Устройство ионного источника

Вместо описанного выше масс-спектрографа обычно применяют приборы другой конструкции, в которых ионы подвергаются воздействию как электрического, так и магнитного полей. Конструкция этих приборов позволяет фокусировать пучки ионов с одинаковым значением Miz на щель приемника ионов, соединенного через усилитель с быстродействующим самописцем. Такой масс-спектрометр при изменении электрического или магнитного поля в течение нескольких секунд дает развертку (сканирует) в широком диапазоне значений M/z. Такого рода приборы играют исключительно важную роль в химическом анализе— они позволяют определять массы частиц — фрагментов различных размеров, на которые предварительно расщепляется в специальном устройстве (ионном источнике) анализируемое соединение. [c.87]

Ионизация под действием электронного удара (ЭУ) наиболее часто применяется в современных масс-спектрометрах. В настоящей главе рассматриваются устройство ионного источника и основные параметры, определяющие характер масс-спектра. [c.18]

Устройство ионного источника для вторично-ионной масс-спектрометрии довольно простое (рис. 2.9). Он содержит пушку (4), генерирующую быстрые атомы или ионы, шток (1) с металлическим (обычно медным) скошенным наконечником (2), на который наносится образец (5), и систему фокусировки и ускорения образующихся вторичных ионов (6). Изменяя заряд мишени относительно выходной щели источника, в масс-анали- [c.31]

Ввод пробы в модификации 1 через шлюзовое устройство ионного источника ИТ-04 в модификации П баллонная система напуска СВП-4 с нагревом до 250 °С в модификации П1 трехканальная система с капиллярным газовым анализатором СВП-7. [c.269]

Монополярный масс-спектрометр представляет собой одну четвертую часть квадрупольного масс-спектро-метра (рис. 11.7). Устройство ионного источника и 228 [c.228]

УСТРОЙСТВО ионного ИСТОЧНИКА [c.78]

Существует много различных типов масс-спектрометров. Детали конструкции и относительные достоинства различных типов приборов описаны в литературе [1—7]. Большинство основных принципов масс-спектрометрии можно продемонстрировать, описав принцип действия простого масс-спектрометра, изображенного на рис. 16.1. Образец, находящийся в емкости, вводится через отверстие, входит в ионный источник а и проходит через электронный пучок в точке в, пучок обозначен штриховой линией. При взаимодействии образца с электронами, имеющими достаточную энергию, образуются положительные ионы, движущиеся по направлению к ускоряющим пластинам гид, поскольку между задней стенкой (напускной щелью) и передней стенкой этого устройства существует небольшая разность потенциалов. Отрицательные ионы притягиваются задней стенкой, которая заряжена положительно относительно передней стенки, и разряжаются на ней. Положительные ионы проходят через пластины гид, ускоряются под действием большой разности потенциалов (несколько тысяч вольт) между этими пластинами и покидают ионный источник через отверстие б. Заряженные ионы движутся по круговой орбите под влиянием магнитного поля. Полуокружность, помеченная е, есть траектория движения ускоренного иона в магнитном поле напряженности Н. Радиус полуокружности г зависит от следующих параметров 1) ускоряющего потенциала V(т. е. от разности потенциалов между ускоряющими пластинами г и (3), 2) массы иона т, 3) заряда иона е и 4) напряженности магнитного поля Н. Связь между этими параметрами выражается уравнением [c.313]

Положительно заряженные ионы образуют луч, который при номощи специальных устройств фокусируется и вытягивается из ионного источника через щель. Затем ионы, составляющие лучи, ускоряются сильным электрическим полем и поступают в изогнутый анализатор, который находится в магнитном поле и силовые линии которого перпендикулярны направлению движения ионов. В анализаторе луч разлагается на отдельные лучи, имеющие одинаковое отношение mie (массы к заряду). [c.856]

Масс-спектрометр — это устройство, которое используют для разделения потока ионов в газовой фазе в соответствии с отношением массы к заряду mjz. Для получения ионов необходим ионный источник. Первый масс-спектрометр был создан Астоном в 1920-е гг. Масс-спектрометрия получила признание в органической аналитической химии в начале 1940-х гг. и в настояш,ее время широко используется для анализа органических продуктов (см. разд. 9.4). Однако масс-спектрометрию к тому времени уже использовали для изотопного анализа, например таких элементов, как Pt и Pd. Были предприняты усовершенствования в изотопном методе в отношении чувствительности, воспроизводимости и правильности, чтобы улучшить как определение редких изотопов, так и надежность определения атомных масс элементов. [c.132]

