Электронная бомбардировка, источники в масс-спектрометрии

Ни один из стабильных изотопов кислорода, азота, углерода или водорода не был открыт масс-спектроскопически, хотя первые точные определения распространенности были сделаны именно этим методом. В ранних работах кислород был признан элементом, состоящим из одного изотопа, и масса была выбрана в качестве эталона масс. Открытие в атмосферном кислороде и в результате изучения полос поглощения кислорода было осуществлено в 1929 г. [738, 739]. За этим быстро последовало открытие и С, проведенное также оптическими методами. Дейтерий не был идентифицирован до 1932 г. Первые определения относительной распространенности изотопов кислорода [81], азота [2076], углерода [82] и водорода [224] масс-спектрометрическим методом были осуществлены несколько лет спустя после открытия изотопов. В отличие от ранних работ, где ошибки возникали при обнаружении и интерпретации массовых линий, поздние измерения проводились с применением масс-спектрометра и ионного источника с электронной бомбардировкой. Возросшая точность идентификации ионов, относимых к каждому массовому пику, привела к открытию многих новых изотопов. Примером прогресса, вызванного более широкими возможностями используемых источников, может служить открытие Ниром [1492] изотопов кальция с массами 46 и 48. Более ранняя работа [83] свидетельствовала о наличии изотопов с массами 40, 42, 43 и 44. Для получения ионного пучка Нир испарял металлический кальций в пучок электронов и получил ионный ток больше 10 а для наименее распространенного изотопа кальция ( Са), присутствующего в количестве лишь 0,003% от изотопа <>Са. При изменении температуры печи в пределах, соответствующих 10-кратному изменению давления, пики с массами 46 и 48 оставались в постоянном соотношении к пикам с массой 40. Это доказывало, что указанные выше пики относятся к малораспространенным изотопам кальция, а не вызваны наличием примесей. Дальнейшее подтверждение существования малораспространенных изотопов было получено изменением энергии ионизирующих электронов и установлением зависимости между изменением интенсивности пучка ионов для каждой массы и изменением энергии электронов. В пределах ошибки эксперимента все ионы обладали одним и тем же потенциалом появления и одной и той же формой кривой эффективности ионизации. Сходные измерения были проведены с использованием двухзарядных атомных ионов. На пики с массами 24 и 23 налагались пики, обусловленные примесью магния и натрия. Эти ионы примесей могли быть обнаружены по их гораздо более низкому потенциалу появления по сравнению с потенциалами двухзарядных ионов кальция. Оказалось возможным провести измерение ионов ( Са) , вводя поправку на присутствующие ионы однако более значительные количества < Ыа) помешали определению ионов кальция при этом отношении массы к заряду. [c.71]

Рис. 1. Схема ионного источника с электронной бомбардировкой, входящего в комплект масс-спектрометров единой серии

Масс-спектры состоят из линий, обусловленных осколками молекул эти осколки возникают в результате разрыва молекулы под действием электронного удара. Затем ионизированные осколки и ионы молекул ускоряются в магнитном поле в разной степени в зависимости от величины М е М — масса иона в атомных единицах е — заряд иона в единицах заряда электрона) и таким образом могут быть разделены. Ионизация происходит в ионном источнике масс-спектрометра, большей частью путем бомбардировки электронами. Ионные токи, обусловленные каждым видом ионов, усиливаются и регистрируются и являются мерой вероятности, с которой возникает данный осколок. Положение линий на шкале масс и относительные частоты ионов являются одинаково важными характеристиками масс-спектра данного соединения. Частоту наиболее интенсивной линии в спектре считают равной ста и относят частоты всех других ионов к этой линии (относительный спектр). Различные функциональные группы соединений обусловливают, как правило, различные масс-спектры, которые можно предсказать заранее. Относительный спектр при обычных условиях большей частью хорошо воспроизводится и характеризует данное вещество. Часто масс-спектры изомеров различаются между собой по относительной интенсивности линий, и это обстоятельство достаточно для однозначной идентификации изомеров даже в тех случаях, когда они имеют одинаковые массовые числа, как это большей частью бывает. [c.265]

