Способы соединения вакуумных систем

Принцип метода РФС заключается в следующем. В исследуемой системе (смеси газов) генерируются тем или иным способом атомы или свободные радикалы. Светом зондирующего источника исследуемые частицы переводятся в возбужденное состояние. Зондирующий источник настроен на длину волны, вызывающую возбуждение. Переход из возбужденного состояния в основное сопровождается излучением (флуоресценцией), что используется для контроля за изменением концентрации этих частиц во времени. Установка включает реактор и соединенные с вакуумной системой СВЧ-генератор для генерирования атомов в разряде, источник зондирующего излучения, приемник возникающей флуоресценции, фильтры и монохроматоры. Источником зондирующего излучения могут быть перестраиваемые лазеры и струевые разрядные лампы. Они охватывают диапазон длин волн от глубокого ультрафиолета до коротковолновой инфракрасной области. Для регистрации флуоресценции используются фотоумножители и счетчики Гейгера. Для кинетических измерений резонансно-флуоресцентная спектроскопия может быть применима в трех различных вариантах, Во-первых, в статических условиях, когда атомы и радикалы генерируются реакционной смесью. В таком варианте РФС-метод предназначался для изучения цепных разветвленных реакций горения водорода и фосфора. Во-вторых, РФС-метод часто используется в струевых условиях в сочетании с СВЧ-разрядом. Это позволяет измерить концентрацию атомов и радикалов и изучать их реакцию с реагентом-газом в объеме или гибель на поверхности. Этим же способом изучаются продукты той или иной элементарной реакции. В-третьих, РФС-метод применяется в сочетании с импульсным фотолизом. Максимальное значение константы скорости бимолекулярной реакции, измеряемой [c.359]

Способ 2 [2, 3]. Для синтеза используют реакционную трубку 1 (рис. 379), которую делит на две части фарфоровая пластинка 2 с отверстиями, лежащая на выступах в стенках трубки. Реактор i через капилляр 3 (внутренний диаметр 2 мм) соединен с охлаждаемой ловушкой н далее, через кран, с вакуумной системой. В нижнюю часть трубки 1 помещают иод, взятый с 25%-ным избытком по сравнению с количеством, необходимым для получения 20—30 г UI4. В трубку кладут фарфоровую пластинку 2 и насыпают на нее уран. Припаивают капилляр и вакуумируют прибор. Затем перекрывают кран, ведущий к вакуумной системе, и охлаждают ловушку жидким азотом, Одновременно нагревают печь 4 до 500 °С, печь 5 — до 300 °С, печь 6 — до 120—140 °С. Температуру лучше повышать не слишком быстро, так как из-за сильно экзотермической реакции стекло может треснуть. [c.1309]

Неразборные соединения представляют интерес прежде всего для разработчиков и изготовителей вакуумных систем. Однако поскольку оборудование для осаждения для некоторых частных применений или исследований часто перестраивается, оператор также должен иметь определенные знания об основных способах выполнения соединений. Выбор способа соединений зависит от свойств материалов. Неразборные соединения металлов с металлами осуществляются сваркой или пайкой твердыми припоями. Паяные мягкими припоями соединения металла с металло.м являются полу-разборными (составляющие его детали могут быть разъединены и вновь соединены без нарушения рабочих поверхностей). По мере того, как популярные ранее стеклянные вакуумные системы заменяются цельнометаллическими, стеклянные паяные соединения теряют свое значение. Однако соединения металла со стеклом и металла с керамикой для специальных вакуумных элементов применимы и по настоящее время. Третья группа вакуумных материалов, эластомеры, применяются только в разборных соединениях. [c.246]

В ряде случаев необходимо производить проверку герметичности наружного кожуха при наличии в межстенном пространстве изоляционного порошка. Здесь также невозможно пользоваться обычным способом с откачкой испытываемого объекта ввиду очень малой быстроты откачки. Межстенное пространство заполняют пробным газом под избыточным давлением, создавая одновременно несколько большее давление воздуха. или азота во внутреннем сосуде. Для проверки используют специальный щуп, соединенный с вакуумной системой гелиевого течеискателя. [c.414]