Альтернативой прямому сочетанию хроматографа с масс-спектрометром является открытый ввод с делителем потока. Схема такого устройства приведена на рис. 9.4-8,а. Колонка соединена с ионным источником посредством неподвижного ограничителя. Дополнительный поток газа-носителя предназначен для компенсации любых отклонений в потоке, выходящем из колонки. В результате выход колонки находится при атмосферном давлении, как и в случае обычного ГХ-детектора. Увеличивая поток газа-носителя, можно эффективно отвести растворитель от масс-спектрометра. [c.280]

В устройстве для сочетания ЖХ с ионизацией потоком ускоренных частиц (рис. 9.4-8,б) элюат из колонки пневматически распыляют в камеру удаления растворителя, находящуюся при атмосферном давлении. Камера связана с молекулярным струйным сепаратором, где происходит разделение аналита и низкомолекулярного растворителя. Аналит далее направляется к ионному источнику, а растворитель эффективно удаляется из системы. Частицы определяемого вещества ударяются о нагретую поверхность источника, испаряются и [c.280]

Устройство источника ионов, применяемого для фотоионизации, такое же, как и при ЭУ. Принципиальной особенностью является отсутствие катода (филамент) и электрических систем, коллимирующих электронный пучок. В качестве источника УФ-света используется газоразрядная лампа, чаще всего водородная, дающая интенсивное излучение света с энергией фотонов в диапазоне 7-13 эВ. Одним из элементов фотоионизационного масс-спектрометра является монохроматор, позволяющий подавать в ионный источник световые потоки с монохроматичностью до [c.22]

В практической масс-спектрометрии применяются различные системы для ввода образца в ионный источник, устройство которых зависит от агрегатного состояния исследуемого вещества (газ, жидкость, твердое вещество), его состава (индивидуальное соединение или смесь различных соединений) и от метода ионизации. Для того чтобы при введении образца в ионном источнике не изменялся вакуум, масс-спектрометр снабжен специальным устройством. [c.38]

Газы и жидкости с высоким давлением пара при комнатной температуре можно вводить в масс-спектрометр через холодную систему напуска, устройство которой показано на рис. 3.1. Образец вводят в следующей последовательности. Анализируемое вещество помещают в контейнер 2, который через вакуумное уплотнение присоединен к системе ввода. Контейнер охлаждают сухим льдом или жидким азотом. При перекрытых кранах 5 и 5 и открытых кранах 4, 6и7 создают высокий вакуум в резервуаре 1 и в канале между кранами 6 и 8. Перекрывая кран 7, отключают систему от вакуумной откачки. Затем открывают краны 4, 6 и 8. При этом исследуемое вещество в газообразном состоянии перетекает из контейнера 2 в резервуар 1. Применяют резервуар емкостью от 100 мл до 3 л. Резервуар большого объема необходим при длительной записи масс-спектра, чтобы поддерживать постоянное количество вещества, поступающего в ионный источник. Натекание вещества из резервуара 1 в ионный источник происходит при открытом кране 5. Для медленной подачи вещества из резервуара 1, где его давление составляет -10 торр, в ионный источник, где давление равно -10 торр, а также для поддержания в ионном источнике высокого вакуума применяют молекулярный натекатель 3. Обычно молекулярный натекатель - это металлическая фольга с отверстиями в несколько микрон. Часто используют фольгу из золота. [c.38]

Более простое устройство имеет система напуска жидкостей с применением резиновых мембран (рис. 3.2). Она состоит из обогреваемого баллона напуска 1 с высокотемпературными резиновыми мембранами 2 и молекулярного натекателя 3. В баллоне напуска с помощью форвакуумного и высоковакуумного насосов создается высокий вакуум и через мембрану с помощью микрошприца вводят жидкий анализируемый образец. Жидкость испаряется и пары (давление -10 торр) через молекулярный натекатель поступают в ионный источник. Для предотвращения попадания воздуха в баллон напуска при введении пробы пространство между мембранами откачивают форвакуумным насосом. [c.40]

