марганец, медь и азот расширяют по температурной шкале область существования аустенита, причем при известных соотношениях содержания углерода и этих элементов аустенит существует в области т-р от комнатной и ниже до т-ры плавления. Хром, кремний, вольфра.м и др. элементы сужают эту область и при определенных концентрациях углерода и легирующего элемента расширяют область с>тцествоваиия альфа-железа (см. Железо) до т-р плавления. При некоторых концентрациях углерода и легирующего материала сталь даже после медленного охлаждения имеет структуру закалки. Легирующие материалы, не образующие карбидов (напр., никель, кремний и медь), находятся в твердых растворах, карбидообразующие материалы (хром, марганец, молибден, вольфрам и др.) частично растворяются в железе, однако в основном входят в состав карбидной фазы и при больших концентрациях сами образуют карбиды (напр.. [c.681]

Получение связанного азота из атмосферного воздуха в плазменных реакторах интенсивно исследуется как у нас в стране, так и за рубежом, особенно в последние 10 лет. Пока плазменный метод по всем показателям уступает аммиачному, в первую очередь по расходу электроэнергии, который примерно в 7—10 раз выше. Однако разница становится менее ощутимой, если плазменный процесс совмещают с разложением фосфорсодержащего сырья в атмосфере воздуха с одновременной фиксацией азота. Дальнейшая переработка дает возможность получать из пятиокиси фосфора и окислов азота смесь фосфорной и азотной кислот для производства комплексных удобрений. Открываются определенные перспективы и для утилизации других компонентов фосфорсодержащего сырья. При диссоциации фосфорсодержащего сырья в плазме происходит практически полное его обесфторивание и выделение четырехфтористого кремния. Кроме того, отпадает необходимость в переработке фосфогипса, как это имеет место при сернокислотной переработке фосфатов, поскольку в плазмохимическом процессе образуется окись кальция. Варьируя температуру плазмохимического процесса, можно сначала обесфторить фосфорсодержащее сырье, а затем при более высокой температуре (около 3500 К) превращать его в пятиокись фосфора или получить в присутствии добавок (например, двуокиси кремния и углерода) элементарный фосфор, силикат и карбид кальция и окись углерода. [c.176]

Основными составными частями ИК-анализатора являются источник излучения (нагреваемый электрическим током тонкий стержень из карбида кремния или других материалов), измерительная кювета с анализируемым веществом, кюветы сравнения и детектор ИК-излучения. На поглощении ИК-излучения основан оптико-акустический эффект, сущность которого заключается в том, что газ при прерывистом ИК-облученин в замкнутом пространстве периодически нагревается и охлаждается, что сопряжено с колебаниями давления газовой смеси. К группе оптико-акустических газоанализаторов относятся автоматические стационарные газоанализаторы для определения содержания окиси углерода в воздухе и в сложных газовых смесях классов ОА и ГИИ. Многочисленные модификации приборов типа ОА выпускает серийно Смоленский завод средств автоматики. [c.100]

В экстракционно-спектрофотометрическом анализе возможно одновременно определять в экстракте несколько элементов, если спектры поглощения комплексов не перекрываются. При накладывании полос поглощения используют аддитивность оптической плотности и определение проводят расчетным методом по значениям оптических плотностей, измеренных при различных длинах волн. При одновременном наложении трех и более полос поглощения расчеты усложняются. Мотодзима и Хасита-ни экстрагировали оксихинолинаты железа и алюминия хлороформом при pH 5,2—5,5 и фотометрировали экстракт при 470 и 390 нм, определяя соответственно железо и алюминий. Чувствительность определения в пересчете на водный раствор составила около 10" %. Аналогичный метод применен при определении алюминия и железа в карбиде кремния . Зелада экстрагировал дитизонаты меди и цинка четыреххлористым углеродом и измерял светоноглощение при 520 и 650 нм. Амано , определяя молибден и ванадий в сталях, экстрагировал эти микропримеси в виде ксантогенатов хлороформом при pH 5,4 и фотометрировал затем экстракт при 510 нм (Мо) и 375 нм [c.199]