Испытание с помощью трансформатора Тесла. Внутри вакуумной системы разрежение создается с помощью вращательного масляного насоса. Затем незаземленным концом провода вторичной обмотки трансформатора Тесла прикасаются к поверхности вакуумной системы снаружи. В газе, находящемся внутри системы, возбуждается тлеющий электрический разряд. Свечение происходит при давлениях от нескольких миллиметров до 5-10 мм рт. ст. Наблюдать за разрядом можно только при наличии смотрового стекла. Кроме того, система должна быть изготовлена из электроизоляционного материала, поэтому способ применяют в основном для систем из стекла. Если конец провода (электрод) катушки Тесла окажется вблизи отверстия в стекле, то с конца провода внутрь системы через это отверстие пробьется яркая искра тем самым точно устанавливается место течи. Следует иметь в виду, что при длинной искре и длительном воздействии трансформатора на одну точку системы возможен пробой стеклянной стенки. Течь можно найти, если на расстоянии нескольких сантиметров от нее нет металлических частей установки, в противном случае возникнет искра между металлом и концом катушки. Для проверки герметичности в месте соединения металла со стеклом следует возбудить в системе газовый разряд и про- [c.560]

Откачные гнезда. Соединение откачиваемых приборов с вакуумной системой может быть осуществлено различными способами. [c.418]

Справочник состоит из трех томов. Первый том содержит сведения об основных конструкционных материалах, их свойствах, выпускаемом сортаменте, способах изготовления неразъемных соединений, покрытиях, конструировании и расчете основных элементов и узлов технологического и природоохранного оборудования. Второй том содержит сведения об основном типовом технологическом и природоохранном оборудовании. Третий том содержит сведения о трубопроводной арматуре, вакуумном оборудовании, насосах, вентиляторах, газо- и воздуходувках, широко применяемых в технологических и природоохранных системах. [c.3]

Интерфейс прямого соединения. Наиболее простой из всех способов введения хроматографического элюата в масс-спектрометр — это прямое соединение, т. е. есть когда хроматографическая колонка непосредственно вставлена в источник ионов масс-спектрометра через непроницаемый для вакуума фланец. Однако такой способ может быть реализован лишь для капилляров малого диаметра со скоростями потока 1-2 мл/мин. Такая скорость потока еще совместима с современными вакуумными МС-системами и также близка к оптимальным скоростям для полых капиллярных колонок. [c.600]

Исследуемое вещество может быть газообразным, жидким или твердым. Для каждого агрегатного состояния требуются различные способы введения образца в прибор. Газы обычно помещают в стеклянную колбу, снабженную вакуумным крапом и шлифом, с помощью которого колба может быть присоединена к системе напуска. Пробу вводят просто медленным поворотом крана. Однако газообразные продукты, образующиеся нри деструкции сложных молекул, часто получаются с такими малыми выходами, что необходимые переносы с помощью колбы практически неосуществимы. В этих случаях более удобно (в частности, при пиролитической деградации) проводить пиролиз в запаянной ампуле. После окончания пиролиза ампулу помещают в специальный сосуд, соединенный с масс-спектрометром, и откачивают. Затем нри помощи железного стержня, приводимого в движение магнитом, ампулу разбивают, и летучие продукты без всяких потерь поступают в систему напуска. Этот прием можно распространить и на более высококинящие соединения, если сосуд [c.305]

Вариантом способа тройного крана является присоединение трубки 5 не к вакуумной подводке, а к централизованной подводке сжатого воздуха (для поднятия ртути при измерении) трубка 4, соединенная с атмосферой, служит в этом случае для опускания ртути после измерения. Длина трубки 2 должна быть настолько большой, чтобы при открывании тройного крана на атмосферу (в сторону трубки 4) ртуть, даже при откачанной системе, оставалась ниже измерительной части манометра (как и в случае груши). Это создает известное неудобство, так как связано с необходимостью более высокого расположения измерительной части. Однако это неудобство компенсируется устранением опасности с перебрасыванием ртути и попаданием ее в измерительную часть манометра в начале откачки. Кроме того, этот вариант способа тройного крана требует наличия сжатого воздуха с избыточным давлением в несколько сотен миллиметров ртутного столба. [c.217]

Некоторые заводы применяют более совершенный способ удаления конденсата во время вулканизации, соединяя трубку 26 с атмосферой, а для удаления остатка охлаждающей воды в конце цикла —с вакуумной установкой. Этот способ оказался гарантийным, но несколько сложнее, так как вместо конденсатоотводчика требуется установка трехходового мембранного клапана и соединение его с системой автоматики. [c.97]

Прямые данные, не осложненные неучитываемым влиянием технологии формирования адгезионных соединений, получены для металлизированных полимеров. Нанеся на поверхность ряда субстратов вакуумным методом (при 6,65 мПа) слой алюминия, авторы [373] способом царапания оценили прочность системы и нашли, что она обусловлена дисперсионными силами. Аналогичный вывод следует из исследования полимеров с нанесенными на них методом гальванической металлизации другими металлами — медью, серебром и золотом [374]. [c.84]