Способ непосредственного введения образца в ионный источник применяется при исследовании твёрдых, а также жидких веществ с очень низким давлением пара. На рис. 3.3 показано устройство системы прямого ввода. Основными элементами ее являются отполированный металлический шток 1 с каналом, в который помещается кварцевая ампула 2 с веществом, и шлюз с краном 5. В кране 5 имеется сквозное отверстие с диаметром, равным диаметру штока. Ввод образца в ионный источник проводят в следующей последовательности. Краном 5 ионный источник отсечен от области шлюза. Шток с ампулой через отверстие вводят в шлюз практически до крана 5 и уплотняют гайкой 4. При открытом кране 8 в шлюзе между гайкой 4 и краном 5 создают вакуум. Перекрывают кран 8 и поворачивают кран 5 так, чтобы шток с ампулой через отверстие в кране 5 был [c.40]

Для этой цели применяют молекулярные сепараторы различных конструкций. Наибольшее распространение получили струйные сепараторы, устройство которых показано на рис. 3.4. Принцип их действия основан на различной диффузии легких молекул газа-носителя, используемого в газовой хроматографии, и молекул органического вещества, выходящих со сверхзвуковой скоростью из форсунки сепаратора в вакуумную область. В одностадийном струйном молекулярном сепараторе имеются две форсунки с отверстием небольшого диаметра, которые установлены точно навстречу друг к другу на расстоянии 1 мм. Газовый поток из хроматографа через форсунку 1 подается в вакуумную камеру 2 (давление 10 торр), где молекулы распространяются со скоростями, обратно пропорциональными их массе. В результате более легкие молекулы газа-носителя (обычно гелий) откачиваются насосом, а более инерционные молекулы органического вещества попадают в отверстие форсунки 3, а затем в ионный источник масс-спектрометра. [c.42]

Для исследования смесей высокополярных и труднолетучих веществ успешно применяют сочетание высокоэффективной жидкостной хроматографии и масс-спектрометрии. Объединение этих двух методов сопряжено еще с большими, чем при газовой хроматографии, трудностями, поскольку для сохранения вакуума в ионном источнике необходимо удаление растворителя (подвижная фаза), поступающего из хроматографа со скоростью 0,5-5 мл/мин. В пересчете на газ это составляет 100-300 мл/мин. Для этой цели разработан ряд устройств, которые, однако, не всегда универсальны. [c.45]

Разрешающая способность масс-спектрометров с магнитным масс-анализатором невысока, что обусловлено нарушением строгого фокусирования ионов. Причина такого нарушения заключается в том, что не все ионы с одной и той же массой имеют одинаковую кинетическую энергию, так как они обладают различной тепловой энергией. Неоднородность магнитных полей в ионном источнике также обусловливает разброс ионов по энергиям. Для повышения разрешающей способности масс-спектрометров между ионным источником и магнитным анализатором устанавливают электростатический анализатор. Масс-спектрометры с таким устройством масс-анализатора называют двухфокусными. [c.50]

В гл. 2 рассмотрены способы ионизации молекул, приводящие к образованию как положительных, так и отрицательных ионов. Современные приборы позволяют регистрировать ионы обеих полярностей. Для этого в них предусмотрены устройства, обеспечивающие изменение полюсов ионно-оптической системы ионного источника и масс-анализаторов. [c.56]

Многие вещества имеют столь низкие давление паров или термическую стабильность, что для проведения анализа их следует вводить непосредственно в ионный источник. В этом случае образец наносится из раствора на наконечник штока, вводимого через вакуумный затвор и закрепленного напротив ионного источника для предотвращения потерь образца и обеспечения давления в источнике. Помимо того, что шток прямого ввода более удобен для нелетучих образцов, он требует значительно меньше вещества, чем ввод через баллон. Нагрев образца осуществляется устройством, вмонтированным в шток рядом с наконечником (в котором находится вещество) для быстрого нагрева и предотвращения термического разложения чаще всего применяется программируемый обогрев, что делает возможным точный контроль скорости нагревания и температуры. Установка программируемого нагревателя также полезна для прямого ввода в ионный источник масс-спектрометра с одновременным пиролизом образцов типа полимеров, недостаточно летучих для проведения обычного анализа. [c.128]

Рассмотрим схему устройства магнитного секторного анализатора масс (рис. 6.2). Ионы, образующиеся в ионном источнике. [c.132]

Хотя такая система сравнительно проста по устройству, для обеспечения оптимальной эффективности должен тщательно контролироваться градиент температуры между интерфейсом и ионным источником Этот интерфейс может использоваться и с магнитными секторными и с квадрупольными прибора ми, хотя модификация для квадрупольных масс спектрометров обычно проще так как в этом случае постоянное напряжение в источнике низкое и нет опасности возникновения дугового разряда [c.37]