Другой метод состоит в измерении двух напряжений, из которых каждое соответствует примерно 50% интенсивности ионного тока данного пика искомое напряжение получается суммированием двух величин. Даже в том случае, когда выходная щель равна по ширине входной, установить точное положение максимума затруднительно, поскольку наклон в этой области мал. Было показано [184], что распределение интенсивности ионов по входной щели (имеющей ширину около 0,25 мм) неоднородно в масс-спектрометрах с простой фокусировкой и при использовании источников с электронной бомбардировкой возникает уменьшенное изображение области ионизации вблизи входной щели. Это вызывает резкий пик (выброс) в распределении интенсивности по ширине входной щели и приводит к эффекту более узкой виртуальной щели. Дополнительное уменьшение выходной щели обеспечивает получение резко очерченного пика, облегчает установление положения максимума и позволяет увеличить разрешающую способность секторного прибора с радиусом 150 мм примерно в 1000 раз. Более удовлетворительный метод установления положения максимума состоит в графическом изображении производной пика этот метод широко применяется в нашей лаборатории. Так как скорость изменения кривизны больше в максимуме (если выходная щель не шире входной), то положение последнего легче определить, особенно когда величина произвол- [c.55]

Источники с электронной бомбардировкой, используемые обычно на секторных масс-спектрометрах, снабжены, как правило, вспомогательным магнитом источника , магнитное поле которого, ориентированное по направлению электронного пучка, составляет несколько сот эрстед. Был сконструирован ряд источников без этого магнитного поля [216, 360, 361], однако до сих пор источники с вспомогательным магнитом имеются почти во всех аналитических, приборах, так как наличие магнита обеспечивает образование в источнике ионов на эквипотенциальной поверхности и улучшает разрешение и чувствительность. Общепринято мнение, что работа с подобным магнитным полем вводит нежелательную дискриминацию по массам, однако до сих пор не была проверена возможность включения влияния этого поля при вычислении дискриминации, возникающей в источнике. Инграм [1012] установил, что дискриминация масс, вызванная указанным выше фактором, не изменяется, если отношение этого поля к полю основного магнита поддерживается постоянным,. В этих условиях сравнительные измерения могут быть проведены с удовлетворительной точностью. Однако изменение траектории электронов, связанное с изменением поля источника, вызывает изменение траектории положительных ионов, что приводит к меняющейся дискриминации. Поэтому единственным путем устранения одной из причин дискриминации по массам может быть лишь исключение этого поля. Изменение электростатического ускоряющего или магнитного полей приводит к изменению поля внутри ионизационной камеры, однако эти колебания могут быть сведены к минимуму при тщательном расчете прибора. Было показано [1068], что колебания магнитного или электростатического полей в ионизационной камере приводят, благодаря смещению электронного пучка, к незначительным систематическим ошибкам при измерении относительного содержания различных ионов. Из-за смещения электронного пучка и изменения условий образования объемного заряда [108] в источнике ионы образуются в различных точках, что обусловливает дискриминацию,. [c.76]

Важным преимуществом источников рассматриваемого типа является то, что ионизация сложных молекул может осуществляться с диссоциацией или без нее кроме того, количество и типы осколочных ионов могут изменяться в зависимости от энергии ионизирующих электронов, и с помощью масс-спектров могут быть получены сведения относительно структурной формулы ионизируемых молекул. Ионы, образующиеся в источнике с электронной бомбардировкой, характеризуются одинаковой энергией в пределах 0,05 эв. Вследствие большой разницы в массах электрона и бомбардируемой молекулы последняя будет получать при электронном ударе незначительную кинетическую энергию. Так как пучок ионизирующих электронов узкий, ионизационная камера представляет собой область, практически свободную от полей, и ионы образуются на более или менее эквипотенциальной поверхности, то они будут получать одинаковую энергию от ускоряющих полей. Благодаря тому что образующиеся ионы имеют небольшие различия в энергиях, источники с электронной бомбардировкой особенно пригодны для масс-спектрометров с простой фокусировкой, без фокусировки по скоростям. [c.116]

Схема устройства масс-спектрометра показана на рис. 1. Ионы, образуемые электронной бомбардировкой в источнике, ускоряются между щелями 81 и 821 0 энергии 50и кэв, где п — число зарядов иона. Далее [c.11]