Как и любой другой способ, электронно-лучевое разложение МОС не свободно от ряда недостатков. Имеется вероятность загрязнения получаемой пленки продуктами разложения паров масла, проникающих из диффузионного насоса, и побочными продуктами распада молекул разлагаемого металлооргапического соединения. Возможно образование пленок на деталях электронно-оптической системы, что может привести к изменению электрических параметров электронного луча, а значит и к изменению параметров получаемых пленок. Присутствие в вакуумной камере паров органических соединений, выбывающих поверхностные загрязнения, препятствует получению в этой же камере чистых пленок других веществ, которые обладали бы хорошим сцеплением с подложкой. [c.206]

За прошедшие 20 лет были приложены большие усилия для разра- ботки наиболее экономических способов превращения этих веществ в остальные соединения радиоуглерода. Большим успехом была разработка синтезов основных членов различных гомологических рядов в вакуумных системах, основные типы которых рассмотрены на стр. 664. Предложенные методы яиеют общий характер и предназначены для приготовления многочисленных групп аналогичных соединений. Обзоры методов синтеза приведены в нескольких обширных монографиях [5, 14, 24, [c.679]

В металлических установках наибольшая вероятность проникнове- ния воздуха в систему имеется в местах соединений. Неплотности могут также наблюдаться и в самом материале вследствие местных дефектов. Следует заметить, что замазывание замазкой или лаком неплотностей в вакуумной системе является ненадежным способом, так как в замазанном месте снова может образоваться течь. Вполне надежными могут быть только сварка, пайка или разъемные соединения со специальными уплотняющими прокладками. [c.378]

Применение металлических прокладок требует сильного стягивания фланцев, и поэтому они редко применяются для соединения труб, диаметр которых превышает 300 мм. Кроме фланцевых соединений, для труб малого диаметра может быть применено соединение с накидной гайкой. На фиг. 229 показан способ соединения со стеклом металла,, работающего при низких температурах. В качестве прокладки используется металлическое кольцо [325]. На фиг, 230 показаны шаровое (а) и коническое (б) соединения трубок малого диаметра (до 30—40 мм). При шаровом соединении специальной прокладки не требуется. Уплотнение достигается за счет плотного прилегания шаровой поверхности, изготовленной из красной меди, к латунному конусу. Для большей надеЖ ности такого соединения поверхности шара и конуса могут быть предварительно облуженоГ мягким оловянно-свинцовым припоем. Соединения с металлическими прокладками дают возможность достигать в -вакуумных системах давлений ниже 10 мм рт ст. [c.386]

Предположим, что вакуумная система откачивается после того, как в ней было атмосферное давление, или после какой-либо аварии. Если соединенный с системой манометр, способный измерять давления порядка миллиметров ртутного столба, показывает давление выше ЮТ [I. Hg, ясно, что диффузионный насос еш,е не может быть включен. Пзрвый шаг должен быть предпринят в направлении приблизительного определения места возможной течи. Это лучше всего сделать, перекрывая вентилями определенные части системы, соединенные с насосом предварительного разрежения, и измеряя быстроту натекания газа в систему. Сначала должна быть отсоединена от насоса предварительного разрежения основная часть системы, включающая пароструйный насос. Если в основной части системы течи нет, необходимо проверить масло механического насоса, так как его может быть мало или оно может быть грязное. Если установлено, что течь находится в основной части системы, то прежде всего необходимо проверить наиболее вероятные места течи, например фланцевые уплотнения. Если в этих местах течи нет, то в зависимости от давления в системе надо воспользоваться одним из описанных ранее способов определения течи. Ясно, что пользоваться в этом случае ионизационным манометром или мано-мет )Ом Кнудсена для определения давления невозможно. При обдувании такими газами, как метан, пропан или гелий, можно использовать теплоэлектрический манометр. Система также может быть проверена различными вариантами метода давления. Как только давление по компрессионному манометру или манометру сопротивления снизится до 100 [лНд, можно включать пароструйный пасос. [c.243]

В спаянных соединениях и швах, если течь достаточно мала и давление близко к рабочему, можно место пайки промазать чистым глипталевым лаком. Когда натекание велико, но еще не настолько, что работа пароструйного насоса становится невозможной, можно использовать красный глипталевый лак для заделки мест течи. Прежде чем наносить глииталь, рекомендуется точно определить место течи. Слишком большие течи, которые невозможно устранить описанным выше способом, либо снова пропаиваются или провариваются в месте плохой сварки, либо та часть вакуумной системы, в которой обнаружена течь, заменяется новой. [c.244]