В первом варианте этого устройства осуществлялась химическая ионизация пучка в области относительно высокого давления между соплом и расширителем с помощью электронной пушки с дифференциальной откачкой, однако чувствительность была малой из за неэффективного переноса ионов в анализатор [53] В более совершенном варианте источник ХИ соединен с распылителем обогреваемой трубкой Все пары, проходящие че рез распылитель, поступают в ионный источник при давлении около 133 Па При работе в режиме ЭУ эта трубка удалялась и получался открытый ионный источник, давление паров в котором составляет 0,1 Па [c.39]

При масс-спектрометрическом исследовании твердых тел и взаимодействия их поверхности с газами (парами) образец может быть помещен либо непосредственно вблизи зоны ионизации — в ионный источник прибора, либо в герметичный резервуар, соединенный с прибором устройством для ввода газа. В первом варианте, во избежание нарушений вакуумных условий работы масс-спектрометра, давление газа над образцом не должно превышать 10 Па. Во втором варианте на величину давления газа не накладывается каких-либо ограничений при условии соблюдения необходимого перепада давлений между резервуаром с образцом и ионным источником масс-спектрометра. [c.47]

Блок-схема масс-спектрометра, используемого в масс-спектральном анализе 1 — ионный источник 2 — блок питания ионного источника з — система напуска 4 — блок питания анализатора масс 5 — анализатор масс в —приемник ионов 7 — усилитель ионных токов — регистрирующее устройство 9 — высоковакуумный насос 10 — форвакуумный баллон 1 — форвакуумный насос 12 — блок управления вакуумной системой. [c.778]

Даже в том случае, когда весь образец пропускается через ионизационную камеру во время съемки масс-спектра, лишь незначительный процент молекул подвергается ионизации, а большая часть пара откачивается насосами неизмененной. Таким образом, чувствительность может быть повышена применением большего ионизирующего электронного тока [ 174]. Другие типы ионных источников, как, например, источник с термической эмиссией, более эффективны, чем источники с бомбардировкой электронами. На них в ряде случаев может быть ионизирована большая часть исследуемого материала так, в случае анализа рубидия на непрерывно откачиваемых приборах для исследования достаточно 10 г образца. При анализе неорганических твердых образцов используется искровой источник [416]. Применение фотопластинки в качестве детектора позволяет понизить уровень обнаружения до 1-10 %, так как пластинку с большой выдержкой можно рассматривать как интегрирующее устройство. [c.190]

I — насос 2 — охлаждающая ловушка — поток газа 4 — щель ионного источника 5 — электростатический анализатор 6 — промежуточная щель 7 — магнитный анализатор 8 — щель коллектора 9 — усилитель и регистрирующее устройство. [c.315]

Так же как и предыдущий метод, метод лазерной десорбции используют при исследовании сравнительно нелетучих и термически нестабильных материалов. Эффективность этого метода ионизации определяется тем, что скорости процесса перевода молекулы из конденсированной фазы под воздействием лазерного излучения и связанной с ним ионизации гораздо выше, чем скорость разложения вещества. Устройство ионного источника в данном случае довольно простое. Такой источник содержит источник лазерного излучения (с длиной волны в области дальнего ультрафиолета или ИК-области), которое фокусируется на мишень. На последнюю нанесен образец. Кроме того, источник содержит ионно-оптическую систему, позволяющую выталкивать ионы в область масс-анализатора. Образец наносится на мишень либо осаждением из раствора, либо в смеси с соответствующей матрицей. Последний метод, называемый ионизацией в процессе лазерной десорбции, облегчаемой матри- [c.34]

Ионный ИСТОЧНИК, в ионном источнике молекулы ионизируются, а образовавшиеся ионы ускоряются и формируются в ионный пучок. В случае органических соединений особое значение имеет ионизация методом электронного удара. Схема компоновки ионного источника и устройства для ионизации электронным ударом с другими узлами масс-спектрометра показана на рис. 5.37. Электроны испускаются раскаленным катодом 3. По пути к аноду 4 они сталкиваются с молекулами исследуемого газообразнога вещества, которые через дюзы натекателя 2 непрерывно подаются в ионный источник 5. Поскольку налетающие электроны обладают определенным минимумом энергии (см. стр. 275), молекулы ионизируются и распадаются на осколки. Обычно работают при энергии электронов около 70 эВ, потому [c.286]