Однако у разных типов ионных источников имеются общие черты. Как правило, ионизация нейтральных молекул анализируемого газа производится бомбардировкой медленными электронами. Другие способы ионизации Л. 19] в масс-спектрометрах с простой фокусировкой не применяются вследствие большого разброса по энергиям возникающих ионов. Образовавшееся ионное облако подвергается действию электрических и магнитных полей с целью придания ионам заданных скоростей. Ускоренные частицы попадают в лишенное электрических полей пространство дрейфа, где летят по инерции. Однако часть ускоренных частиц (иногда довольно значительная) бомбардирует электроды ионного источника, причем на поверхности последних происходят определенные физикохимические процессы (вторичная эмиссия, образование полупроводниковых пленок и т. д.). Указанные процессы являются общими для ионных источников различных типов. Поэтому удобно подробно их рассмотреть на конкретном примере ионного источника статического масс-спектрометра как одного из наиболее сложных и совмещающего в себе все характерные рабочие процессы. [c.77]

В ионных источниках, кроме ионизации молекул газа бомбардировкой их медленными электронами, могут применяться и другие виды ионизации. Обзор всех возможных типов ионных источников дан в (Л. 19]. Однако наибольшее применение в масс-спектрометрах нашел ионный источник с описанным способом ионизации вследствие малого разброса по энергиям возникающих положительных ионов. Электронный прожектор вместе с ионизационной камерой является неотъемлемой частью ионных источников всех типов масс-анализаторов, описанных 1В гл. 1. Поэтому ниже подробно рассмотрены вопросы, касающиеся электронного пучка. [c.79]

Наиболее широкое применение получил масс-спектрометр квадрупольного типа, иногда называемый также электрическим фильтром масс (рис. 51). Датчик этого прибора представляет собой цилиндрический корпус 3 с фланцем 2 для подсоединения к вакуумному объему. Во входной части прибора расположен источник 1 ионов, которые образуются в результате бомбардировки молекул газов остаточной атмосферы ускоренными электронами и через диафрагму 4 проходят в анализатор. Четыре диагонально расположенных цилиндрических стержня 5 анализатора электрически соединены попарно. [c.76]

На рис. 3 приведена принципиальная схема магнитного масс-спектрометра с так называемой простой или одинарной фокусировкой, в котором ионизация вещества осуществляется бомбардировкой его электронами (электронный удар). Ионный источник 2 представляет собой по существу большую ионную пушку, где из раскаленного катода (обыч- [c.7]

Этот тип ионного источника является одним из наиболее широко распространенных. Все отечественные статически , масс-спектрометры имеют в своем комплекте источник с электронной бомбардировкой. [c.106]

Схематическое изображение устройства масс-спектрометра приведено на рис. 31. Прежде всего исследуемое вещество необходимо ионизовать. Наиболее распространенным методом ионизации в органической масс-спектрометрии является бомбардировка вещества электронами в газовой фазе. Система введения вещества в прибор служит для перевода исследуемого вещества в газовую фазу и непрерывной подачи его с постоянной скоростью в источник ионов 1, где происходит ионизация. В источнике ионов в условиях глубокого вакуума (10" — 10" мм рт. ст.) электроны, эмиттируемые раскаленным катодом 2, получают за счет ускорения между заряженными пластинами определенную энергию. Проходя через разреженный газ, эти электроны, сталкиваются с молекулами исследуемого вещества. Как только энергия электронов окажется несколько выше так называемого порога ионизации (9—12 se), становится возможным процесс ионизации. [c.73]

В масс-спектрометрах, в которых используется источник ионов с электронной бомбардировкой, содержание газа определяется как количество газа , зависящее от давления и объема (РУ). Количество газа в объеме 1 л при давлении 1 мкм есть 1 мкм-л. Пересчетный коэффициент можно получить из соотношения [c.371]

С помощью масс-спектрометрии было щироко исследовано образование катионов при бомбардировке электронами алканов, галогеналканов и других источников карбониевых ионов [26, 43]. [c.338]

В качестве источников ионов в масс-спектрометрии чаще всего применяют источник с электронной бомбардировкой (с электронным ударом). Самые последние модели такого источника основаны на конструкции Нира [4]. [c.323]

Существуют много методов определения следов элементов в газах, твердых телах и жидкостях, которые можно объединить по методу ионизации. Во всех случаях получают некоторое количество пробы в газообразной форме, эту пробу потом ионизируют электронным лучом. Классические источники с электронной бомбардировкой описаны во многих книгах по масс-спектрометрии. Ниже будут рассмотрены методы определения следов неорганических газов и устройства для анализа твердых тел. [c.341]