Непосредственное присоединение жидкостного хроматографа к масс-спектрометру вызывает значительно больше проблем, чем соединение газового хроматографа с масс-спектрометром. Во-первых, количество элюента при разделении методом жидкостной хроматографии так велико, что с ним не может справиться обьгчная вакуумная система масс-спектрометра. При скорости элюента 1 мл/мин образуется (при нормальных условиях) 150-1200 мл/мин пара, в то время как для современных масс-спектрометрических вакуумных систем при химической ионизации допустимые количества (при нормальных условиях) максимально составляют 1—20 мл/мин. Кроме того, наиболее важной областью применения жидкостной хроматографии при высоких давлениях является разделение нелетучих или труднолетучих проб. Во-вторых, испарение пробы в масс-спектрометре не должно сопровождаться ее разложением. Однако, поскольку анализируемая проба находится в зоне испарения недолго, эту задачу решить проще. Так, уже проверены на практике различные способы подготовки пробы. [c.76]

Предварительное омеднение поверхностей, произведенное гальваническим способом, улучшает качество пайки. После пайки необходимо удалить из швов все следы флюса. Вакуумноплотное соединение деталей системы может быть произведено автогенной или дуговой сваркой. Соединение частей трубопровода резиновыми шлангами следует применять в тех случаях, когда необходима подвижность частей вакуумной системы. Для вакуумных трубопроводов нужна резина с малым содержанием серы (1,5—2%) из высших сортов каучука, обладающая большой гибкостью и способностью к растяжению. Необходимо учитывать, что со временем резина стареет, особенно под действием света, кислорода и нагревания. При старении резина трескается и делается негер- [c.120]

Однако долгое время не были известны надежные способы вакуумноплотного соединения алюминия с другими материалами вак>7мной техники, что служило серьезным препятствием к его широкому применению. В то же время большое желание разработчиков использовать этот легкий, электро- и теплопроводный металл постоянно подталкивало на поиски соответствующих технологий, и в течение последних 10... 15 лет в этой области все же бьши достигнуты неплохие результаты. Сегодня алюминий надежно сваривается ваку-З ноплотными швами методом диффузионной сварки с медью и с аустенитны-ми хромоникелевыми сталями (а с последними - еще и сваркой взрывом). И сейчас применение алюминия в вакуумных системах расширяется, из него делают даже вакуумные камеры ускорителей заряженных частиц - длинные трубы сложного поперечного сечения, например, такого, как показано на рис. 5.11. [c.141]

По способу, запатентованному в Польше масло предварительно очищается с помощью водного раствора NaOH и Na l при 45—85°С, нагревается в теплообменниках до 90— 120°С и разделяется в отпарных отстойниках. Масляная фаза ввод ется в трубчатую печь, нагревается до 250-260°С и перегоняется в ректификационной колонне (РК) с отбором фракции с температурой кипения < 300°С. Атмосферный остаток (АО) вводится в трубчатую вакуумную печь, в которой проводится максимальное разложение присадок нагреванием до 380-410°С. Полученная смесь подвергается перегонке с паром в вакуумной колонне (ВК). Фракции с верха ВК, содержащая легкие углеводороды (Ув), йодяной пар и кислые продукты разложения присадок (КП), направляется в конденсационную систему, где отделяются легкие Ув, а газовая фаза, содержащая КП и перегретый водяной пар, перекачиваются с помощью вакуума в соединенный с ВК барометрический конденсатор, где конденсируется водяной пар, а КП переводятся в соответствующие неорганические кислоты, нейтрализуемые с помощью СаО. Для уменьшения кислой реакции в конденсационной системе обеих колонн вводят этаноламин (ЗА) [c.235]