Траектория движения иона определяется устройством масс-анализатора. При заданных магнитной индукции В и ускоряющем напряжении U по ней движутся только те ионы, для которых величина отношения т/е соответствует уравнению (5.5.1). Все ионы с другими отношениями т/е движутся по тракториям с меньшими или большими радиусами и поатому не могуг пройти через выходную щель 10. Однако, изменяя В, можно выполнить условие, определяемое уравнением (5.5.1) для ионов с любым отношением т/е. Тогда все ионы, имеющиеся в ионном источнике, проходят выходную щель 10 при непрерывном изменении В в соответствии с условием. В Ym e и разделяются в зависимости от отношения т е. Из уравнения [c.287]

Поток газа из хроматографической колонки проходит через специальное устройство — сепаратор, удаляющий за пределы прибора больп1ую часть газа-носителя при одновременном эффективном обогащении остающейся части газа молекулами хроматографируемых соединений. Из сепаратора поток газа направляется в ионный источник масс-спектрометра, где осуществляется иопизация компонентов исследуемой смеси. Возникающие при этом положительные ионы с различными массами (зарядами и энергиями) выталкиваются нз ионного источника в зону переменного магитного поля, причем примерно 10% от общего количества отводится в /1,егектор полного ионного тока, по показателям которого на потенциометре запИ сывается хроматограмма анализируемой смеси. В любой [c.366]

Ускорители заряженных частиц - устройства, ускоряющие электроны или ионы в электрич. поле (магн, поле м, б, использовано для управления потоком заряженных частиц). Различают два осн. конструкционных типа ускорителей линейные, в к-рых заряженные частицы движутся прямолинейно, и циклические, в к-рых движение идет по круговой траектории. По типу ускоряющего электрич. поля ускорители делят на высоковольтные, в к-рых направление электрич, поля во время ускорения ие меняется, и резонансные, в к-рых непрерывное ускорение достигается за счет того, что заряженная частица находится в ускоряющей фазе переменного высокочастотного электрич. поля, В циклич. ускорителях (циклотрон, синхротрон, синхрофазотрон и др,) требуемая энергия достигается при многократном прохождении ускоряемой частицы по окружности аппарата, в линейных (линейный индукц. ускоритель, линейный резонансный ускоритель и др.)-за счет приложения высокочастотного электрич. поля к линейной периодич. системе электродов. Осн. элементы ускорителя-высоковольтный генератор, источник заряженных частиц (ионный источник) и система, в к-рой производится ускорение, В резонансных ускорителях процесс накопления частицей энергии происходит за определенное время, зависящее от требуемой энергии и типа ускоряемых частиц, поэтому они работают в импульсном режиме, Нек-рые типы высоковольтных ускорителей (напр., каскадный ускоритель) могут использовать- [c.255]

Процесс фрагментации имеет вероятностный характер. Это значит, что часть ионизированных молекул фрагментируется с ионном источнике, а часть — на пути к детектору, т. е. после ускорения. Последние (так называемые метастабильные ионы) не регистрируются в виде нормальных пиков осколочных ионов. В случае ДВС фрагментация ускоренных ионов обычно индуцируется в ионизационной ячейке с повышенным давлением, что требует спехдааль-ного устройства. В принципе требуются два масс-анализатора. Первый — для выбора родительского иона из ионов, образовавшихся в ионном источнике, и второй — для анализа дочерних ионов, образовавшихся в результате столкновений. Поэтому это метод называют тандемной масс-спектрометрией (МС-МС). [c.283]

На рис. 111,28 представлена схема системы напуска пробы в МС модели 4000 фирмы Р1пп1дап (США), Элюент из колонки наносится специальным устройством 2 на движущуюся ленту 10, на которой испаряют растворитель в зоне испарения элюента 3, а затем в вакуумной камере в зоне испарения пробы 7 происходит быстрое её испарение. Проба через диафрагму попадает в ионный источник МС 8. Лента затем очищается в зоне очистки 6 и снова подается к узлу нанесения элюента 2 с помощью привода 1 двигателя. [c.280]