Выше уже были отмечены основные задачи, выполняемые ионным источником в масс-спектрометрах. Для целей ионизации электронной бомбардировкой конструкция его должна обладать следующими особенностями. 1) Необходимо наличие пучка ионизирующих электронов и соответствующих электрических схем, позволяющих измерять интенсивность этого пучка и поддерживать его постоянство в ходе анализа необходима также регулировка энергии ионизирующих электронов. 2) Нить, излучающая электроны, должна быть тщательно отделена от области ионизации с целью свести к минимуму процессы термического разложения кроме того, она должна быть легко заменяемой. 3) Область ионизации должна быть так расположена, чтобы градиент ускоряющего потенциала в этой области был невелик. 4) Эффективность ионизации должна быть по возможности высокой. Это необходимо для того, чтобы уменьшить рабочее давление в приборе и потребляемое количество анализируемого образца. 5) Напряжение, применяемое для ускорения ионов, должно быть стабильным и удобно и точно регулируемым с целью развертки спектра. [c.78]

Применение в органическом анализе масс-спектрометрии с химической ионизацией обусловлено ее высокой чувствительностью и селективным образованием квазимолекулярных ионов, обеспечивающих возможность определения молекулярной массы исследуемого соединения. Ионизация осуществляется в ионномолекулярных реакциях молекул анализируемого образца с так называемыми ионами-реагентами, образующимися при взаимодействии ионов, получающихся в результате ионизации реагентного газа электронным ударом, с молекулами того же газа при повышенном 10—100 Па) давлении в ионном источнике масс-спектрометра. Ионы, образующиеся в результате электронной бомбардировки молекул газа реагента, носят название первичных, а получающиеся в ионномолекулярных реакциях первичных ионов с нейтральными молекулами газа реагента называются вторичными ионами [1, 2]. [c.126]

Первый масс-спектрометр был сконструирован Демпсте-ром Б 1920 г. [3]. В этом приборе применен источник ионов, разработанный Ниром, в котором положительные ионы возникали в результате бомбардировки молекул электронами. Этот тип источника обеспечивал образование ионов с примерно одинаковой небольшой кинетической энергией. Ускорение ионов происходило за счет большой разности потенциалов ионы проходили через щель. Таким образом, получался пучок, в котором все ионы обладали близкой по величине кинетической энергией. Пучок ионов отклонялся на 180° магнитным полем, расположенным перпендикулярно направлению движения ионов, и отклоненные ионы фокусировались на щель, через которую могли проходить только ионы с определенным отношением массы к заряду. Масс-спектрометры с таким разделением ионов относят к приборам статического типа (рис. 1). [c.6]

Эмиссия вторичных электронов с металлической поверхности под действием падающего луча положительных ионов обсуждалась ранее, поскольку это явление лежит в основе действия детекторов-умножителей. При падении пучка ионов на металлическую поверхность с последней могут быть вырваны положительные ионы масс-спектрометр открывает благоприятную возможность для определения масс и количества таких ионов, а при наличии дополнительного источника ионизации — и нейтральных частиц, вырываемых с поверхности. Этот процесс можно рассматривать как чисто механическое столкновение между ионами и поверхностными атомами мишени. Трудность проведения успешного эксперимента состоит в получении чистой поверхности, поскольку даже при остаточном давлении адсорбируемых примесей менее 10- мм рт. ст. наблюдается фон углеводородных ионов [972]. В большинстве опубликованных работ [ 1868, 2078, 2079] описывалось выделение только одноатомных ионов с поверхности. Однако Хониг [972] обнаружил положительные и отрицательные многоатомные ионы, а также нейтральные частицы. Например, при бомбардировке поверхности германия ионами инертных газов он получил положительные частицы Ое+, Се , СеН+, СеОН", СегО" , Ыа+, [c.456]

Принципиально масс-спектрометр состоит из четырех блоков системы напуска, ионного источника, системы магнитной фокусировки и детектора (рис. 1). В системе напуска образец анализируемого вещества испаряют в вакууме. Образовавшиеся пары поступают в ионный источник, где подвергаются бомбардировке пучком ускоренных электронов (энергия обычно порядка десятков элек-тронвольт). Энергия облучения расходуется на выбивание электронов из молекул анализируемого вещества — последние превращаются в положительно заряженные ион-радикалы. Такие частицы высоко реакционноспособны и нестойки. Тут же в ионизационной камере они претерпевают распад на заряженные и незаряженные осколки (отсюда название метода осколочная масс-спектрометрия ). Вся ионизационная камера находится под высоким по- [c.66]