Схема сублимационной сушильной установки Ростовского завода Смычка показана на фиг. 131. Установка состоит из сушильной камеры, конденсатора, устройств для нагревания материала и охлаж де-ния конденсатора и вакуумного насоса. Внутри камеры находится материал, который или был заморожен предварительно, или заморожен в этой же камере за счет испарения из него влаги без дополнительного подвода тепла при создании вакуума (так называемое самозаморажи- вание). После того, как материал заморожен, к нему подводится тепло от какого-либо внешнего источника, причем количество подаваемого тепла должно быть достаточным, чтобы обеспечить быстрое испарение льда при заданной температуре (ниже 0°С). С другой стороны, если количество подведенного тепла окажется-слишком большим или способ его подвода окажется недостаточно удачным (местный перегрев), может произойти повышение температуры материала выше 0°С и его размораживание. Этого допускать ни в коем случае нельзя. Водяной пар, выделяющийся из продукта, откачивается сублимационным конденсатором за счет разности парциальных давлений пара в сублиматоре и у поверхности конденсатора, которая создается за счет того, что температура поверхности конденсатора поддерживается более низкой, чем температура материала в сублиматоре. Натекающий в систему неконденсирующийся газ непрерывно откачивается вакуумным насосом таким образом,, чтобы давление газа во всей системе во всяком случае не превышало парциального давления пара у поверхности конденсатора. Если это условие ие выполнено, то скорость процесса сублимации уменьшается,, так как воздух служит препятствием на пути пара к поверхности конденсации. В некоторых случаях целесообразно применять не конденсатор, а какое-либо поглощающее влагу вещество. Это важно в тех случаях, когда нет необходимого источника холода. Кроме того, в ряде-установок вообще не применяют раздельной откачки пара и неконденсирующегося газа, а непосредственно откачивают насосами паро-газовую смесь из сублиматора. Для этой цели наиболее пригодны пароэжекторные насосы. При- применении поглотителей следует различать две группы высушивающих веществ вещества, образующие с водой химические--соединения, и вещества, поглощающие -воду физическим путем. Из веществ первой группы наиболее активной является пятиокись фосфора, однако ее применение связано с рядом технических трудностей. Обычно-она применяется в тех случаях, когда производится удаление небольших [c.281]

Этот узел монтируется справа на внутренней стороне дверцы, как это видно на рис. 3. Газ-носитель входит с задней стороны прибора и через вентиль, контролирующий давление, поступает в осушительную колонку. В колонке удаляются из газа-носителя следы воды, которые могут реагировать с пробой и разрушать ее во время анализа. Колонка представляет собой никелевую трубку (шириной 2,Ъмм, длиной 107 см), заполненную молекулярными ситами 5А (размер гранул 2,5 мм). Перед употреблением осушитель активируется нагреванием трубки в специальной печи при 300—325° и давлении менее 1 мм рт. ст. в течение 2 час. Охлаждающие змеевики на концах трубки служат для защиты вакуумных соединений от разогрева во время этой операции. При таком способе активации сит они могут без повторного нагревания служить в течение нескольких месяцев, понижая содержание воды в газе до величины, меньшей 5 частей на миллион. Из осушительной колонки газ проходит в буферный сосуд, укрепленный на задней стороне панели давление здесь измеряется манометром, показанным на рисунке. После разделения потока газ направляется к игольчатым вентилям (Edwards тип OS1 ), укрепленным рядом с редуктором, и затем в нагревательную камеру системы впуска проб через соответствующие соединения, находящиеся в центре панели. [c.430]

Съемке спектра адсорбированных молекул или поверхностных химических соединений обычно предшествует обработка адсорбента при повышенных температурах в вакууме. Концентрация адсорбированных молекул на поверхности адсорбента задается с помощью соединенных со спектральной кюветой специальных адсорбционных установок. Вследствие этого обычно применяемые приемы и приспособления для съемки инфракрасных спектров веществ в объемной фазе не могут быть использованы в исследованиях химии поверхности и адсорбции. В этом случае в зависимости от цели исследования и.характера изучаемой системы разрабатываются и применяются специальные способы подготовки образца и вакуумные кюветы. Обзор большого количества таких методических разработок приведен в монографии Литтла [1]. В настоящей главе, в соответствии с поставленной задачей см. главу I), приведены лишь основные типы приспособлений и результаты методических разработок для исследования химии поверхности и адсорбции главным обзором в случае порошкообразных адсорбентов и катализаторов. При этом основное внимание уделялось последним достижениям в методике получения инфракрасных спектров адсорбентов и ад-сорбированых молекул, не рассмотренным в книге Литтла. [c.66]