Методика анализа. Основные узлы масс-спектрографа н приемы работы с ним изображены на рис. 3.34—3.40. После удаления следов предыдущей пробы ис. 3.35) закрывают обогреваемый вентиль откачки на устройстве напуска. Пробу по.мещают (рис. 3.36) в зонд для ввода образцои к вводят ее в обогреваемое устройство иапуска. Устанавливают такую скорость натекания (рис. 3.37) из устройства напуска в ионный источник, которая обеспечивает измеримое давление паров пробы. Эту скорость натекания подбирают методом [c.95]

Ионизованные молекулы и атомы по их массам разделяют в масс-спектрометре, схема основных узлов которого приведена на рис. 12.1. Он состоит из устройства для ввода пробы 1, в которое газы вводят непосредственно, а жидкости испаряют заранее или в приборе. Задача системы напуска заключается во вводе такого количества газообразной пробы, чтобы обеспечить давление 10" —10" мм рт. ст. в ионном источнике 2, где молекулы иониз1фуются. При ионизации электронным ударом электроны испускаются раскаленньпй катодом, соударяются по пути к аноду с молекулами введенного вещества и часть этих молекул электроны ионизуют. Образующиеся ионы выводятся из зоны ионизации, ускоряются электрическим полем и одновременно фокусируются в пучок (узел ускорения и фокусировки ионов 3). Нейтральные молекулы удаляются вакуумным насосом. Все узлы прибора находятся под высоким вакуумом (вакуумная система 4), который обеспечивает необходимую длину свободного пробега ионов. Поток ускоренных ионов попадает в масс-анализатор 5, где ионы разделяются по массе. Разделенные пучки ионов затем попадают в детектор б, где ионный ток преобразуется в электрический сигнал, который усиливается усилителем 7 и обрабатывается ЭВМ 8. [c.365]

В струевых разрядных установках проведены кинетические исследования атомарных и радикальных реакций с отбором газовой пробы через однокамерное устройство с отверстием маленького диаметра и с использованием обычного масс-спектрометра, снабженного ионным источником открытой конструкции. В этом случае для оценки стехиометрии процесса и конечной точки атомарной реакции титрования атомы можно регистрировать или непосредственно с помощью электронов низкой энергии, или косвенно с помощью масс-спектрометра. Последняя операция позволяет производить прямую и простую калибровку интенсивностей пиков с различными отношениями т/е. Этот метод использовался в лаборатории Херрона для измерения констант скоростей реакций с помощью масс-спектрометра с углом разведения реагентов в 60° [c.322]

Иное устройство измерения времени пролета, также используемое для точного установления масс, было сконструировано Смитом. В его первом синхрометре , как он назвал этот аппарат [1873], импульсы ионов в ограниченных пределах по массе вводятся в однородное магнитное поле под прямым углом к направлению поля. Совершив половину кругового оборота, ионы проходят через систему щелей, где к ним прилагается импульс, приводящий к потере энергии группой ионов, распределенных по малой длине. Эта потеря энергии достаточна, чтобы ионы миновали ионный источник при завершении орбиты. Таким образом, ионы продолжают двигаться по орбите с иным радиусом. Позднее, в измеренное время пТ, где Т — период обращения ионов с массой m , ап — целое число, на систему щелей попадает второй импульс, вызывающий дополнительную потерю ионами энергии и попадание их на коллектор. Разница во времени появления различных ионов у коллектора соответствует разнице в их массах. Для ионов, совершающих около 70 оборотов по орбите с диаметром 25,4 см, была получена разрешающая сила, равная нескольким тысячам. Описан аналогичный этому прибор [1025, 1300], который обладает [c.34]

Применение масс-спектрометра с вольфрамовым катодом в ионизационной камере ограничено рабочими давлениями, хотя обычно он не связывается непосредственно с вакуумной системой, в которой давление нельзя поддерживать ниИсе 10 мм рт. ст. Это давление может быть повышено, если в качестве ионного источника использовать ионизационный манометр Филипса [2126]. Типичное устройство для обнаружения течи изображено на рис. 185. Система, в которой производится испытание на течь, может быть эвакуирована двумя способами либо через масс-спектрометр, либо через байпасную систему. Если течь велика, то левый кран почти полностью закрывается, открывается правый кран настолько, чтобы давление в масс-спектрометре можно было установить ниже безопасного рабочего уровня. После того как большие течи найдены и устранены, правый кран постепенно закрывают, открывают другой до тех пор, пока весь газ, входящий в вакуумную систему, не пройдет через масс-спектрометр и не будет получена максимальная чувствительность. [c.495]