В приборах, имеющих 180-градусный магнитный сектор, ионный источник расположен в области магнитного поля, но в 90-градусных приборах поле должно создаваться вспомогательным магнитом. Наличие такого поля [1681, 2034] вызывает дискриминацию изотопных ионов (гл. 3) особенно в тех случаях, когда вспомогательное магнитное поле не изменяется в соответствии с главным магнитным полем [386]. Ионизационная камера изготавливается из немагнитных материалов, чтобы исключить искажение магнитного поля в области ионизации. Несмотря на то, что были описаны приборы с секторным магнитным полем, в которых источник находится вне магнитного поля, их использованию для анализов препятствует недостаточная чувствительность, вызванная отсутствием такого поля [216, 360, 361]. Чувствительность ионного источника с электронной бомбардировкой (например, в масс-спектрометрах типа MS-8 фирмы Metropolitan-Vi kers как функция выталкивающего напряжения, измеряемого относительно стенок ионизационной камеры) изображена на рис. 33. Для небольших количеств образца на графике наблюдаются два максимума, соответствующие выталкивающему напряжению — 2 б и +3- —1-5 в в зависимости от метода настройки. [c.117]

Масс-спектрометр может быть использован для выделения отдельных типов ионов и установления их кинетической энергии. Некоторые из реакций, в которые вступают ионы, уже рассматривались с точки зрения диссоциации, вызываемой столкновениями или другими путями. Были исследованы такл<е многие особенности взаимодействия ионов с веществом [7451 Линдхолм [1247] и Федоренко [629] описали двойной масс-анализатор для исследования образовавшегося пучка, с помощью которого были получены детальные сведения о процессе. В этом методе бомбардирующие ионы образуются в обычном ионном источнике, ускоряются и разделяются магнитным полем. Выбранные ионы проходят через щель коллектора в камеру столкновений. Образовавшиеся там ионы вытягиваются из этой ионизационной камеры во второй масс-спектрометр для получения масс-спектра. В процессе обмена зарядами, приводящем к образованию ионов, бомбардирующие ионы нейтрализуются. Если энергия рекомбинации бомбардирующих ионов и электрона близка к потенциалу появления данного иона в бомбардируемом газе, то экспериментально установлено, что сечение образования этого иона велико. Если же энергия рекомбинации отклоняется больше чем примерно на 0,5 эв от потенциала появления, то сечение реакции относительно мало. Это используется для определения потенциала появления различных ионов. Например, при использовании Не для бомбардировки газообразного азота сечение образования ионов N+ велико [c.455]

В17. Pi Т. N., Источник иопов магния для масс-спектрометра с большим ионным током. Ионы Mg получали при бомбардировке паров Mg электронами, испускаемыми оксидным катодом и сфокусированными электростатическими и электромагнитными линзами. Phys. Rev., 67, 65 (1945). [c.603]

Ионный источник с электронной бомбардировкой входит в комплект масс-спектрометров единой серии, выпускающихся СКВ АП АН СССР Ленинграда. Источник с электронной бомбардировкой имеет во многих случаях одинаковую чувствительность по компонентам смеси, допускает значительное число анализов газообразных веществ без разборки, дает возможность снятия масс-спектра в большом диапазоне масс. Несмотря на эти преимущества, источник с электронной бомбардировкой считается малоперспективным для анализа малых количеств. Палмер [1] называет количество 500 мкг вещества, необходимого для газового анализа на обычном масс-спектрометре, в то время как на масс-спектрометре для твердой фазы достаточно 1 мкг. Использование источника с электронной бомбардировкой для анализа смесей и особенно микропримесей затруднено из-за наличия фонового масс-спектра, обусловленного газовыделением со стенок вакуумной системы и горячего катода источника, десорбцией с вакуумных поверхностей веществ, которые перед этим анализировались в приборе, обратной диффузией газов из ловушек и насосов. [c.107]