Неудовлетворительные результаты получены при определении олова [5.959], бария и стронция [5.960 ] в горных породах после обработки проб смесью азотной и фтороводородной кислот. Следовые количества серебра можно полностью перевести в раствор только после повторной обработки такой смесью [5.961]. Некоторые карбиды не разлагаются при растворении сталей в смесях НЫОз, НР и Н2504 перманганат калия ускоряет окисление [5.962]. Горячая смесь НМОд и НР не действует на углерод, но окисляет его при 150 °С под давлением [5.912]. Л При определении кремния атомно-абсорбционным методом в жаропрочных сплавах на никелевой основе пробу рекомендуют разлагать в авто- [c.196]

Если принять приведенные выше определения неорганических полимеров с требованиями их безуглеродности и обязательного наличия ковалентной связи, то из рассмотрения в качестве НП будут исключены полимеризуемые простые вещества, оксиды, галогениды и металлы, стекла, силикаты, полиэлектролиты и многие другие вещества, включая сверхтвердые тугоплавкие материалы, являющиеся основными составными частями КМ. Из числа НП пришлось бы исключить также карбид кремния, графит и другие модификации углерода, а также типично неорганические углеродсодержащие вещества, в том числе карбонаты, полимерные цианиды, роданиды и т. д. Тем не менее все эти вещества принято считать [53, 70, 75, 78] неорганическими полимерами. [c.49]

Статическая диэлектрическая постоянная Si равна 10,2, что больше оптической диэлектрической проницаемости (6,8). Это свидетельствует об определенной доле ионной связи в карбиде кремния. Поскольку первый ионизационный потенциал углерода (11,24 эв) больше, чем у кремния (8,14 эб), роль аниоиообразователя выполняют атомы углерода, степень смещения электронного облака к которым и определяет долю ионности связи. [c.229]

Из многих других примеров применения метода облучения можно упомянуть определение иридия в платине облучением нейтронами, предложенное А. А. Гринбергом и Ф. И. Флинновым [162], а также определение небольших количеств углерода в железе и стали по Ардене и Бернарду [107] путем облучения дейтеронами или, лучше, протонами из небольшого электростатического генератора в 0,8 MeV. В обоих случаях углерод превращается по реакциям A d, n)N или y)N в радиоактивный азот, излучающий позитроны с полупериодом 10 мин. Эталоном служит карбид кремния с содержанием 30% углерода. Одинаковые условия облучения пробы и эталона обеспечиваются прикреплением обоих к вращающемуся диску, на котором они экспонируются поочередно. Этим путем можно быстро определять от 0,03 до 1% углерода с точностью до сотых долей процента. [c.298]

Получены пленки на подложках из кремния (без и со слоем окисла), фарфора, корунда, молибдена и графита [221J. Если коэффициенты термического расширения пленки и подложки значительно различаются, то могут быть получены пленки толщиной лишь 10—80 мкм. При использовании в качестве подложек корунда и фарфора в пленках всегда наблюдалось определенное количество легирующей примеси р-типа за счет диффузии алюминия из подложки. Содержание углерода в микрокристаллическом кремнии не влияет на окисление, однако травление пленки происходит более или менее трудно в зависимости от количества углерода в форме карбида. При высоком содержании углерода для этой цели может быть успешно использован расплав солей, например смесь КОН—KNO i—KF. Легирование растущего кремния добавлением летучих соединений мышьяка или бора к газовой смеси не приводило к получению пленок с воспроизводимыми электрическими свойствами. Концентрация носителей в получаемых образцах была много меньше, чем в монокристаллических слоях, полученных в сравнимых условиях. Однако если эти пленки отжигать в азоте или кислороде, то концентрация носителей соответствует приблизительно ожидаемой из-за равномерного распределения по объему в процессе диффузионного отжига. Скорость диффузии бора из источника В203—Si02 значительно уменьшается с увеличением содержания карбида бора. Подвижность носителей в отожженных пленках была равна 10—50 см"1в-сек. В табл. 7-9 показаны типичные результаты для пленок толщиной 150 мкм, которые были легированы из паровой фазы с молярным отношением треххлористого фосфора к соединению кремния, равным 10 5. [c.233]