Воски, смолы и замазки. Иногда для соединения небольших металлических, стеклянных или керамических деталей используются воски, имеющие относительно низкие температуры плавления и заметно не разлагающиеся при этих температурах. Одной из возможных причин, вынуждающих обращаться к этому способу, является опасность разрушения тонкостенных деталей при использовании более высоких температур, требуемых для получения постоянного соединения. Однако такие применения ограничиваются лишь теми участками системы, температура которых не поднимается значительно выше комнатной. Чаще, чем воски, для этих целей используются эпоксидные смолы, поскольку некоторые из них полиме-ризуются при комнатной температуре. После полимеризации они пригодны для работы в широком температурном интервале от температуры жидкого гелия и до 250° С [274]. Они имеют сравнительно низкое давление паров, а их скорости газовыделения при постоянном использовании постепенно уменьшаются. Предел прочности на разрыв соединений на основе эпоксидных смол лежит в интервале 1—5 кг/мм и возрастает, если полимеризация смолы производится при 150—200° С. Выше и ниже комнатной температуры прочность эпоксидных смол уменьшается до значений, зависящих от Т1 па смолы и цикла полимеризации. Разборка эпоксидного соединения— дoвo Iьнo трудное дело, для этого необходим прогрев по крайней мере до 150°С или продолжительная обработка в растворителях, таких как трихлор-этилен. Небольшие поры или отверстия в корпусах вакуумных камер могут быть заделаны с помощью клеев и лаков, используемых в виде жидкостей или аэрозолей. Однако это следует рассматривать как временную и в какой-то мёре рискованную меру. Эти замазки растворяются в тех же органических растворителях, которые обычно используются для промывки вакуумных деталей, поэтому течь может обнаружиться внезапно. Более того, вероятность их последующей заделки значительно уменьшается из-за неполного удаления остатков замазки. Таким образом, использование за- [c.268]

Полностью прогреваемые системы. Эта категория включает в себя системы, сконструированные таким образом, что в них могут прогреваться не только корпус, но и базовая плата вместе с ее уплотнением, а также и все элементы, подсоединенные ниже этой платы . Основная трудность этой задачи связана прежде всего с прогревом соединений. Можно использовать стеклянные системы на основе спаев стекла с металлом или стекла со стеклом. Однако применение таких систем ограничено из-за относительно небольших характерных для них размеров и сложности процедуры их вскрытия и герметизации. Такие системы можно сделать также разборными, если использовать для уплотнения металлические прокладки, см. разд. 4Б, 3). Тип корпуса вакуумной камеры определяется в первую очередь выбором метода соединения. Паяные стеклянные соединения обусловливают использование небольших стеклянных колб или ламп, тогда как ка основе соединений с металлическими прокладками можно создавать универсальные металлические камеры больших диаметров (для исследовательских работ). Для отжига камера, базовая плита и все подсоединяемые к ней компоненты накрываются электрическими печами. В прогреваемых системах одинаково часто применяются как диффузионные, так и геттеро-ионные насосы. Варианты конструкций таких систем обсуждаются в работе Зафирополоса и де Теддео [297]. Использование диффузионного насоса в таких системах требует более тщательного устройства отражателей и ловушек, чем это требуется для стандартных оперативных на-пылительных установок. Для увеличения быстроты откачки и улучшения предельного вакуума широко практикуется дополнительная откачка с помощью криопанелей или геттерных насосов. Как оказалось, очень эффективным способом задержки обратной миграции масла из насоса является установка на высоковакуумной стороне колпака титано-геттерного насоса последовательно с цеолитовой ловушкой [298]. [c.299]

По сравнению с системами термического испарения конструкции ионно-распылительных установок непрерывного действия несколько менее критичны в смысле внесения в процессе работы загрязнений в пленку. Это связано с постоянной промывкой камер таких установок чистым рабочим газом. Следовательно, примеси из последующих секций прежде, чем попасть в рабочее пространство, должны диффундировать навстречу потоку газа. Поэтому в распылительных установках часто используют способ дифференированной откачки, обладающий преимуществом свободного доступа в камеру в любое время. Однако этим системам свойственны некоторые специфические конструкционные ограничения, связанные с эффектами бомбардировки внутренних элементов камеры и ее стенок ионами и относительно большой электропроводностью плазмы. Недостатком же испарительных систем, в свою очередь, является возможность внесения загрязнений в пленки из-за хаотической диффузии в системе газов со сравнительно большими длинами свободного пробега молекул. В результате на свойства пленок могут отрицательно влиять примеси, пришедшие из других секций установки. Поэтому испарительные установки обычно оборудуются вакуумными шлюзовыми устройствами или магазинами подложек и являются многофункциональными установками. В остальном техника монтажа всех систем непрерывного действия одинакова с техникой для разборных систем. Это означает, что для уплотнения вводов, промежуточных соединений, вентилей и съемных крышек для доступа в камеру в этом случае тоже используются прокладки из эластомеров. [c.306]