Узел монитора обычно состоит из щелей и опорных пластин и расположен между электростатическим и магнитным анализаторами. Первая щель пропускает ионы только с заданным диапазоном энергий, а следующая щель монитора должна пропускать определенную их долю, обычно близкую к половине, в магнитный анализатор. Точное соотношение ионных токов несущественно, но чрезвычайно важно постоянство этого соотношения. Конструкции мониторов для масс-спектрометров с искровым источником могут быть различными. В основном используются мониторы, которые ограничивают пучок в 2-направлении, собирая ионы от концов прямоугольного поперечного сечения пучка. Пластины щели с отрицательным потенциалом позволяют уменьшить поступление электронов из щели монитора и служат для отражения электронов, образовавшихся вследствие ионной бомбардировки деталей. Чтобы подавить этот эффект, Капеллен (1965) предложил создать небольшой отрицательный потенциал на самом мониторе. [c.261]

С термоионным источником для анализа твердых образцов и с электронной бомбардировкой для определения состава газов, а также позволял получить точные результаты для малых образцов, но лишь недавно (Лейпцигер, 1965) был использован в сочетании с методом искровой масс-спектрометрии. [c.288]

Разработаны различные устройства для получения интенсивного первичного ионного пучка. Высокая эффективность достигнута у источника с генерацией электронов [10]. В этом источнике под действием электрических и магнитных полей электроны многократно описывают спираль до соударения с мишенью. Применяют и другие методы получения интенсивного ионного пучка (разряды, ограниченные магнитным полем [11], источники с двумя плазматропами [12] и дуговые источники типа Пеннинга [13]). Плотности бомбардировки мишени достигают 50—200 мт/см в дуговых источниках и на порядок ниже в источниках с генерацией электронов. Типовые источники описаны в разделе IV,В,2 (рис. 8). Относительное число нейтральных частиц и положительных и отрицательных ионов вторичных ионов) можно, по данным Хонига [14], оценить по уравнению Лангмюра — Саха [уравнение (1)]. Температура Т в этом уравнении соответствует локальной температуре, являющейся функцией массы и энергии бомбардирующих ионов,— и эта температура порядка 10 °К. Источники с распылением очень избирательны. Избирательность зависит от значений W — I и А — Измеримое число положительных ионов получено для всех элементов с потенциалом ионизации ниже 10 эв отрицательные иопы получены для всех элементов со сродством к электрону больше 1 эв. Заряженные частицы, образуемые в источнике с 1юппой бомбардировкой, можно изучать пепосредственно на масс-спектрометре. Нейтральные атомы необходимо предварительно ионизировать в ионном источнике стандартного типа с электронным ударом. Естественно, что ионные источники подходят для исследования поверхностей применение этих источников будет рассмотрено в разделе IV,В. [c.325]

Современные масс-спектрометры выполняют в виде отдельных блоков (модулей). Для выбранной системы анализатора можно применять ионный источник и детектор, наиболее подходящие для решения конкретной аналитической задачи. Переход, например, от электронной бомбардировки к термоионному источнику не представляет большого труда, а включение стандартного умножителя вместо стандартного усилителя делается простым переключателем. Максимальная разреяхающая способность данного инструмента достигается применением возможно более узких выходных щелей. Для последних выпусков приборов харантерно применение щелей источника и коллектора переменной ширины. [c.337]

Масс-спектрометр фирмы Nu lide 6-60-DB специально рассчитан для исследований ионной бомбардировки [56]. Прибор снабжен двумя источниками и имеет магнитный сектор 60° радиусом 15 см. Первый источник типа генератора электронов [10] создает пучок ионов инертных газов, бомбардирующий мишень. Второй — стандартный источник с электронным ударом для ионизации распыленных нейтральных частиц. В качестве детекторов применяют цилиндр Фарадея и умножители. По желанию поставляют детектор, синхронный с источником [57], и оборудование для испарения вещества лазером. [c.340]

Керр [107] бомбардировал пучком ионов редких газов (с энергиями до 3400 эв) и исследовал при помощи трохоидального анализатора торговые стеклянные мишени. Были обнаружены как положительные, так и отрицательные ионы компонентов стекла. Количественных измерений не проводили. Кастен и Слодзиан [108] сообщили о предварительных результатах применения микроанализатора с ионной бомбардировкой, состоящего из масс-спектрометра с источником с распылением и ионного микроскопа. Они исследовали спектр вторичных ионов, полученных бомбардировкой поверхности пробы первичными ионами редких газов. Сфокусированный ионный луч ускорялся и попадал на оптический преобразователь изображения, где возникали третичные электроны, которые в свою очередь ускорялись в противо- [c.353]